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牛津儀器BEX成像技術(shù)榮獲英國(guó)物理學(xué)會(huì)商業(yè)創(chuàng)新獎(jiǎng)，以18倍分析效率提升賦能掃描電鏡分析
牛津儀器（Oxford Instruments）憑借其突破性的BEX（Backscattered Electron and X-ray）成像分析技術(shù)，榮獲英國(guó)物理學(xué)會(huì)（Institute of Physics）頒發(fā)的商業(yè)創(chuàng)新獎(jiǎng)（Business Innovation Award）。該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了掃描電子顯微鏡（SEM）中背散射電子成像與全元素X射線成像的同步采集，將傳統(tǒng)SEM-EDS分析效率提升了至少一個(gè)數(shù)量級(jí)。
BEX技術(shù)：同步成像的革命性突破
BEX技術(shù)的核心創(chuàng)新在于將SEM中的背散射電子成像與X射線能譜分析（EDS） 同步整合。在傳統(tǒng)SEM-EDS分析中，操作人員需要先采集背散射電子圖像獲取形貌和襯度信息，再切換至EDS模式進(jìn)行元素分析——兩個(gè)步驟分別進(jìn)行，耗時(shí)較長(zhǎng)且難以保證同一區(qū)域的數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)。
BEX探測(cè)器實(shí)現(xiàn)了兩種信號(hào)的同步采集：在一次掃描中同時(shí)獲得背散射電子圖像和全元素X射線分布圖。根據(jù)發(fā)表在Scientific Reports上的研究（2025, 15:44361），利用牛津儀器Unity BEX探測(cè)器對(duì)微塑料進(jìn)行系統(tǒng)研究時(shí)，相比傳統(tǒng)SEM-EDS方法，分析提升約18倍，并能夠準(zhǔn)確識(shí)別低至5μm2的顆粒。
從環(huán)境科學(xué)到半導(dǎo)體分析的廣泛應(yīng)用
BEX技術(shù)的應(yīng)用場(chǎng)景覆蓋了從環(huán)境科學(xué)到半導(dǎo)體分析的廣泛領(lǐng)域。在環(huán)境科學(xué)中，BEX已被用于微塑料等污染物的快速識(shí)別與表征。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，該技術(shù)可用于先進(jìn)封裝、材料分析等場(chǎng)景的高通量檢測(cè)。在礦物解離分析中，配合牛津儀器的INCAMineral等自動(dòng)化礦物分析工具，可對(duì)礦石進(jìn)行快速表征并提供金屬回收的關(guān)鍵數(shù)據(jù)。
英國(guó)物理學(xué)會(huì)商業(yè)創(chuàng)新獎(jiǎng)旨在表彰將物理研究成果成功轉(zhuǎn)化為商業(yè)應(yīng)用的企業(yè)。牛津儀器此次獲獎(jiǎng)，標(biāo)志著B(niǎo)EX技術(shù)在技術(shù)創(chuàng)新與商業(yè)價(jià)值兩個(gè)維度均獲得了行業(yè)認(rèn)可。
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