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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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HR600CVD專用日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵
| 參考價: | ￥ 30000 |
| 訂貨量: | 1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- HR600 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 代理商 廠商性質
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：134更新時間：2026-07-07 16:11:27
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 邊立式 | 抽氣量 | KF40 |
|---|---|---|---|
| 電壓 | 200V | 極限壓力 | 5pa |
| 輸送介質 | 油泵 | 葉輪數(shù)目 | 多級 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 重量 | 180kg |
CVD專用日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵
產(chǎn)品介紹
CVD專用日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵
CVD專用日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵
?? HR600 核心參數(shù)速覽
| 參數(shù)類別 | 具體參數(shù) | HR600 規(guī)格 |
|---|---|---|
| 基本信息 | 產(chǎn)品型號 | HR600 |
| 產(chǎn)品類型 | 多級羅茨型干式真空泵 | |
| 排氣性能 | 最大排氣速度 (50Hz) | 653 m3/h (10,900 L/min) |
| 最大排氣速度 (60Hz) | 701 m3/h (11,700 L/min) | |
| 極限壓力 (到達壓力) | 0.67 Pa | |
| 最大吸氣壓力 | 大氣壓 | |
| 最大排氣壓力 | 1 Pa ~ 大氣壓 | |
| 接口 | 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 (KF100) |
| 排氣口 | KF40 | |
| 電氣 | 電源 | 三相, 200V (50/60Hz), 220V (60Hz) |
| 電流 (穩(wěn)定時) | 12.9 A (at 200V) | |
| 電流 (最大值) | 13.8 A (at 200V) | |
| 物理與環(huán)境 | 質量 (重量) | 370 kg |
| 冷卻水 一次壓力 | 0.1 ~ 0.3 MPa | |
| 冷卻水出入口壓差 | > 0.1 MPa | |
| 冷卻水流量 | > 5.0 L/min | |
| 吹掃氣 (N?) 一次壓力 | 0.1 ~ 0.5 MPa | |
| 吹掃氣 (N?) 二次壓力 | 0.05 ~ 0.1 MPa | |
| N? 吹掃 (軸) | 5 SLM | |
| 氣鎮(zhèn) (Gas Ballast) | 0 ~ 45 SLM |
? 核心特點與設計目標
與HR系列其他產(chǎn)品類似，HR600同樣專為半導體行業(yè)的CVD（化學氣相沉積） 和蝕刻（Etch） 等嚴苛工藝設計，其核心特點包括：
高溫均熱化技術：通過使泵體在高溫下均勻受熱，可以將工藝中產(chǎn)生的升華性副產(chǎn)物以氣態(tài)形式排出，有效防止其在泵內(nèi)凝結，保證泵的長期穩(wěn)定運行。
高安全性設計：采用屏蔽電機（Canned Motor） 形成密閉的結構，實現(xiàn)了氦氣密封（Helium Tight），能有效防止有害氣體泄漏。
出色的耐用性：泵體主要部件經(jīng)過特殊的表面處理，具有高表面硬度和高耐腐蝕性，以應對腐蝕性工藝氣體。
智能監(jiān)控與保護：
瞬停對策：具備應對1000毫秒以內(nèi)瞬時停電的能力。
通信功能：支持數(shù)據(jù)讀取和集中監(jiān)控，可實時掌握泵的運轉狀態(tài)、警告和報警信息。
?? 重要注意事項
HR300、HR600、HR1200型號嚴禁在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉。
簡單來說，HR600是HR系列中的大抽速型號，適用于對真空度和工藝處理量有更高要求的場景。
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