在半導(dǎo)體 wafer（晶圓）與 LCD 玻璃基板搬運中，傳統(tǒng)平行卡爪或真空吸盤容易在器件表面留下壓痕、吸附殘留甚至造成微損傷。WHA/WHF 系列"單刀片薄片手"（邊緣夾持式晶片手）采用獨特的側(cè)臂/叉臂邊緣夾持結(jié)構(gòu)，專為避免接觸工件正反表面而設(shè)計。以下帶您了解它的內(nèi)部工作邏輯。

一、基本驅(qū)動原理——氣動彈簧夾緊＋負壓/氣壓開啟

WHA 與 WHF 系列屬于邊緣夾具型（Edge Grip）氣動夾持手，驅(qū)動邏輯與常規(guī)雙爪氣爪不同：

• 夾緊（閉合）→ 彈簧力

  切斷氣源/負壓時，內(nèi)部機械彈簧提供夾持力，使側(cè)臂（牙叉/Fork）向中心合攏抱住晶圓或玻璃板邊緣——即使意外斷氣，工件仍被保持，有助提升安全性。

  
  

• 松開（打開）→ 負壓氣缸或氣壓驅(qū)動

  向驅(qū)動腔供給指定真空壓力（典型－60～－95kPa）或壓縮空氣，活塞克服彈簧力回退，帶動凸輪/連桿機構(gòu)將側(cè)臂向外張開釋放工件。

  
  

WHA 系列多為單側(cè)驅(qū)動單邊臂式；WHF 系列為主叉＋側(cè)臂雙側(cè)同步驅(qū)動式，適合較大尺寸或多片搬運定制。

二、邊緣夾持——為什么"只碰邊緣"很重要？

WHA/WHF 的夾持元件為超薄 CFPR（碳纖維增強塑料）或鋁合金叉臂（Blade/Fork），厚度僅數(shù)毫米：

• 叉臂插入晶圓/玻璃板下方托舉，側(cè)臂內(nèi)側(cè)與工件外圓周邊緣接觸——正反面薄膜層、電路圖案不與夾具接觸，規(guī)避了夾傷、吸附印痕及微粒污染風(fēng)險。

  
  

• 夾持點通常設(shè)計為 V 型或圓弧定位面，配合彈簧恒定夾持力，高速移載時可抑制工件徑向偏移（芯偏移現(xiàn)象）。

  
  

三、開閉傳動機構(gòu)——凸輪/連桿轉(zhuǎn)換活塞直線運動

內(nèi)部活塞（或膜片）受負壓/氣壓驅(qū)動做軸向直線運動，經(jīng)由特殊凸輪槽或平行連桿機構(gòu)將活塞位移轉(zhuǎn)換為叉臂的徑向開合運動：

• 開合行程一般為 8～10mm（含夾持段＋放開間隙），適配 φ200/φ300/φ450mm 標(biāo)準(zhǔn)晶圓或?qū)?yīng)尺寸玻璃基板

  
  

• 多叉臂版本（定制 5片/25片等）通過同步連桿確保各叉臂開合一致性，單次可搬運多片

  
  

四、潔凈室適配設(shè)計邏輯

• 滑動/轉(zhuǎn)動部使用低發(fā)塵潤滑脂，主體及緊固件多為 SUS 不銹鋼＋PEEK 等潔凈室兼容材質(zhì)

  
  

• 叉臂表面可做低析出處理，整體適配 Fed-Std-209E Class 1 級（ISO Class 3）潔凈環(huán)境要求

  
  

• 可選配開閉確認傳感器（磁性開關(guān)或光電），反饋夾持狀態(tài)給上位機做安全互鎖

  
  

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