一、產(chǎn)品概述
ULVAC愛發(fā)科推出的 ECO-SHOCK 系列干泵節(jié)能附件,是一款通過安裝在現(xiàn)有干式真空泵排氣口上,實(shí)現(xiàn)大幅節(jié)電的創(chuàng)新型附件 。型號 ES4A 是該系列中的大功率規(guī)格,最大功耗400W,適用于濺射設(shè)備裝載/卸載室等需要頻繁排氣的干泵系統(tǒng) 。該產(chǎn)品在1000Pa以下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間較長的用途中,可將干泵耗電量最大減少80%,同時(shí)還有抑制干泵發(fā)熱、降低排氣噪音的效果 。
二、產(chǎn)品規(guī)格
三、節(jié)能效果實(shí)測
ES4A 安裝效果實(shí)測
注:1 電源頻率60Hz;2 密封氣體 5SLM;3 包含 ECO-SHOCK ES4A 功耗;4 300L 腔室反復(fù)排氣 60 秒節(jié)拍的測量示例。
四、核心設(shè)計(jì)特征
1. 顯著節(jié)能效果
ES4A 可與 ULVAC 的 LR/HR/UR 系列干泵配合使用,在極限壓力運(yùn)行時(shí),實(shí)測節(jié)電率可達(dá) 55%~59%,同時(shí)抑制干泵發(fā)熱,降低空調(diào)設(shè)備的電力消耗 。
2. 干泵性能提升
安裝后有望提升極限壓力性能,可在全壓力區(qū)域內(nèi)保持排氣速度不下降,還可降低排氣噪音 。
3. 適用范圍
適用于排出空氣、氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w的干泵
尤其適用于濺射設(shè)備等裝載/卸載室用的干泵
在 1000Pa 以下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間較長的用途中
4. 安裝簡便
通過將閥單元安裝在排氣管道上即可完成安裝,部分干泵型號可能需要在安裝前進(jìn)行改造,請聯(lián)系 ULVAC 服務(wù)中心 。
五、注意事項(xiàng)
六、典型應(yīng)用場景
七、總結(jié)
ULVAC ECO-SHOCK ES4A 干泵節(jié)能附件通過安裝在干式真空泵的排氣口上,可在不降低排氣速度的前提下,實(shí)現(xiàn)最大 59% 的節(jié)電效果(與 ULVAC 公司產(chǎn)品相比)。同時(shí)具備抑制發(fā)熱、降低排氣噪音、提升極限壓力性能等多重優(yōu)勢,適用于濺射設(shè)備裝載/卸載室等需要頻繁排氣的惰性氣體排氣系統(tǒng)。ES4A 適用于 LR1800、LR3601-R 等中型和大型干泵的節(jié)能改造,是降低真空系統(tǒng)運(yùn)行成本的有效方案。