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ULVAC愛發(fā)科高功能低振動(dòng)GLD-137油回轉(zhuǎn)真空泵技術(shù)解析

2026-6-10　　閱讀(185)

一、品牌背景與技術(shù)定位

ULVAC愛發(fā)科是真空技術(shù)綜合解決方案提供商，自1952年創(chuàng)立以來，長(zhǎng)期作為追求真空極限的技術(shù)先驅(qū)，在全球真空產(chǎn)業(yè)中占據(jù)重要地位。公司生產(chǎn)的真空裝置及相關(guān)周邊產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、平板顯示器生產(chǎn)、電子元器件制造、分析儀器及工業(yè)鍍膜等多個(gè)高科技領(lǐng)域。

GLD-137是ULVAC面向低中真空領(lǐng)域推出的高功能型油回轉(zhuǎn)真空泵，屬于GLD系列中的代表性中小規(guī)格型號(hào)。該型號(hào)采用兩級(jí)排氣系統(tǒng)，憑借400W的適中功率配置、優(yōu)異的排氣速度和極限真空性能，同時(shí)搭載氣鎮(zhèn)閥、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)、防逆流機(jī)制和大號(hào)油液位計(jì)等多項(xiàng)高功能配置，充分體現(xiàn)了ULVAC在油回轉(zhuǎn)真空泵領(lǐng)域深厚的技術(shù)積累與設(shè)計(jì)功底。GLD-137在市場(chǎng)上存在GLD-137AA和GLD-137CC兩種主要子型號(hào)，分別對(duì)應(yīng)三相和單相電源規(guī)格，用戶可根據(jù)工廠供電條件靈活選擇。

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

2.1 兩級(jí)排氣系統(tǒng)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

GLD-137采用兩級(jí)排氣系統(tǒng)，兩個(gè)排氣腔串聯(lián)工作。第一級(jí)泵腔將氣體壓縮至中間壓力后輸送至第二級(jí)泵腔，第二級(jí)泵腔進(jìn)一步將氣體壓縮至大氣壓以上后排出。與單級(jí)排氣系統(tǒng)相比，兩級(jí)排氣系統(tǒng)能夠獲得更低的壓力，即更好的真空度。這一結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使GLD-137能夠在從大氣壓到高真空的寬壓力范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定排氣，其極限壓力可達(dá)0.67 Pa（氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉），氣鎮(zhèn)閥打開時(shí)亦能維持6.7 Pa的良好真空性能。

2.2 低振動(dòng)的工程實(shí)現(xiàn)

低振動(dòng)是GLD-137的核心賣點(diǎn)之一。GLD系列擁有高性能、低振動(dòng)、低噪聲的特點(diǎn)，在同類產(chǎn)品中具有顯著的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。其低振動(dòng)特性源于多方面的工程優(yōu)化：

首先，直聯(lián)式設(shè)計(jì)降低了傳動(dòng)環(huán)節(jié)的振動(dòng)源。與傳統(tǒng)皮帶驅(qū)動(dòng)型真空泵相比，直聯(lián)式結(jié)構(gòu)省去了皮帶及帶輪系統(tǒng)，減少了因皮帶張力和輪系不平衡所引發(fā)的機(jī)械振動(dòng)。

其次，精密動(dòng)平衡處理的轉(zhuǎn)子組件。轉(zhuǎn)子和葉片系統(tǒng)在制造過程中經(jīng)過精細(xì)的動(dòng)平衡校正，確保在高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下各運(yùn)動(dòng)部件的質(zhì)量分布均勻，從根本上減少了因質(zhì)量偏心引發(fā)的周期性振動(dòng)。

此外，優(yōu)化的泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。兩級(jí)排氣系統(tǒng)的內(nèi)部流道經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，氣體在壓縮和排氣過程中的壓力脈動(dòng)得到有效抑制，進(jìn)一步減少了流體動(dòng)力學(xué)層面的振動(dòng)和噪聲。

