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日本愛發科LS120A螺桿型干式真空泵技術介紹
日本愛發科LS120A螺桿型干式真空泵技術介紹
日本愛發科LS120A螺桿型干式真空泵技術介紹：雙螺桿無油壓縮原理與綠色潔凈真空應用
在半導體制造、光伏鍍膜、平板顯示及精密科研等制造領域介紹，潔凈無油的真空環境是保障產品良率與工藝穩定性的核心前提。愛發科（ULVAC）LS系列螺桿型干式真空泵作為兼顧高速排氣與低功耗的產品，依托雙螺桿無油容積式壓縮技術，以高抽速、低能耗、無油潔凈、靜音運行四大核心優勢，成為面向潔凈工藝與輕工藝多元場景的理想真空源。其中LS120A作為該系列的入門級型號，以優異的綜合性能成為中小型真空系統的優選方案。
一、工作原理：雙螺桿非接觸式容積壓縮
LS120A的核心工作原理建立在雙螺桿非接觸式容積壓縮這一物理機制之上。它本質上是一種干式容積真空泵——通過兩根平行嚙合的螺桿轉子同步反向旋轉，周期性地改變轉子與泵殼之間形成的封閉腔體容積，實現氣體的吸入、壓縮與排出。
泵的核心運動部件由兩根精密加工的雙螺桿轉子組成：
非接觸式運轉：兩根螺桿轉子在同步齒輪的驅動下以相反方向高速旋轉，轉子之間以及轉子與泵殼之間始終保持微米級的微小間隙，無需任何潤滑油作為密封介質。這一設計從根本上杜絕了油蒸氣的產生與返流。
容積式壓縮：隨著轉子旋轉，氣體由進氣口被吸入后，在螺桿螺旋槽與泵殼之間形成的封閉腔體中沿軸向連續傳遞。腔體容積沿輸送方向逐漸縮小，氣體被逐級壓縮，最終從排氣口排出。LS120A的最大抽速可達120m3/h，極限壓力可達≤0.6Pa。
無油密封與冷卻：軸承和齒輪等旋轉部件的潤滑油通過精密軸封嚴格隔離，確保氣體接觸區域不使用任何油類介質。泵體采用強制油循環系統進行冷卻，使抽速在接近大氣壓時仍保持穩定。
多電壓馬達驅動：LS120A搭載由愛發科開發的高效能（IE3）多電壓馬達，單一馬達即可覆蓋200至240V及380至460V的寬電壓范圍，可適配全球不同國家和地區的電網標準。
二、核心技術特點
1. 高抽速，大幅縮短工藝節拍
LS120A在接近大氣壓的壓力區間仍能保持高抽速，可大幅縮短腔體的抽空時間。以真空鍍膜前的腔室準備為例，LS120A可在更短時間內將腔體壓力降至工藝要求范圍，顯著提升生產節拍和設備綜合效率（OEE）。其最大抽速達120m3/h，在同級螺桿干泵中處于中上水平。
2. ECO-SHOCK節能技術，能耗顯著優化
LS120A搭載愛發科的ECO-SHOCK節能技術，在維持高抽速的同時實現了極低的功耗。C型（潔凈工藝型）在極限壓力下的功耗僅為0.6kW。對比市場同級別進口螺桿干泵（如某品牌同規格產品極限壓力功耗約1.2～1.5kW），LS120A的能耗降低約50%～60%。同時，ECO-SHOCK技術有效抑制了泵體發熱量，間接降低了車間空調負荷，進一步節約了綜合運營成本。
3. 無油潔凈，杜絕污染風險
LS120A的氣體接觸區域不使用任何油類介質，配合非接觸式螺桿設計和精密軸封隔離，從根源上杜絕了油蒸氣和油霧的產生與返流。這一特性使其成為半導體晶圓制造、光學鍍膜等對潔凈度要求極為嚴苛的工藝場景的理想選擇，有效避免了油污染導致的膜層缺陷和產品不良。
4. 低噪音運行，改善作業環境
LS120A標配內置消音器，運行噪音低至61dB(A)或以下。這一靜音水平相當于日常辦公室環境噪音級別，使其可直接部署于對噪音敏感的精密實驗室、潔凈車間等環境，無需額外加裝隔音設施，顯著改善了操作人員的工作環境。
5. 低運行成本，無需軸封氣體
LS120A的運行成本極低——無需軸封密封氣體，大幅減少了輔助氣體的消耗。對于L型（輕工藝型），還可選配吹掃氣體（Purge gas）功能，進一步提升對可凝性蒸汽的處理能力。
6. 豐富的選型配置，適配多元工藝
LS120A提供多種規格選型，可根據不同工藝需求靈活選擇：
C型（潔凈工藝型） ：低功耗機型，內置ECO-SHOCK技術，適用于空氣和氮氣等潔凈工藝場景，如濺射、蒸鍍、層壓、負載鎖室及渦輪分子泵前級泵等。
L型（輕工藝型） ：輕工藝機型，配備表面處理和吹掃功能，適用于含有蒸汽和易揮發液體藥品等輕工藝場景，如真空干燥、冷凍干燥、灰化處理及一般工業用途等。
三、性能參數一覽
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 最大抽速 | 120 m3/h |
| 極限壓力 | ≤0.6 Pa |
| 功耗（極限壓力，C型） | 0.6 kW |
| 噪音等級 | 61 dB(A) 或以下 |
| 電源規格 | 三相，50/60Hz，AC200-240V 或 AC380-480V |
| 冷卻方式 | 強制油循環冷卻 |
| 冷卻水流量 | >2.0 L/min |
| 進氣口 | KF50（水平）/ VG50（垂直） |
| 排氣口 | KF40 |
| 重量 | 142 kg |
| 適用標準 | CE, cTUVus |
數據來源：ULVAC規格表
四、典型應用場景
半導體制造：作為晶圓濺射、CVD、刻蝕等工藝的真空源，LS120A的無油潔凈特性可有效避免晶圓表面污染，保障芯片良率。
光伏與平板顯示：用于光伏電池片鍍膜、FPD沉積工藝的真空系統，快速抽排反應氣體，提升鍍膜效率與產品品質。
真空鍍膜：作為濺射、蒸鍍等鍍膜設備的主泵或前級泵，為光學鏡片、裝飾涂層等提供潔凈高真空環境。
負載鎖室與TMP前級：作為渦輪分子泵（TMP）的前級泵，或用于負載鎖室（Load Lock）的快速抽空。
真空干燥與冷凍干燥：L型適用于含有蒸汽和揮發性物質的真空干燥、冷凍干燥等輕工藝場景。
科研與實驗室：高校及科研院所的材料研發、物理化學實驗等對潔凈真空有要求的場景。
五、總結
LS120A是愛發科在螺桿型干式真空泵領域技術實力的集中體現。通過雙螺桿非接觸式容積壓縮機制與ECO-SHOCK節能技術的精密配合，在實現120m3/h最大抽速和≤0.6Pa極限壓力的同時，將極限壓力下的功耗控制在0.6kW，對比市場同級別產品降低約50%～60%，噪音低至61dB(A)。其無油潔凈、低運行成本、多電壓適配及C型/L型靈活選型等綜合優勢，使其成為半導體制造、光伏鍍膜、真空鍍膜及精密科研等潔凈工藝與輕工藝場景中兼具性能、能效與環保價值的理想選擇。
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