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日本愛發科ULVAC VS650B單級油旋片真空泵技術介紹
日本愛發科ULVAC VS650B單級油旋片真空泵技術介紹
日本愛發科ULVAC VS650B單級油旋片真空泵技術介紹：大抽速單級壓縮原理與工業批量真空應用
在真空鍍膜、真空熱處理、真空檢漏及空間環境模擬等大容量真空系統中，真空泵不僅需要提供足夠高的抽速以滿足快速抽空的要求，還需在長時間連續運行中保持穩定的排氣性能。愛發科（ULVAC）VS系列單級油旋片式真空泵正是針對這一需求而開發，其中VS650B作為該系列的中大抽速代表型號，依托單級大容積旋片壓縮技術，以650m3/h抽速、空冷/水冷雙模式、低振動等特性，成為面向大容量工業真空系統的可靠選擇。
一、工作原理：單級大容積旋片離心壓縮
VS650B的核心工作原理建立在單級旋片離心壓縮與油膜密封兩大物理機制之上。作為一種單級油旋片式容積真空泵，它通過旋片在泵腔內的旋轉運動，周期性地改變封閉腔體的容積，實現氣體的吸入、壓縮與排出。
泵的核心運動部件由電機驅動轉子與安裝在轉子槽內的旋片組成：
離心密封配合：電機驅動轉子在泵腔內偏心安裝并高速旋轉，旋片在離心力作用下緊貼泵腔內壁滑動，將泵腔分隔成多個可變容積的工作室。隨著轉子轉動，工作室容積周期性變化——擴張時通過吸氣口吸入氣體，收縮時壓縮氣體并通過排氣閥排出泵外。
單級排氣系統：VS650B采用單級排氣系統設計，氣體在一個泵腔內完成從吸入到壓縮排出的全過程。相比雙級結構，單級設計在相同電機功率下可獲得更大的抽氣速率，適合需要快速建立真空的大容量工業場景。
油潤滑與密封：作為油旋片式真空泵，VS650B使用專用真空泵油（SMR-200）實現三重功能——潤滑旋片與泵腔內壁減少磨損、密封旋片與腔體間的微小間隙防止氣體返流、帶走壓縮過程中產生的熱量維持泵體溫度穩定。
強制供油與冷卻系統：VS650B配備強制供油系統，確保在高負荷工況下各運動部件獲得充分潤滑。冷卻方式可根據安裝環境選擇空冷或水冷，靈活的冷卻方案使其可適配不同廠房的基礎設施條件。
二、核心技術特點
1. 650m3/h高抽速，適配大容量系統
VS650B在50Hz電源條件下的設計抽速達650m3/h（約10,833L/min） ，60Hz條件下達750m3/h（約12,500L/min）。這一抽速區間適用于光學薄膜蒸鍍系統、反射鏡薄膜沉積系統、裝飾膜蒸鍍系統、卷繞式蒸鍍機、在線式濺射系統、真空熱處理爐、真空冷凍干燥系統、真空檢漏儀及空間環境模擬艙等大容量真空場景，可在較短時間內完成大容積腔體的抽空。
2. 穩定的極限真空度
VS650B的極限壓力在氣鎮閥關閉狀態下可達≤8Pa，氣鎮閥開啟狀態下為≤70Pa。這一性能可滿足真空鍍膜、熱處理、檢漏等工業工藝對基礎真空度的要求。
3. 空冷/水冷雙模式可選
VS650B提供空冷（-A型）和水冷（-W型） 兩種冷卻方式?？绽湫蜔o需配備冷卻水循環系統，降低了安裝成本和場地要求；水冷型則適用于環境溫度較高或需要精確控制泵體溫差的場景，冷卻水流量需≥3.0L/min，冷卻水溫度為5～30℃，出入口壓差需≥0.1MPa。這一靈活配置使VS650B可適配不同廠房的基礎設施條件。
4. 低振動設計，降低安裝門檻
VS650B采用單級旋片設計配合高速電機（50Hz下1500rpm，60Hz下1800rpm），顯著降低了低頻區的振動水平。這一特性使泵可直接安裝于廠房上層，無需進行特殊的基礎加固工程，大幅降低了安裝成本。與工業標準油旋片泵相比，同系列產品重量減輕約35%，占地面積減少約20%。
5. 大型油霧過濾器與回油機構
VS650B內置大容量油箱（油量23～27L） 和油霧過濾器，有效減少換油頻率。油霧過濾器采用易更換的濾芯設計，并配備自動回油機構——將油霧過濾器中分離出的油自動收集并送回泵內循環使用。此外，泵內還設有油過濾器，用于去除混入油中的顆粒物和粉塵。