最后，合理的散熱結(jié)構(gòu)與材料選擇。 GLD系列在散熱片部分進(jìn)行了創(chuàng)新設(shè)計(jì)，在實(shí)現(xiàn)高散熱效率的同時(shí)，也使振動(dòng)能量在傳遞至泵體外殼前得到有效衰減。

低振動(dòng)的工程特性使GLD-137特別適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及對(duì)振動(dòng)敏感的精密工藝場(chǎng)合。在電子顯微鏡前級(jí)泵應(yīng)用中，GLD-137的低振動(dòng)輸出不會(huì)干擾顯微鏡的穩(wěn)定成像；在半導(dǎo)體制造設(shè)備的粗抽環(huán)節(jié)，低振動(dòng)特性有助于維持高潔凈度工藝環(huán)境的穩(wěn)定。

2.3 強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)保障排氣速度穩(wěn)定

GLD-137安裝了強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)，可保證從大氣壓到高真空的整個(gè)排氣過程中保持穩(wěn)定的油潤(rùn)滑和內(nèi)部密封性能。這一設(shè)計(jì)確保了泵在不同壓力工況下均能維持穩(wěn)定的排氣速度，有效避免了因油路壓力波動(dòng)導(dǎo)致的排氣效率下降問題。強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)的存在使得GLD-137在大氣壓下即可直接啟動(dòng)運(yùn)行，無需預(yù)先抽至一定真空度，大大提升了設(shè)備操作靈活性。

2.4 氣鎮(zhèn)閥：高功能性標(biāo)志

GLD-137標(biāo)配了氣鎮(zhèn)閥，這是使其被歸類為高功能型產(chǎn)品的重要技術(shù)特征之一。氣鎮(zhèn)閥的作用是在泵的壓縮腔中引入受控量的空氣或惰性氣體，從而降低被抽氣體中可凝性蒸氣（如水蒸氣或有機(jī)溶劑蒸氣）的分壓，使其在排氣過程中保持氣態(tài)并順利排出泵外，防止水分和可凝性物質(zhì)溶入泵油。用戶可根據(jù)工藝需求選擇開啟或關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥：氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉時(shí)極限壓力可達(dá)0.67 Pa，滿足對(duì)高真空度的嚴(yán)格要求；氣鎮(zhèn)閥打開時(shí)極限壓力為6.7 Pa，顯著增強(qiáng)了對(duì)含水被抽氣體的耐受性，延長(zhǎng)泵油使用壽命。

2.5 防逆流機(jī)制的安全保護(hù)

GLD-137安裝了防回流機(jī)構(gòu)，在因停電等緊急情況導(dǎo)致泵停止時(shí)，可有效防止泵油回流至真空室。這一設(shè)計(jì)對(duì)于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等對(duì)潔凈度要求極為苛刻的應(yīng)用場(chǎng)景尤其重要——一旦泵油倒流進(jìn)入真空腔體，不僅可能導(dǎo)致整個(gè)批次的工藝報(bào)廢，還會(huì)造成設(shè)備污染的嚴(yán)重后果。

2.6 大號(hào)油液位計(jì)的維護(hù)便捷性

GLD-137配備大號(hào)油液位計(jì)，用戶可以直觀地觀察油位和油質(zhì)狀況，便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)油量減少或油質(zhì)污染問題并采取相應(yīng)的維護(hù)措施。定期確認(rèn)油量減少和污染、及時(shí)添加或更換油品是保持泵性能長(zhǎng)期穩(wěn)定的關(guān)鍵。

2.7 寬電壓馬達(dá)與國際認(rèn)證體系

GLD-137全系列產(chǎn)品配備寬電壓多范圍通用電機(jī)，其中GLD-137AA（三相型號(hào)）支持三相200-240V及380-460V兩種電壓規(guī)格；GLD-137CC（單相型號(hào)）支持單相100-120V及200-240V電壓規(guī)格。這一全球通用的電氣設(shè)計(jì)使得GLD-137可在世界各國的不同電壓標(biāo)準(zhǔn)下靈活應(yīng)用，尤其適用于出口設(shè)備和跨國生產(chǎn)平臺(tái)。

