MFC 由流體通道、傳感單元、控制電路、執行閥門、外殼及接口組件構成，模塊化設計保障精度與穩定性。傳感單元是核心，熱式含微加熱器與熱敏元件，壓差式配層流元件與壓差傳感器。控制電路搭載高速處理器與 PID 算法，負責信號采集、運算與控制輸出。執行閥門分電磁式與壓電式，壓電閥響應更快、控制精度更高，適配制程。流體通道采用不銹鋼或特種合金，防腐蝕、耐高壓，適配高純與腐蝕性介質。外殼屏蔽電磁干擾，接口支持模擬 / 數字通訊，可無縫接入工業控制系統。

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