ULVAC愛發科推出的 DIS-90 渦旋式干泵，是一款采用雙繞式渦旋結構的兩階段干式真空泵。型號 DIS-90 設計排氣速度 90 L/min（50Hz）/ 108 L/min（60Hz），極限壓力可達 5 Pa，具備從大氣壓到極限壓力全范圍運行能力。該產品采用無油渦旋設計，低振動、低噪音，維護周期可通過計時表控制，適用于分析設備、氣體回收系統、鍍膜設備及半導體制造工藝等應用場景。

二、產品規格

項目	規格
型號	DIS-90
設計排氣速度（50Hz）	90 L/min
設計排氣速度（60Hz）	108 L/min
極限壓力	5 Pa
電動機	單相 100/115/200/230V，150W，4P 電容器啟動·運行
全負荷電流（50Hz）	2.6/1.3 A（100/200V）
全負荷電流（60Hz）	2.1/2.2/1.1/1.1 A（100/115/200/230V）
重量	14 kg
吸氣口徑	KF-25
排氣口徑	KF-16
使用環境溫度	5 ～ 40℃
水蒸氣處理量	≤ 5 g/day（AF 開時，室溫25℃，濕度60%以下）
噪音水平	≤ 52 dB（AF 開時）/ ≤ 57 dB
最大尺寸	214(W) × 308(L) × 225(H) mm

三、核心設計特征

1. 雙繞式渦旋結構
采用 1 根軌道螺旋和 2 根固定螺旋的雙繞式設計，實現高效排氣和優異的極限真空度。

2. 干式無油設計
泵腔內無油運行，排氣清潔，不會發生真空油的返流和油霧，適用于對清潔度要求高的工藝。

3. 全壓力范圍運行
可從大氣壓力到極限壓力范圍內連續運行，無需旁通管路。

4. 低振動·低噪音
噪音水平 ≤ 52 dB（AF 開時），適合在實驗室和安靜環境中使用。

5. 空氣沖洗功能
通過空氣沖洗（Air Flash）操作，可排出殘留在泵中的水分，并具有恢復極限壓力的效果。

6. 內置安全保護
配備自動復位型熱保護器等安全設計，防止電機過載。

7. 緊湊輕量
重量僅 14kg，外形小巧，便于安裝在有限空間內。

四、型號與標準對應

型號	認證標準	CE 自我宣言	1Φ 100V系	1Φ 200V系	3Φ 200V系	3Φ 400V系
DIS-90	cTUVus	●	●（可通過更換端子板切換）	—	—	—

注：cTUVus 認證表示本產品已通過國際第三方產品安全測試和認證，符合美國標準。

五、典型應用場景

應用領域	說明
分析設備	質譜儀、電子顯微鏡等的前級泵
氣體回收系統	稀有氣體的回收與循環
鍍膜設備	濺射、蒸鍍等真空鍍膜工藝
渦輪分子泵前級泵	作為 TMP 的前級泵使用
氦檢漏儀	檢漏系統的真空泵
半導體制造工藝	無油清潔環境下的排氣

六、選型要點

電源條件：單相 100V/200V 系，可通過更換端子板切換電壓
排氣速度需求：50Hz 下 90 L/min，60Hz 下 108 L/min
安裝環境：僅限室內使用，環境溫度 5～40℃
水蒸氣處理：有少量水蒸氣時，可通過空氣沖洗功能（AF 開）將處理量提高至 5 g/day
排氣成分：不適用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蝕性氣體

七、注意事項

吸入粉末或生成物會導致泵損壞，請使用吸氣阱
禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蝕性氣體，否則可能導致故障、爆炸或火災
僅供室內使用，請勿安裝于下雨或淹水的地方或室外
維護周期可通過計時表控制，建議定期進行檢查和保養
空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水，還具有恢復極限壓力的效果

八、總結

ULVAC DIS-90 渦旋式干泵通過雙繞式渦旋結構和干式無油設計，為分析設備、鍍膜工藝及半導體制造等應用提供了一套清潔、低噪音的真空解決方案。其 90 L/min 的排氣速度、5 Pa 的極限壓力及 52 dB 的低噪音水平，適用于需要清潔真空和安靜運行環境的各類工業和研究場景。

池田屋精品！ULVAC DIS-90渦旋式干泵技術參數

一、產品概述