在安全認(rèn)證方面，GLD-137通過了CE自我聲明認(rèn)證，并取得TUV國際第三方產(chǎn)品安全認(rèn)證，其中GLD-137CC型號(hào)更獲得cTUVus認(rèn)證。TUV認(rèn)證意味著本產(chǎn)品是通過國際第三方產(chǎn)品安全測(cè)試和認(rèn)證、符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)的高質(zhì)量產(chǎn)品。

三、技術(shù)規(guī)格

GLD-137AA（三相）與GLD-137CC（單相）的技術(shù)規(guī)格對(duì)比如下表所示：

項(xiàng)目	單位	GLD-137AA（三相）	GLD-137CC（單相）
有效排氣速度（50Hz/60Hz）	L/min	135 / 162	135 / 162
極限壓力（氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉）	Pa	0.67	0.67
極限壓力（氣鎮(zhèn)閥打開）	Pa	6.7	6.7
使用電動(dòng)機(jī)	—	三相, 200-240V/380-460V, 400W, 4P	單相, 100-120V/200-240V, 400W, 4P
全負(fù)荷電流（50Hz，200V）	A	2.1	—
全負(fù)荷電流（60Hz，200V）	A	2.0	—
油量	mL	1,000	1,000
使用油	—	SMR-100	SMR-100
重量	kg	26	29
吸氣管徑	mm	KF-25	KF-25
使用環(huán)境溫度范圍	℃	7～40	7～40
外形尺寸（寬×長(zhǎng)×高）	mm	170×485.5×240	170×487.5×249.5
氣鎮(zhèn)閥	—	有	有
防逆流機(jī)構(gòu)	—	有	有
強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)	—	有	有
過熱保護(hù)	—	無內(nèi)置保護(hù)器，需外部電機(jī)斷路器	內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器
國際認(rèn)證	—	CE/TUV	CE/TUV/cTUVus

需要注意的是，極限壓力為皮拉尼真空計(jì)的測(cè)量值。當(dāng)采用麥克勞德真空計(jì)測(cè)量時(shí)，對(duì)于極限壓力為1.3 Pa或更低的泵，該值低一個(gè)數(shù)量級(jí)。GLD-137在GLD系列中以400W額定功率的適中配置提供了135 L/min（50Hz）至162 L/min（60Hz）的排氣速度，兼具功率消耗較低與抽速性能充足的綜合優(yōu)勢(shì)。

四、AA與CC子型號(hào)對(duì)比

GLD-137系列提供了AA和CC兩種子型號(hào)，其核心區(qū)別體現(xiàn)在電源類型和認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)上：

GLD-137AA（三相型號(hào)）：采用三相電源供電，重量為26 kg，適用于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三相配電環(huán)境。該型號(hào)未內(nèi)置過熱保護(hù)器，用戶需配置外部電機(jī)斷路器作為電機(jī)保護(hù)裝置。
GLD-137CC（單相型號(hào)）：采用單相電源供電，重量為29 kg，適用于實(shí)驗(yàn)室及一般工業(yè)環(huán)境的單相配電系統(tǒng)。該型號(hào)內(nèi)置了自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器，可在電機(jī)溫度過高時(shí)自動(dòng)切斷電源，溫度下降后自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。

兩者在排氣速度、極限壓力、油量等核心性能指標(biāo)上一致，在氣鎮(zhèn)閥、防逆流機(jī)構(gòu)、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)等功能配置上也無區(qū)別。用戶可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)電源條件和認(rèn)證要求選擇相應(yīng)的子型號(hào)，另外GLD-137CC還額外通過了cTUVus認(rèn)證，符合美國與加拿大的產(chǎn)品安全標(biāo)準(zhǔn)。

