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ULVAC愛發(fā)科GLD-137CC油回轉(zhuǎn)真空泵技術(shù)解析：高功能型旋片泵的可靠之選

2026-3-18　　閱讀(339)

在真空技術(shù)領(lǐng)域，設(shè)備的穩(wěn)定性、極限真空度與環(huán)境適應(yīng)性始終是衡量其性能的核心標(biāo)尺。ULVAC愛發(fā)科作為真空技術(shù)，其GLD-137CC油回轉(zhuǎn)真空泵（旋片式）以“高功能規(guī)格"為設(shè)計(jì)理念，在安全性與功能性層面實(shí)現(xiàn)了全面進(jìn)化，成為化學(xué)分析、半導(dǎo)體制造及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域的理想背泵選擇。

一、產(chǎn)品定位與技術(shù)架構(gòu)

GLD-137CC屬于ULVAC GLD系列的高性能型號，定位為低中真空領(lǐng)域的核心抽氣設(shè)備。該泵采用兩級排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)，相比單級泵能夠?qū)崿F(xiàn)更低的極限壓力，確保優(yōu)異的真空獲得能力。

產(chǎn)品提供日本原產(chǎn)（GLD-137CC）與中國產(chǎn)（GLD-N137）兩種配置，滿足不同市場的需求，但核心技術(shù)參數(shù)與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)保持高度一致。

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

GLD-137CC在技術(shù)架構(gòu)上的精進(jìn)，體現(xiàn)了ULVAC對用戶場景的深度理解：

1. 高性能排氣系統(tǒng)

兩級排氣架構(gòu)使得泵體能夠在更寬的壓力范圍內(nèi)保持穩(wěn)定的抽氣性能。在50Hz電源下，有效排氣速度可達(dá)135 L/min；60Hz下則提升至162 L/min，兼顧了不同電網(wǎng)地區(qū)的使用需求。

2. 極限真空性能

關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥（G.V.Closed）時(shí)，極限壓力可達(dá)0.67 Pa；開啟氣鎮(zhèn)閥（G.V.Open）時(shí)，極限壓力為6.7 Pa。這一數(shù)據(jù)基于皮拉尼真空計(jì)測量，若使用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測量，對于極限壓力1.3Pa以下的泵，數(shù)值還會低一個數(shù)量級，進(jìn)一步印證了其高真空獲得能力。

3. 多重保護(hù)與功能集成

GLD-137CC配備了多項(xiàng)提升可靠性與安全性的機(jī)構(gòu)：

防回流機(jī)構(gòu)：在因停電等緊急情況停機(jī)時(shí)，可有效防止泵油倒流回真空室，保護(hù)系統(tǒng)免受污染。
強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)：確保排氣速度穩(wěn)定，即使在工況變化時(shí)也能維持可靠的潤滑與密封。
氣鎮(zhèn)閥：可去除吸入氣體中的水分及其他可凝性物質(zhì)，防止其溶解在泵油中導(dǎo)致性能劣化，尤其適用于處理含有水汽的工藝環(huán)境。
寬電壓馬達(dá)：配備多范圍通用電機(jī)，可在任何電壓下使用，只需簡單切換線路即可適應(yīng)100-120V或200-240V電源，大幅提升了設(shè)備的國際通用性。

4. 低噪音低振動設(shè)計(jì)

通過精密的動平衡設(shè)計(jì)與結(jié)構(gòu)優(yōu)化，GLD-137CC實(shí)現(xiàn)了出色的運(yùn)行與低振動特性，為實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間提供了友好的工作環(huán)境。

三、詳細(xì)規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目	規(guī)格（50Hz）	規(guī)格（60Hz）
有效排氣速度	135 L/min	162 L/min
極限壓力（G.V.Closed）	0.67 Pa	0.67 Pa
極限壓力（G.V.Open）	6.7 Pa	6.7 Pa
使用電動機(jī)	單相, 100-120V／200-240V, 400W, 4P	同左
全負(fù)荷電流	6.8A(100-120V)/3.5A(200-240V)	5.8A(100-120V)/2.9A(200-240V)
油量	1,000 mL	1,000 mL
推薦用油	SMR-100	SMR-100
重量	29 kg	29 kg
吸氣管徑	KF-25 mm	KF-25 mm
使用環(huán)境溫度	7～40℃	7～40℃
外形尺寸	170(W)×487.5(L)×249.5(H)mm	同左

