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產(chǎn)品分類(lèi)品牌

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池田屋精品！F001-X-02-PK Teflon®真空吸筆技術(shù)參數(shù)

2026-7-4　　閱讀(82)

池田屋精品！F001-X-02-PK Teflon®真空吸筆技術(shù)參數(shù)

一、產(chǎn)品概述

F001-X-02-PK 真空吸筆（Vacuum Wand）是一款專(zhuān)為5英寸（125mm）半導(dǎo)體晶圓處理而設(shè)計(jì)的專(zhuān)業(yè)級(jí)真空吸取工具。型號(hào) F001-X-02-PK 為 NC（常閉）閥控類(lèi)型，主體采用 Teflon®（PTFE）材質(zhì)，采用 PEEK（聚醚醚酮）材料。PEEK 具有高強(qiáng)度、耐高溫、低釋氣等優(yōu)異特性，適用于對(duì)潔凈度和耐用性要求較高的半導(dǎo)體工藝。產(chǎn)品配備球形旋轉(zhuǎn)接頭，操作靈活，適用于半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)、芯片處理等應(yīng)用場(chǎng)景。本系列另提供 PCTFE 和 Vespel® 材質(zhì)選擇，以適應(yīng)不同工藝需求。

二、產(chǎn)品規(guī)格

項(xiàng)目	規(guī)格
品名	F001-X-02-PK
系列	F 系列（5英寸晶圓專(zhuān)用）
閥控類(lèi)型	NC（常閉）
主體材質(zhì)	Teflon®（PTFE）
材質(zhì)	PEEK（聚醚醚酮）
適用晶圓尺寸	125 mm（5英寸）
主體型號(hào)	F001-X（含106）
型號(hào)	02-PK
總長(zhǎng)度	233 mm
重量	32 g
連接方式	球形旋轉(zhuǎn)接頭
可選材質(zhì)	PCTFE / PEEK / Vespel®

三、型號(hào)編碼說(shuō)明

型號(hào)	閥控類(lèi)型	主體材質(zhì)	材質(zhì)	適用晶圓
F001-X-02-3F	NC（常閉）	Teflon®	PCTFE	5英寸（125mm）
F001-X-02-PK	NC（常閉）	Teflon®	PEEK	5英寸（125mm）
F001-X-02-VP	NC（常閉）	Teflon®	Vespel®	5英寸（125mm）
F002-X-02-PK	NO（常開(kāi)）	Teflon®	PEEK	5英寸（125mm）
F003-X-02-PK	NO+SW（常開(kāi)+開(kāi)關(guān)）	Teflon®	PEEK	5英寸（125mm）

四、核心設(shè)計(jì)特征

1. PEEK 材質(zhì)，高強(qiáng)度與低釋氣
采用 PEEK（聚醚醚酮）材質(zhì)，具有高強(qiáng)度、耐高溫（長(zhǎng)期使用溫度可達(dá) 260°C）、低釋氣等優(yōu)異特性。PEEK 表面光滑，不會(huì)劃傷晶圓表面，同時(shí)耐化學(xué)腐蝕性優(yōu)異，適用于潔凈度要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體工藝。

2. 專(zhuān)為5英寸半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)
F001-X-02-PK 專(zhuān)為 125mm（5英寸）半導(dǎo)體硅晶圓處理而優(yōu)化設(shè)計(jì)，尺寸與晶圓規(guī)格精確匹配，確保穩(wěn)定、安全的拾取操作。

3. Teflon® 主體，耐化學(xué)腐蝕
主體采用 Teflon®（PTFE）材質(zhì)，具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性和耐高溫性能，適用于無(wú)塵室及半導(dǎo)體制造等嚴(yán)苛環(huán)境。

4. 球形旋轉(zhuǎn)接頭
配備球形旋轉(zhuǎn)接頭，可實(shí)現(xiàn)靈活的角度調(diào)節(jié)，便于操作人員在各種姿態(tài)下穩(wěn)定握持和操作。

5. 閥控類(lèi)型：NC（常閉）
NC（Normally Closed）表示未操作時(shí)真空關(guān)閉，用戶按壓觸發(fā)時(shí)才產(chǎn)生吸力。這種設(shè)計(jì)可有效防止誤吸，適用于需要精確控制吸氣時(shí)機(jī)的精細(xì)操作場(chǎng)景。

