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ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵CR60B的工作原理是什么

2025-9-11　　閱讀(428)

ULVAC愛發(fā)科的多級羅茨型干泵CR60B（包括CR60B-S和CR60B-T型號）以其干式運行和多級羅茨結(jié)構(gòu)為核心特點，通過在泵腔內(nèi)進(jìn)行多級壓縮來實現(xiàn)真空獲取。它采用了空冷設(shè)計，并且排氣室內(nèi)不使用真空油

?? 處理可凝性蒸汽（如水蒸氣）：CR60B可選配氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)（BALLEST機(jī)構(gòu)）。該功能允許向泵的壓縮區(qū)注入少量干燥氣體（如空氣或氮氣），旨在提高氣體混合物的非可凝成分比例，從而降低蒸汽的分壓，使其在達(dá)到飽和前被排出。但這會輕微增加極限壓力。因此，在需要處理大量水蒸氣的應(yīng)用（如真空干燥）中，強(qiáng)烈建議啟用氣鎮(zhèn)功能。

?? CR60B系列的主要技術(shù)與特點

干式無油運行：泵腔內(nèi)部不使用任何潤滑油或密封液，避免了油氣污染、油氣反應(yīng)，同時可以避免氣體中的水分、氧氣和雜質(zhì)對泵的腐蝕，確保了泵的高可靠性和長壽命。
多級羅茨結(jié)構(gòu)：CR60B采用了多級葉輪，這種結(jié)構(gòu)可以大大提高泵速和抽氣效率，并且使泵能夠直接從大氣壓開始抽氣，并達(dá)到較高的極限真空度（CR60B-S極限壓力≤3.0 Pa，CR60B-T極限壓力≤0.5 Pa）。
空冷式設(shè)計：無需額外的冷卻水和氮氣連接，減少了配套設(shè)施的需求，有助于降低運行成本和簡化安裝。
DC密封電機(jī)：安裝了DC密封電機(jī)實現(xiàn)節(jié)能、氣密和減重。
非接觸式運行：轉(zhuǎn)子和汽缸是以非接觸方式運行的，這可以長時間穩(wěn)定運行。

?? 主要應(yīng)用領(lǐng)域
得益于其清潔、無油的特性，CR60B系列干泵非常適合以下領(lǐng)域：

空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣。
真空干燥等水蒸氣的排出（此應(yīng)用時需要啟用氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)）。
濺射，蒸發(fā)等真空設(shè)備。

?? 總結(jié)
ULVAC愛發(fā)科CR60B多級羅茨型干泵通過多級羅茨結(jié)構(gòu)實現(xiàn)氣體的逐級壓縮，其干式無油和空冷設(shè)計使其能提供清潔的真空環(huán)境，并有效降低運行成本。可選配的氣鎮(zhèn)功能則增強(qiáng)了其處理可凝性蒸汽（如水蒸氣）的能力。

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