數(shù)據(jù)來源：ULVAC規(guī)格表

四、應(yīng)用場景與行業(yè)價(jià)值

GLD-137CC憑借其穩(wěn)定的性能和可靠的防護(hù)設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于多個高科技領(lǐng)域：

科學(xué)研究與化學(xué)分析

作為化學(xué)實(shí)驗(yàn)、分析儀器及激光應(yīng)用設(shè)備的真空源，其穩(wěn)定的極限真空度確保了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可重復(fù)性與準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體與薄膜制備

在半導(dǎo)體制造設(shè)備、濺射設(shè)備、真空蒸發(fā)設(shè)備中，GLD-137CC常作為高真空系統(tǒng)的背泵（前級泵），為分子泵或擴(kuò)散泵提供必要的預(yù)備真空。

電子顯微鏡配套

用于電子顯微鏡的粗抽系統(tǒng)，快速建立初級真空，縮短系統(tǒng)循環(huán)時(shí)間。

真空干燥與冷凍干燥

在真空干燥機(jī)、冷凍干燥機(jī)中，其穩(wěn)定的抽氣能力和氣鎮(zhèn)閥設(shè)計(jì)能夠有效處理干燥過程中釋放的水汽，保持泵油性能。

五、使用與維護(hù)注意事項(xiàng)

為確保GLD-137CC長期穩(wěn)定運(yùn)行，用戶需關(guān)注以下操作要點(diǎn)：

定期換油：真空泵油隨著運(yùn)行會逐漸劣化，導(dǎo)致性能下降。需定期檢查油位是否充足、油質(zhì)是否污染，并及時(shí)補(bǔ)充或更換。推薦使用ULVAC SMR-100專用真空泵油。
防回流機(jī)構(gòu)：雖然泵內(nèi)置了防回流閥機(jī)構(gòu)，可在斷電時(shí)防止油液倒流，但長期停機(jī)后應(yīng)將真空側(cè)恢復(fù)至大氣壓，以確保安全。
油霧處理：排氣口產(chǎn)生的油霧（油煙）在接近大氣壓運(yùn)行時(shí)尤為明顯，建議根據(jù)工況配置油霧過濾器。
避免高壓連續(xù)運(yùn)行：本泵不適合在10kPa或更高的吸入壓力下連續(xù)操作，否則可能導(dǎo)致泵油乳化、性能下降甚至損壞。
嚴(yán)禁堵塞排氣口：若在排氣口關(guān)閉或排氣側(cè)氣體通道堵塞的情況下運(yùn)行，泵內(nèi)部壓力可能異常升高，存在泵體爆裂、油位計(jì)彈出或電機(jī)過載的風(fēng)險(xiǎn)。這是必須嚴(yán)格遵守的安全紅線。
電機(jī)保護(hù)：本泵電機(jī)內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器，當(dāng)過載保護(hù)裝置啟動時(shí)，應(yīng)立即拔下電源插頭，查明原因后再重新啟動。

六、合規(guī)性與國際認(rèn)證

GLD-137CC通過了多項(xiàng)國際安全與質(zhì)量認(rèn)證，彰顯了其品質(zhì)：

TUV認(rèn)證：符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)，由國際第三方進(jìn)行產(chǎn)品安全測試與認(rèn)證。
cTUVus認(rèn)證：符合加拿大和美國標(biāo)準(zhǔn)。
CE自我聲明：符合歐盟相關(guān)指令要求。

結(jié)語

在真空技術(shù)日益精密化的今天，ULVAC愛發(fā)科GLD-137CC油回轉(zhuǎn)真空泵以其兩級排氣架構(gòu)、多重防護(hù)機(jī)制、寬電壓適應(yīng)性和國際安全認(rèn)證，為用戶提供了一個兼具高性能與高可靠性的真空解決方案。它不僅是一臺能夠穩(wěn)定獲得高真空的設(shè)備，更是連接科研探索與工業(yè)生產(chǎn)的可靠橋梁。

無論是在半導(dǎo)體制造的精密工藝中，還是在基礎(chǔ)科研的實(shí)驗(yàn)臺上，GLD-137CC都以其靜默而穩(wěn)定的運(yùn)行，詮釋著“愛發(fā)科"作為真空技術(shù)的專業(yè)承諾。對于追求真空品質(zhì)與長期運(yùn)行穩(wěn)定性的用戶而言，GLD-137CC無疑是一個值得信賴的選擇。

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