ANEST IWATA(阿耐思特巖田)是的流體設備與涂裝系統制造商,其真空泵產品以高可靠性、低噪音、長壽命著稱。ISP-500C 是該品牌油封式旋片真空泵系列中的一款代表性機型,廣泛應用于半導體、分析儀器、醫療設備及包裝機械等領域。以下從產品概述、技術參數與典型用途三個方面進行介紹。
一、產品概述
ISP-500C 屬于油封式旋片真空泵,其核心工作原理是利用偏心安裝的轉子與泵腔內壁之間的容積變化來實現抽氣。轉子上的葉片在離心力作用下緊貼泵腔內壁,將吸入的氣體壓縮后排出。泵腔內填充專用真空油,起到密封、潤滑和冷卻三重作用:油膜運動部件之間的微小間隙,防止氣體返流;同時對轉子、葉片及軸承進行潤滑,并帶走壓縮過程中產生的熱量。
與普通電機驅動的真空泵相比,ISP-500C 采用了優化的結構設計和高質量材料,在保證足夠抽速的前提下,顯著降低了運行噪音和振動,使其不僅適用于工廠車間,也能安靜地運行于實驗室、醫院等對噪音敏感的環境中。型號中的“500"通常代表其抽氣速率等級(約 500 L/min),“C"表示某種改進型或特定接口配置。
二、技術參數
1. 基本性能參數
抽氣速率:約 500 L/min(50Hz)/ 600 L/min(60Hz)
極限壓力(關閉氣鎮):≤ 0.5 Pa(絕對壓力)
極限壓力(開啟氣鎮):≤ 1.5 Pa(絕對壓力)
電機功率:約 0.75 kW(單相或三相)
電源:AC 200-240V / 380-415V,50/60Hz(依配置)
轉速:1400 rpm(50Hz)/ 1680 rpm(60Hz)
2. 結構與接口
3. 噪音與振動
4. 環境與物理規格
5. 功能特性
三、典型用途與應用場景
基于上述技術參數,ISP-500C 在以下領域發揮著重要作用:
1. 半導體與電子制造
真空鍍膜前級泵:在濺射鍍膜、蒸發鍍膜設備中,與分子泵或擴散泵串聯,作為前級粗抽泵,快速將真空室從大氣壓抽至低真空。
真空干燥:用于半導體封裝前的芯片干燥、LCD 面板制造中的基板除濕。
真空貼片機:為高精度貼片機的吸嘴提供負壓,拾取和放置微小元件。
2. 分析儀器與實驗室設備
掃描電子顯微鏡:作為 SEM 的真空系統前級泵,配合渦輪分子泵獲得高真空,保證電子束通路潔凈。
質譜儀:為質譜分析室提供穩定的真空環境,降低背景噪聲。
真空干燥箱:在實驗室干燥熱敏樣品(如粉末、生物制品)時,抽除水分和空氣,防止氧化。
3. 醫療設備
4. 包裝機械
5. 汽車與一般工業
真空夾具:在數控機床、加工中心上,吸附薄板工件、非磁性材料(如鋁板、塑料板),方便加工。
真空檢漏系統:配合氦質譜檢漏儀,對汽車油箱、空調管路、散熱器進行泄漏檢測。
變壓器干燥:在變壓器絕緣材料干燥處理中,抽除水分和氣體,提高絕緣性能。
6. 印刷與紙品加工
四、使用與維護要點
啟動:使用前必須向泵腔內加入推薦型號的真空油至油標中線,嚴禁無油啟動。
氣鎮閥使用:當抽除含有水蒸氣的氣體時,應開啟氣鎮閥(建議運行 30 分鐘以上),使水蒸氣在排氣階段不被冷凝,從而防止油品乳化。停止抽濕工藝后,建議關閉氣鎮閥并繼續運行 30 分鐘以排除油中殘留水分。
油品檢查:每周檢查油位和油品顏色。油位低于下線時及時補充;油品變為乳白色(乳化)或深褐色(氧化)時,應全部更換。
排氣口通暢:確保排氣口未被堵塞,否則會導致泵體過熱、電機過載。排氣口應連接至室外或排風系統,以防油霧積聚。
進氣過濾:建議在進氣口加裝真空過濾器,防止粉塵、碎屑進入泵腔,損傷葉片和缸體。
長期停用:若設備長期停用(超過一個月),建議每月通電空載運行 30 分鐘,防止內部銹蝕。
五、總結
ANEST IWATA ISP-500C 油封滾動真空泵是一臺將可靠性、低噪音和易維護性融為一體的優質真空獲取設備。其約 500 L/min 的抽速、0.5 Pa 的極限壓力、標配氣鎮閥與油霧分離器,以及緊湊的結構,使其在半導體、分析儀器、醫療、包裝等行業中成為可靠的真空源。與同類產品相比,ISP-500C 在運行噪音和振動控制方面表現尤為出色,適合對聲環境有要求的場所。對于需要一臺“好用、耐用、不擾人"的真空泵的用戶而言,ISP-500C 是值得長期信賴的選擇。