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池田屋IKC/入江工研波紋管式直線導入機 ILD-34M30（手動型）技術參數(shù)

2026-8-13　　閱讀(23)

池田屋IKC/入江工研波紋管式直線導入機 ILD-34M30（手動型）技術參數(shù)

ILD-34M30 是入江工研株式會社（IRIE KOKEN CO., LTD.）生產的一款波紋管式直線導入機（Bellows-sealed Linear Feedthrough），屬于ILD-M系列手動型產品。該產品用于在大氣側與真空側之間保持真空密封的同時，將直線運動傳遞至真空腔內，適用于半導體制造裝置、真空設備及加速器設施中的基板升降、樣品定位及機械手驅動等場景。內置入江工研自制的焊接波紋管，可在超高真空環(huán)境下使用。

結構與尺寸參數(shù)
該型號（ILD-34M30）采用CF34法蘭（CF34FH）作為真空側連接接口，行程為30mm。法蘭規(guī)格符合ICF標準（Conflat Flange），適配CF34對應的真空端口。外形尺寸方面，A尺寸為50~80mm（根據(jù)行程位置變化），B為149mm，C為7mm，D為16mm，E為6mm（h7公差），F(xiàn)為5.0mm，G為8mm，H為42mm，I為38.0mm，J為51mm。驅動端手柄上設有刻度指示器，單位刻度為1mm，可實現(xiàn)行程位置的目視確認。

性能參數(shù)
使用壓力范圍為超高真空（1×10?? Pa）至大氣壓，適用真空等級較高。軸向可承受的最大負荷為196N（約20kgf）。氦泄漏率不超過1.0×10?? Pa·m3/s。烘烤溫度可達250℃，適用于需要高溫烘烤除氣的超高真空系統(tǒng)。驅動方式為手動旋轉手柄驅動，通過螺紋進給機構實現(xiàn)直線運動。

材料與結構特點
內置波紋管采用SUS316L材質，具備良好的耐腐蝕性和疲勞壽命。軸承采用聚酰亞胺（Polyimide）材質，具有較低的釋氣率，適用于真空環(huán)境。手柄側設有刻度指示器（單位1mm）及10分度刻度環(huán)，便于操作人員掌握行程位置。整體結構簡潔，強調功能性與可靠性。

安裝與使用注意事項
安裝時需確認真空側法蘭為CF34規(guī)格，使用相應的銅墊圈和螺栓按規(guī)定的緊固力矩進行裝配。驅動時軸向負載不應超過196N，超負荷使用可能導致波紋管變形或驅動機構損壞。烘烤溫度不應超過250℃。手動操作時應注意螺紋進給機構的順暢性，避免卡滯或強行操作。長期使用后如需更換軸承或波紋管，可聯(lián)系廠家進行維護。

應用指向性
該產品適用于需要手動控制直線運動的超高真空系統(tǒng)，如表面分析裝置中的樣品操縱、薄膜沉積設備中的基板定位、加速器真空系統(tǒng)中的探測器定位以及各類真空實驗裝置中的線性驅動需求。具體價格及交貨期請直接聯(lián)系入江工研或其授權代理商獲取報價。

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