OYS-1200C-4L防爆CVD管式爐整套設備詳情

OYS-1200C-4L為CE認證加長分體防爆型CVD管式爐成套系統，由加熱主機、雙通道混氣供氣單元、高真空機組三部分組成，適配氫氣、氮氣等混合氣氛真空沉積、薄膜生長、氣相合成實驗；整機防爆，電控防爆級別IIBT6、IP54防護，專為有易燃易爆氣源使用場景的高校、新材料研發實驗室設計，可實現精準控溫、精準配氣、高真空環境一體化工藝。

一、加熱主機核心技術參數

1.                      電氣與溫度：220V 50/60Hz，額定功率7.1KW；

2.                      短時最高1200℃（≤1h），長期≤1100℃，

3.                      升溫≤10℃/min，K型熱電偶，控溫精度±1℃；

4.                      加熱腔體：有效加熱區長900mm，標配φ100×1400mm高純石英管，使用兩端加裝管堵；

5.                      加熱元件：高品質含鉬電阻絲；

6.                      尺寸重量：加熱爐體1630×510×610mm（約150KG），防爆電控柜600×600×400mm（約80KG）。

二、爐體硬件與防爆安全結構

分體式布局，加熱爐、電控柜獨立分離，整機采用防爆結構質，防爆電控柜防爆等級IIBT6、防護IP54；雙層風冷殼體，高純氧化鋁纖維爐膛，內壁高溫涂層，對開翻蓋方便更換石英管；爐管外露區域配不銹鋼防爆網罩。

法蘭配置：標配不銹鋼真空密封法蘭，進氣雙卡套結構，出氣為多接口三口法蘭，預留KF25/KF16真空端口；支持快拆、水冷、觀察窗法蘭非標定制。

專屬防爆安全配件：標配機械泄壓閥、兩段式氫氣聲光報警器（高濃度自動切斷氣源）、氫氣自動點火裝置（選配加價），爐體加厚殼體提升防爆性能。

三、溫控系統

單溫區獨立YD858溫控儀表，PID自整定，支持50段升降溫程序，帶超溫、斷偶報警；可選配電腦軟件、觸摸屏存儲導出升溫曲線。

四、配套雙通道混氣供氣系統（GYS-2Z）

1. 基礎參數：220V、23W，工作溫區5~45℃，耐壓3×10?Pa，流量精度±1.5FS、重復±0.2FS；氫氣量程1-100SCCM、氮氣1-500SCCM，可定制多通道與大流量規格。

2. 結構配置：觸摸屏操控，面板機械壓力表，內置φ76混氣罐；內部316不銹鋼、四氟管路，雙卡套截止閥，全部活接頭便于檢修；整機防爆柜體，可多種氣體平穩切換，杜絕空氣倒灌。

3. 整機尺寸610×610×710mm，重量約30KG。

五、配套真空機組（JXB-12X）

1. 基礎參數：220V、1KW，抽速3L/s，無負載極限真空1.0×10-1Pa，整機漏率5×10-9Pam3/s，可達10-3torr；

2. 配置：KF25真空波紋管、手動高真空擋板閥、LCD電阻真空計、排氣油污過濾器；帶承重移動臺面、制動腳輪，適配管式爐成套配套；外形尺寸610×610×710mm，約110KG。

六、氣路真空通用安全規范

1. 爐內氣壓上限0.02MPa，氣瓶須配套0.01~0.1MPa減壓閥；進氣流量≤200SCCM；

2. 爐溫＞1100℃禁止抽真空，管內保持常壓；不建議全封閉氣閥加熱，超壓立刻開啟泄壓閥；

3. 整套設備僅限惰性、氫氣等合規氣源，嚴格管控易燃易爆氣體，依托整機防爆結構與報警裝置保障實驗安全。

七、資質與售后質保

核心元器件采用ABB、OMEGA、東明品牌，UL認證材料，整機CE出口認證；整機一年質保，24小時線上技術、終身維護；加熱絲、石英管、熱電偶、密封件、流量計、真空泵濾芯等耗材，以及腐蝕性氣體造成損壞不在保修范圍。

八、生產廠家：合肥微元素

整套防爆CVD氣相沉積系統由合肥微元素實驗室設備有限公司自主成套研發生產，企業覆蓋常規管式爐、旋轉爐、真空淬火爐、防爆CVD成套設備、各類氣氛箱式爐全產品線；可根據通道數量、真空等級、防爆配置、流量量程、加熱長度非標定制。售前提供CVD薄膜、氣相沉積整套工藝方案，售中整機成套出廠檢測，售后上門安裝調試、工藝指導、故障檢修一站式服務，一站式解決氣相沉積、真空混氣高溫科研實驗成套設備需求。