6. 標配恒溫器與異常檢測
VS650B標配恒溫器，可實時檢測泵的溫升異常、油量減少或泵的異常狀態。這一安全設計可在設備出現異常時及時發出信號，防止因過熱或缺油導致的設備損壞。
7. 可直接搭載機械增壓泵
VS650B支持機械增壓泵（羅茨泵）的直接安裝，通過專用的MBP安裝套件即可實現無框架直連。與羅茨泵串聯使用后可獲得更大的排氣量，使系統抽速進一步提升。
8. 低噪音運行
VS650B在極限壓力下的噪音水平為75dB(A) （空冷型50Hz）。愛發科通過優化運行機構設計，在極限壓力下有效降低了運轉噪音。
三、性能參數一覽
| 參數 | VS650B-A（空冷） | VS650B-W（水冷） |
|---|---|---|
| 設計抽速（50Hz） | 650 m3/h（10,833 L/min） | 650 m3/h（10,833 L/min） |
| 設計抽速（60Hz） | 750 m3/h（12,500 L/min） | — |
| 極限壓力（氣鎮閥關） | ≤8 Pa | ≤8 Pa |
| 極限壓力（氣鎮閥開） | ≤70 Pa | ≤70 Pa |
| 消耗功率（極限壓力，50Hz） | 8 kW | 8 kW |
| 電機容量 | 22 kW（4極） | 22 kW（4極） |
| 電源電壓（50Hz） | 200-240 / 380-415 V | 200-240 / 380-415 V |
| 電源電壓（60Hz） | 200-240 / 380-460 V | — |
| 噪音（極限壓力，50Hz） | 75 dB(A) | 72 dB(A) |
| 使用油品 | SMR-200 | SMR-200 |
| 油量 | 23～27 L | 23～27 L |
| 冷卻方式 | 空冷 | 水冷 |
| 冷卻水流量 | — | ≥3.0 L/min |
| 冷卻水溫度 | — | 5～30℃ |
| 吸氣口法蘭 | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K |
| 排氣口法蘭 | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K |
| 外形尺寸（W×D×H） | 1490×905×705 mm | 1490×841×705 mm |
| 重量 | 820 kg | 820 kg |
數據來源：愛發科產品規格表
四、典型應用場景
真空鍍膜：用于光學薄膜蒸鍍系統、反射鏡薄膜沉積系統、裝飾膜蒸鍍系統、卷繞式蒸鍍機、在線式濺射系統等鍍膜設備的真空排氣。VS650B的650m3/h高抽速可快速建立鍍膜所需的真空環境，提升產線節拍。
真空熱處理：用于真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐等熱處理設備的真空系統。強制供油和高效冷卻系統確保在高負荷工況下排氣性能的穩定。
真空檢漏：用于真空檢漏儀的真空系統，尤其適用于零部件自動化檢漏產線中大量重復的抽真空-檢漏循環操作。
空間環境模擬：用于空間環境模擬艙等大型真空腔體的排氣。
真空干燥與冷凍干燥：用于真空冷凍干燥系統等。
真空包裝與吸附輸送：用于真空包裝、真空吸附與輸送等工業場景。
五、總結
VS650B是愛發科在單級大抽速油旋片真空泵領域的一款代表性產品。通過單級大容積旋片離心壓縮機制與強制供油潤滑系統的配合，在實現650m3/h（50Hz）抽速和≤8Pa極限壓力的同時，提供了空冷/水冷雙模式可選、低振動低噪音運行、大型油霧過濾器與自動回油機構等綜合特性。其可直接搭載機械增壓泵獲得更大排氣量的能力，使其成為真空鍍膜、熱處理、檢漏及空間環境模擬等大容量工業真空系統中兼具效率與可靠性的選擇。
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