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干泵基礎知識
什么是干泵？
干泵是指各種不使用油或其他液體即可實現真空的真空泵的總稱。
干泵是指利用油和其他材料制造真空，與濕泵形成對比。 根據機構不同，有多種類型，如根式干泵、滾泵、爪式干泵和隔膜式干泵。
與旋轉泵不同，它不產生油霧，適合在清潔環境中使用。
干泵的應用
干泵的主要應用包括半導體制造線、食品加工線以及電子顯微鏡等各種科學分析設備。 對于這些應用，避免對使用環境造成污染至關重要。 干式泵的主要特點是排氣中不含油霧或其他物質，適合需要清潔環境的應用。
然而，干泵達到的真空約為1Pa，對于典型真空來說并不高。 當需要高真空時，它們與渦輪分子泵或離子泵結合使用。 此外，由于排氣速度因類型不同而異，因此必須根據預期用途選擇合適的類型。
干泵原理
干泵有多種類型，但許多被歸類為燃氣輸送泵。 所有燃氣輸送泵都設有一個用于吸入氣體的進氣口和一個用于排放氣體的排氣口。通過從進氣口吸入氣體并通過排氣口排出，泵內的氣體得以排出。
通過運輸各種氣體，空間中的氣體數量減少，形成真空狀態。 與干泵不同，濕泵使用液壓油，確保氣體輸送過程中真空泵內部密封。
除了密封外，液壓油還在減少零件間磨損、減少摩擦、吸收氣體壓縮產生的熱量以及為泵部件提供防銹等方面發揮作用。
干泵類型
干泵有多種結構用于輸送氣體。 主要干泵為體積輸送式，旋轉式為主流。
1. 葉片泵
葉片泵是一種帶有多個葉片的圓柱體，位于圓形空間內，旋轉時仿佛通過葉片在空間內吸入空氣。 葉片產生的離心力使葉片接觸圓形空間壁，形成密封空間。
2. 爪式泵
爪泵由兩個并排排列的爪形轉子組成，旋轉方向相反，用爪子排出氣體。 氣體被壓縮后排出泵外。
3. 多級根泵
多級根泵也是一種通過一對轉子向泵外部方向相反旋轉吸入氣體的泵。 轉子采用眉形橫截面葉片。
4. 卷泵
滾泵是一種在固定螺旋內輸送氣體的泵，同時旋轉滾筒旋轉。
5. 螺旋泵
螺旋泵由1~3個螺絲和一個安裝螺絲的套管組成。 隨著螺旋旋轉，氣體被推出套管時被移動和排出。
除了上述旋轉泵外，其他具有體積傳遞的干式泵也配備了往復式泵。 往復運動部件包括隔膜、活塞、風箱等。
干泵的功能
干泵的氣體路徑上沒有液壓油。 沒有油霧混入廢氣或油在真空容器內蒸發和擴散的風險。 干泵的一個主要特點是能夠提供干凈的排氣和真空空間。
另一個主要優勢是你不需要定期更換機油等維護。 干泵的其他特點包括體積小巧、輕便、振動低、噪音低。