6. 主體與分體式設(shè)計(jì)
主體與為分體式結(jié)構(gòu)，用戶可根據(jù)實(shí)際需求單獨(dú)訂購(gòu)不同材質(zhì)的，靈活適配多種應(yīng)用場(chǎng)景。

7. 三種材質(zhì)選擇
本系列提供三種材質(zhì)可選，滿足不同工藝需求：

材質(zhì)	關(guān)鍵特性	適用場(chǎng)景
PCTFE	耐低溫、耐化學(xué)腐蝕	低溫工藝、一般潔凈環(huán)境
PEEK	高強(qiáng)度、耐高溫、低釋氣	高溫工藝、高潔凈度要求
Vespel®	優(yōu)異耐磨性、極低顆粒產(chǎn)生	高潔凈度、高耐久性要求

五、PEEK 材質(zhì)優(yōu)勢(shì)

特性	說(shuō)明
高強(qiáng)度	機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異，不易變形，耐用性好
耐高溫	長(zhǎng)期使用溫度可達(dá) 260°C，適用于高溫工藝
低釋氣	釋氣量低，適用于真空環(huán)境
耐化學(xué)腐蝕	耐多數(shù)有機(jī)溶劑和化學(xué)試劑
低顆粒產(chǎn)生	表面光滑，摩擦系數(shù)低，顆粒產(chǎn)生少

六、閥控類(lèi)型選擇指南

閥控類(lèi)型	特性	適用場(chǎng)景
NC（常閉）	未操作時(shí)真空關(guān)閉，觸發(fā)時(shí)吸氣	需要精確控制吸氣時(shí)機(jī)的精細(xì)操作
NO（常開(kāi)）	連接真空源時(shí)持續(xù)吸氣	長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)吸取或快速取放
NO+SW（常開(kāi)+開(kāi)關(guān)）	持續(xù)吸氣，帶開(kāi)關(guān)控制通斷	需要頻繁切換吸取/釋放的操作

七、配套附件

附件名稱(chēng)	說(shuō)明
真空泵	提供真空源
ESD Safe Tubing	防靜電軟管，連接真空源
Static Dissipative Grounding Kit	靜電消散接地套件
Wand Stand	吸筆支架
Portable Leak Detector	便攜式泄漏檢測(cè)儀
Replacement Parts	替換零件（C 系列 / F 系列）

八、典型應(yīng)用場(chǎng)景

應(yīng)用類(lèi)型	說(shuō)明
5英寸晶圓搬運(yùn)	半導(dǎo)體制造中的晶圓轉(zhuǎn)移與定位
芯片處理	芯片（Die）拾取與放置
無(wú)塵室操作	潔凈環(huán)境中的精密操作
半導(dǎo)體后道工藝	切割、貼片、檢測(cè)等工序
高溫工藝	PEEK 材質(zhì)可耐受高溫工藝環(huán)境

九、選型要點(diǎn)

確認(rèn)閥控類(lèi)型（NC / NO / NO+SW）
確認(rèn)材質(zhì)（PCTFE / PEEK / Vespel®），PEEK 適用于高溫高強(qiáng)度需求
確認(rèn)適用晶圓尺寸（本系列為5英寸/125mm）
確認(rèn)是否需要配套附件（真空泵、防靜電軟管、接地套件、支架等）
確認(rèn)總長(zhǎng)度與重量是否滿足操作習(xí)慣

十、總結(jié)

F001-X-02-PK Teflon® 真空吸筆通過(guò) PEEK 材質(zhì)與 Teflon® 主體的組合，為 5英寸（125mm）半導(dǎo)體晶圓處理提供了一種高強(qiáng)度、耐高溫、低釋氣的專(zhuān)業(yè)級(jí)拾取解決方案。其 NC（常閉）閥控設(shè)計(jì)、球形旋轉(zhuǎn)接頭及 PEEK 材質(zhì)的優(yōu)異機(jī)械性能，適用于半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)、芯片處理及高溫工藝等對(duì)潔凈度、耐用性和耐溫性要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景。

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