五、設(shè)計(jì)特點(diǎn)的綜合分析

GLD-137作為高功能型油回轉(zhuǎn)真空泵，其核心設(shè)計(jì)理念可概括為“高性能、高安全性、高維護(hù)性"三位一體。高性能方面，400W適中功率、135 L/min（50Hz）排氣速度與0.67 Pa極限真空的組合使其在同功率級(jí)別產(chǎn)品中占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位；高安全性方面，防逆流機(jī)制和內(nèi)置熱保護(hù)器（CC型號(hào)）有效降低了故障風(fēng)險(xiǎn)和事故隱患；高維護(hù)性方面，大號(hào)油液位計(jì)和定位銷輔助連接設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化了日常檢查和維修操作。

GLD-137還體現(xiàn)了ULVAC在散熱設(shè)計(jì)方面的持續(xù)優(yōu)化。為了更好地提高散熱效果，GLD系列產(chǎn)品在散熱片部分進(jìn)行了創(chuàng)新設(shè)計(jì)，從而實(shí)現(xiàn)了同類產(chǎn)品的高真空性能。良好的散熱性能確保泵在高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行時(shí)溫度保持在合理范圍內(nèi)，延長(zhǎng)了泵油的使用壽命和泵體本身的工作壽命。

六、應(yīng)用領(lǐng)域

6.1 實(shí)驗(yàn)室與科學(xué)研究

GLD-137在理化學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器及激光應(yīng)用系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛。其低振動(dòng)、低噪聲的特性非常適合對(duì)設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)性要求較高的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。400W的適中功率意味著其能耗較低，適合長(zhǎng)期運(yùn)行而不會(huì)帶來顯著的電力消耗負(fù)擔(dān)。

6.2 電子顯微鏡的背景泵

電子顯微鏡對(duì)振動(dòng)極為敏感——任何微小的機(jī)械振動(dòng)都可能傳遞至電鏡主體，導(dǎo)致圖像分辨率下降和成像不穩(wěn)定。GLD-137的低振動(dòng)特性使其成為電子顯微鏡前級(jí)泵的理想選擇，在提供可靠真空的同時(shí)不干擾電鏡的精密成像。

6.3 半導(dǎo)體制造設(shè)備

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，GLD-137廣泛應(yīng)用于濺射裝置、真空蒸鍍裝置等工藝設(shè)備中。0.67 Pa的極限壓力能夠滿足多數(shù)半導(dǎo)體工藝的中真空需求。防逆流機(jī)制和強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)的配置確保了在頻繁啟停和工藝切換時(shí)泵油的潔凈度和排氣速度的穩(wěn)定性。GLD-137同樣適用于LED和真空鍍膜制造領(lǐng)域的類似工藝環(huán)節(jié)。

6.4 真空干燥與冷凍干燥

GLD-137在真空干燥器和冷凍干燥器中應(yīng)用價(jià)值顯著。在干燥過程中，大量水蒸氣通過氣鎮(zhèn)閥被有效排除，防止水分溶解于泵油中導(dǎo)致油質(zhì)乳化變質(zhì)，顯著延長(zhǎng)了泵油的使用壽命，降低了維護(hù)頻率和成本。

6.5 分析儀器

氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等高分析儀器對(duì)前級(jí)真空泵的振動(dòng)水平和潔凈度都有嚴(yán)格要求。GLD-137的低振動(dòng)特性和穩(wěn)定的排氣速度，使其成為分析儀器制造商的優(yōu)選配套泵型。

6.6 真空包裝與真空加工

在食品真空包裝、真空模塑等工業(yè)應(yīng)用中，GLD-137可在大氣壓下直接啟動(dòng)運(yùn)行的特點(diǎn)使其能夠適應(yīng)啟停頻繁的工況要求。緊湊的170mm寬度和約26～29kg的重量便于設(shè)備集成和現(xiàn)場(chǎng)布置。

七、使用注意事項(xiàng)

為確保GLD-137的安全和長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，用戶應(yīng)注意以下事項(xiàng)：

