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產品簡介
| 泵軸位置 | 邊立式 | 抽氣量 | KF40 |
|---|---|---|---|
| 電壓 | 200V | 極限壓力 | 5pa |
| 輸送介質 | 油泵 | 葉輪數目 | 多級 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 重量 | 180kg |
原廠代理日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵
產品介紹
原廠代理日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵
原廠代理日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵
?? HR60 核心參數速覽
| 參數類別 | 具體參數 | HR60 規格 |
|---|---|---|
| 基本信息 | 產品型號 | HR60 |
| 產品類型 | 多級羅茨型干式真空泵 | |
| 排氣性能 | 最大排氣速度 (50Hz) | 62 m3/h (1030 L/min) |
| 最大排氣速度 (60Hz) | 80 m3/h (1333 L/min) | |
| 極限壓力 (到達壓力) | 5 Pa | |
| 最大吸氣壓力 | 大氣壓 | |
| 最大排氣壓力 | 1 Pa ~ 大氣壓 | |
| 接口 | 吸氣口 (CE規格) | VG50 (KF50) |
| 排氣口 | KF40 | |
| 電氣 | 電源 | 三相, 200V (50/60Hz), 220V (60Hz) |
| 電流 (穩定時) | 7.1 A (at 200V) | |
| 電流 (最大值) | 7.3 A (at 200V) | |
| 物理與環境 | 質量 (重量) | 180 kg |
| 冷卻水 一次壓力 | 0.1 ~ 0.3 MPa | |
| 冷卻水出入口壓差 | > 0.1 MPa | |
| 冷卻水流量 | > 5.0 L/min | |
| 吹掃氣 (N?) 一次壓力 | 0.1 ~ 0.5 MPa | |
| 吹掃氣 (N?) 二次壓力 | 0.05 ~ 0.1 MPa | |
| N? 吹掃 (軸) | 5 SLM | |
| 氣鎮 (Gas Ballast) | 0 ~ 45 SLM |
? 核心特點與設計目標
HR60專為半導體行業的CVD（化學氣相沉積） 和蝕刻（Etch） 等嚴苛工藝設計，其核心特點包括：
高溫均熱化技術：通過使泵體在高溫下均勻受熱，可以將工藝中產生的升華性副產物以氣態形式排出，有效防止其在泵內凝結成粉塵，從而保證泵的長期穩定運行。
高安全性設計：采用屏蔽電機（Canned Motor） 形成密閉的結構，實現了氦氣密封（Helium Tight），能有效防止有害氣體泄漏。
出色的耐用性：泵體主要部件經過特殊的表面處理，具有高表面硬度和高耐腐蝕性，以應對腐蝕性工藝氣體。
智能監控與保護：
瞬停對策：具備應對1000毫秒以內瞬時停電的能力。
通信功能：支持數據讀取和集中監控，可實時掌握泵的運轉狀態、警告和報警信息。
簡單來說，HR60是一款專為處理半導體行業嚴苛工藝中產生的腐蝕性或易凝結氣體而設計的高性能、高可靠性的干式真空泵。
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