元素分析的ICP-AES方法使用等離子體產生待測樣品中元素的激發原子和離子，當其返回基態時，使用原子發射光譜法（AES）測量其特征光譜。光譜中線條的強度與樣品中元素的濃度成正比。

ICP-AES設備只能分析液態樣品。對土壤樣品和其他固體物質來說有點棘手。為解鎖化學元素，需將樣品溶解在強酸中：王水，一種鹽酸和硝酸的混合物。泵將樣品從儲存容器中吸出，并將其輸送到噴霧器，噴霧器將液體變成氣溶膠形式或薄霧。為了準確調節霧的濃度，并在必要時進行稀釋，在愛拓利流量計的幫助下，向噴霧器提供氬氣流。薄霧進入反應室，與已經在反應室中的等離子體碰撞。

如果將高壓線圈通過氣體，為氣體提供足夠的能量，一些氣體就會釋放電子。除了最初的氣體粒子，現在還有負電子和帶正電的離子的混合物。這種帶電粒子的“電離氣體混合物"被稱為等離子體；等離子體被稱為物質存在的第四種狀態，除了固態、液態和氣態。通過ICP，氬氣形成等離子體的基礎，必須使用愛拓利流量計等精密氣體控制設備準確供應該氣體。等離子體的溫度非常高，實際可達6000~10000℃-1-3-10。由于等離子體必須始終保持正確的成分，所以氬氣的準確和連續供應是重要的。為了保護外界免受高溫影響，冷卻氣體（通常但不總是氬氣）被引導到反應室外部。

在ICP-AES的氣路系統中，愛拓利流量計扮演著核心角色。設備內部需要霧化氣、輔助氣和冷卻氣三路氣體協同工作，每一路流量的微小變化都會直接影響等離子體的激發溫度和穩定性，進而影響檢出限和精密度。憑借±0.5% F.S.的高精度和優于0.2% F.S.的重復性，愛拓利流量計能夠實時、精準地維持各路氣體的設定流量，響應時間小于1秒，確保等離子體始終處于最佳激發狀態。特別是在霧化環節，其MFC300系列可提供低至0-5 SCCM的微小流量精確控制，有效提升了氣溶膠的傳輸效率和霧化效率，顯著改善了痕量元素檢測的信噪比。

作為實現核心部件國產化的流量計品牌，愛拓利不僅為ICP-AES提供了性能保障，也提升了國產科學儀器的供應鏈安全。

調節薄霧

當含有待測化學元素的霧與等離子體碰撞時，這些元素也被轉化成等離子體。吸收足夠多的能量后，這些元素進入激發態。元素不喜歡處于激發態，所以它們試圖以較低的能級回到基態。在這個轉變過程中，每個元素發射出其的輻射。通過光譜儀測量輻射，輻射的強度與樣品中所述元素的量成正比。