真空泵油會(huì)隨著運(yùn)行而逐漸劣化，是導(dǎo)致泵性能不足的重要原因之一。請(qǐng)定期確認(rèn)油量減少和油質(zhì)污染情況，及時(shí)補(bǔ)充或更換油品，推薦使用SMR-100真空泵油。
防回流閥機(jī)構(gòu)在停電等緊急情況下可防止泵油回流到真空槽側(cè)。當(dāng)泵長(zhǎng)期停用時(shí)，請(qǐng)將吸入側(cè)恢復(fù)至大氣壓。
在較高壓力下運(yùn)行時(shí)，排氣側(cè)會(huì)產(chǎn)生油霧，尤其在接近大氣壓運(yùn)行時(shí)更為明顯。用戶可根據(jù)實(shí)際需求考慮在排氣口加裝油霧過濾器。
GLD-137AA（三相型號(hào)）沒有內(nèi)置電機(jī)保護(hù)功能，用戶應(yīng)使用電機(jī)斷路器對(duì)電機(jī)進(jìn)行保護(hù)。GLD-137CC（單相型號(hào)）內(nèi)置了自動(dòng)復(fù)位型過熱保護(hù)器，運(yùn)行中如果過熱保護(hù)器啟動(dòng)，電機(jī)繞組溫度下降后會(huì)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行；為預(yù)防事故，請(qǐng)?jiān)谶^熱保護(hù)器啟動(dòng)時(shí)立即拔下電源插頭。
該泵不適合在10 kPa或更高的高吸入壓力下連續(xù)運(yùn)行。
切勿堵塞排氣口或在排氣口側(cè)安裝阻塞氣體通道的設(shè)備。否則泵內(nèi)壓力升高可能導(dǎo)致泵體爆裂、油位計(jì)彈出或電機(jī)過載，存在爆炸風(fēng)險(xiǎn)。

八、總結(jié)與展望

ULVAC愛發(fā)科GLD-137油回轉(zhuǎn)真空泵是一款集兩級(jí)排氣系統(tǒng)、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)、氣鎮(zhèn)閥、防逆流機(jī)制和大號(hào)油液位計(jì)等多項(xiàng)高功能技術(shù)于一身的中小型規(guī)格油回轉(zhuǎn)真空泵。該泵以400W額定功率、135 L/min至162 L/min的有效排氣速度、0.67 Pa的極限壓力等核心性能指標(biāo)，在功耗與抽速之間取得了良好的平衡。

低振動(dòng)是GLD-137最為突出的技術(shù)優(yōu)勢(shì)之一。通過直聯(lián)式傳動(dòng)、精密動(dòng)平衡轉(zhuǎn)子、優(yōu)化的泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及創(chuàng)新的散熱結(jié)構(gòu)，GLD-137實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室級(jí)振動(dòng)控制水平，使其在電子顯微鏡前級(jí)泵、半導(dǎo)體制造設(shè)備和分析儀器等對(duì)振動(dòng)高度敏感的應(yīng)用場(chǎng)景中具備顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

GLD-137AA與GLD-137CC兩種子型號(hào)的分型設(shè)計(jì)，分別覆蓋了三相工業(yè)和單相實(shí)驗(yàn)室兩種典型的配電環(huán)境，配合寬電壓馬達(dá)設(shè)計(jì)和CE/TUV/cTUVus等多重國際安全認(rèn)證，使該產(chǎn)品具備出色的全球化適應(yīng)能力和系統(tǒng)集成便利性。

隨著先進(jìn)制造、科學(xué)儀器和新能源產(chǎn)業(yè)對(duì)中真空泵性能要求的持續(xù)提升，兼具高功能配置與低振動(dòng)優(yōu)勢(shì)的GLD-137，將在全球真空技術(shù)應(yīng)用市場(chǎng)中繼續(xù)扮演重要角色。ULVAC在油回轉(zhuǎn)真空泵領(lǐng)域的技術(shù)積淀與持續(xù)創(chuàng)新，為精密工業(yè)、科學(xué)研究及新興應(yīng)用領(lǐng)域提供了兼具性能、可靠性與使用便利性的中真空解決方案

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