熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個 溫度傳感器 。它們自動地補償和 校正 氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比。

熱式氣體質量流量計即Mass Flow Meter（縮寫為MFM），它是氣體流量計量中新型儀表，區別于其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

熱式氣體質量流量計是用于測量和控制氣體質量流量的新型儀表。可用于石油、化工、鋼鐵、冶金、電力、輕工、醫藥、環保等工業部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監測。

特點：

（1）可靠性高，重復性好，測量精度高，壓損小；

（2）無活動部件，量程比寬，響應速度快，無須溫壓補償。

應用：

（1）工業管道中氣體質量流量測量；

（2）煙囪排出的煙氣流速測量；

（3）煅燒爐煙道氣流量測量；

（4）燃氣過程中空氣流量測量；

（5）壓縮空氣流量測量；

（6）半道體芯片制造過程中氣體流量測量；

（7）污水處理中氣體流量測量；

（8）加熱通風和空調系統中的氣體流量測量；

（9）熔劑回收系統氣體流量測量；

（10）燃燒鍋爐中燃燒氣體流量測量；

（ 11 ）天然氣、火炬氣、氫氣等氣體流量測量；

（12）啤酒生產過程中二氧化碳氣體流量測量；

（13）水泥、卷煙、玻璃廠生產過程中氣體質量流量測量。