江崎供應日本SMC氣動真空閥XLD-40K-M9
高真空角（L 形）閥，用于防止泵在過載時運行。
[功能]
·初始排氣閥和主排氣閥一體化（兩段式流量控制閥）
? 實現系統緊湊化和節省
配管? 排氣時防止灰塵在腔室內卷起
? 初始排氣閥流量可調
? 氣動型/帶電磁閥
? 由于排氣量少，因此泵容量小，可縮短
排氣時間? 不含Ni（鎳）和Cr（鉻）等重金屬，濺射率低，因此晶圓
上的重金屬污染很少? 強氟
·均勻的烘烤溫度。導熱性好，全身溫度均勻，大大降低產品粘附
性重量輕、結構緊湊
| 類型 | 氣動真空閥 | 應用 | 一次性使用 |
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| 安裝方向 | 直接 | 端口數 | 2 通閥 |
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| 開關類型 | 2 位常閉 | 管口類型 | 法蘭 |
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| 法蘭類型 | 欽哲基金會 | 法蘭公稱 | 40 |
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| 密封類型 | 波紋管密封 | Sonic Speed Conductance | 45 升/秒 |
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| 引燃港方向 | 翼緣面，左側 | 溫度范圍（°C） | 5 至 60 |
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| 開關部件號 | 無自動切換（帶內置磁鐵） | 開關數量 | 無開關 |
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| 密封材料 | FKM 1349-80 | 泄漏量（Pa·m3/s） | 內部：1.3 × 10-10，外部：1.3 × 10-11 |
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| 體表處理 | 外部： 硬質陽極氧化鋁， 內部： 基材 | 密封更換位置 | 沒有 |
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| 開關引線長度（m） | - | 加熱器 Yes/No | 沒有 |
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| RoHS 指令 | - | - | - |
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江崎供應日本SMC氣動真空閥XLD-40K-M9
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