在半導體制造、液晶面板生產、電子元件焊接及惰性氣體純化等工藝中，精確測量低至ppm級別的氧濃度是保障產品質量與生產安全的關鍵環(huán)節(jié)。橫河電機（Yokogawa）OX400型低濃度氧化鋯氧分析儀，基于氧化鋯傳感技術與新型薄膜沉積工藝，實現(xiàn)從0-10 ppm至0-100 vol% O?的寬范圍測量，其傳感器壽命約為傳統(tǒng)產品的3倍，適用于對低氧濃度監(jiān)測有較高要求的各類電子與工業(yè)應用場景。本文圍繞OX400的技術規(guī)格、功能配置及使用要點進行說明。

一、產品基本規(guī)格參數(shù)

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀的核心技術指標如下：

參數(shù)項目	規(guī)格指標
測量對象	惰性氣體中的氧濃度（不含可燃性氣體、硅、腐蝕性氣體及液體）
測量原理	氧化鋯濃差電池式
測量范圍	0-10 ppm O? 至 0-100 vol% O?（0.01 ppm分辨率）
重復性	±1% FS
線性度	±2% FS（0-100 ppm以上量程）；±3% FS（0-100 ppm及以下量程）
響應時間	90%響應：10秒以內（0-1 vol%及以上）；30秒以內（小于0-1 vol%）
漂移	±2% FS/周
采樣方式	泵式、吸氣器式、或無抽吸裝置（可選）
樣氣條件	流量200±25 ml/min；溫度0-50℃；壓力0-300 PaG（無抽吸裝置時最大40 kPaG）
模擬輸出	2路：主輸出4-20mA DC（最大負載550Ω）；輔助輸出0-1/5/10V DC可選
數(shù)字通信	RS-232（單向）
顯示	4位LED數(shù)字顯示（主顯濃度，副顯參數(shù)/報警代碼）
電源	100-120V AC / 200-240V AC（50/60Hz）
功耗	100-120V: 200VA最大；200-240V: 400VA最大
質量	約5kg
外形尺寸	213(W) × 132(H) × 約375(D) mm
暖機時間	20分鐘以內

二、核心技術：氧化鋯傳感器與薄膜沉積工藝

OX400采用橫河電機自研的氧化鋯傳感器技術。其核心改進在于采用新型薄膜沉積工藝，在氧化鋯元件與鉑電極之間形成分子級鍵合，有效防止層間剝離，使傳感器壽命延長至傳統(tǒng)產品的約3倍。傳感器采用圓柱形設計，樣氣可直接流經傳感器內部而無延遲，有利于實現(xiàn)快速響應。該結構同時降低了樣品氣流入時空氣滲入的影響，提升了低濃度（ppm級）測量的精度。

三、采樣系統(tǒng)配置

OX400提供三種采樣方式選項，以適應不同應用場景：

泵式：內置泵主動抽取樣氣，適用于樣氣壓力較低或需要穩(wěn)定流量的場合。
吸氣器式：利用壓縮空氣或氮氣作為動力源進行抽吸，無運動部件，適合需要長期免維護運行的場景。
無抽吸裝置：適用于樣氣本身具有一定壓力的場合。

四、功能與自診斷能力

多量程與自動量程切換：支持自動量程（0-10 ppm至0-100%多檔自動切換）、固定量程及部分量程設定。
多流路切換（選配）：通過多選擇器功能，單臺分析儀可依次測量最多3個不同采樣點的氣體。
自診斷功能：可檢測傳感器錯誤、加熱器溫度異常、溫度傳感器斷線、設備溫度錯誤、CPU錯誤、風扇停止等故障狀態(tài)，并以報警或錯誤代碼形式輸出。

五、安裝與校準要點

OX400為臺式或面板安裝型，適用于室內非防爆區(qū)域，環(huán)境溫度需控制在0-40℃范圍內。
校準支持3點校準（10 ppm、1000 ppm、空氣）、2點校準（用戶設定零點和量程氣）、1點校準及空氣校準等方式。
傳感器可在現(xiàn)場更換，降低了維護成本和停機時間。
樣氣需不含可燃性氣體、硅、腐蝕性氣體及液體，以避免損壞傳感器或影響測量精度。

六、典型應用場景

半導體與液晶制造：擴散爐、干燥爐及液晶面板生產過程中的氧濃度控制。
電子焊接工藝：錫爐、回流焊爐的保護氣氛氧濃度監(jiān)測。
惰性氣體環(huán)境控制：手套箱、氣體純化生產過程中的微量氧測量。
粉塵防爆安全：粉末輸送過程中氧濃度的連續(xù)監(jiān)測，預防粉塵爆炸風險。

池田屋精品！橫河電機 OX400 低濃度氧化鋯氧分析儀

會員登錄

收藏該商鋪

提示