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參數	B-J50規格
公稱通徑	DN50A
適用口徑范圍	25A～400A
法蘭類型	JIS、ISO、KF（NW）、CF
驅動形式	雙作用氣動氣缸（可選單作用彈簧復位）
工作氣壓	0.4～0.6 MPaG
真空適用區間	常壓 1×10? Pa ～高真空 1×10?? Pa
閥體內漏	≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿外漏	≤1×10?1? Pa?m3/s
過流材質	閥體、蝶板、閥桿：SUS304不銹鋼鏡面電解拋光
標準密封	FKM氟橡膠O型圈
可選密封	Kalrez全氟醚（耐腐蝕、耐高溫烘烤）
閥體耐溫上限	150℃烘烤
氣缸環境溫度	≤40℃
啟閉緩沖	氣缸內置氣墊緩沖
使用壽命	標準循環≥100萬次
信號反饋	可選NPN/PNP微動開關，輸出全開/全關到位信號
安裝方向	任意角度安裝，無介質流向限制
開/關指示器	配有微動開關（用于檢測打開/關閉位置）

四、應用場景

4.1 半導體制造

B-J50廣泛應用于半導體制程的真空系統中：

真空腔體隔離：用于刻蝕（Etch）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等工藝腔體的真空隔斷
大管路抽氣：真空腔體大管路的快速抽氣
破空隔離：破真空時的通斷控制

4.2 光學鍍膜與檢測

在光學薄膜制備和檢測領域，B-J50用于：

真空蒸鍍設備：蒸鍍腔體的真空隔離
卷對卷（Roll-to-Roll）涂布：真空腔體的通斷控制
光學檢測設備：配合OPTM系列膜厚儀等設備做真空管路聯鎖

4.3 實驗室科研真空系統

B-J50適用于各類高真空科研裝置：

高真空實驗平臺的管路切斷與隔離
真空系統的快速通斷控制

4.4 鋰電與新能源

在鋰電池制造等新能源領域，B-J50可用于真空干燥、注液等工藝環節的真空管路控制。

五、配套控制系統

B-J50可與MIYUKI的MGCS系列自動壓力控制控制器配合使用，實現智能化的真空壓力控制。MGCS控制器具備以下功能：

自動調諧功能：自動快速優化PID參數
觸摸屏操作：易于使用的用戶界面
遠程控制：可從上級系統進行遠程控制
穩定控制：通過安靜的閥門操作實現穩定的可控性

此外，B-J50還支持與二位五通電磁閥配合實現遠程自動化控制，可與晶圓測厚儀、膜厚儀等設備進行真空管路聯鎖程序控制。

六、選型要點

6.1 氣缸類型選擇

B-J50提供兩種氣缸配置選項：

雙作用氣缸：氣源持續保壓維持狀態，能耗較低，適合需要長時間保持某一狀態的場合
單作用彈簧復位：斷氣時自動關閉腔體，防止大氣倒灌污染樣品，適合安全要求較高的場合

6.2 密封材料選擇

標準配置采用FKM氟橡膠O型圈，適用于常規氮氣吹掃等工況。對于特殊工藝需求，可選配Kalrez全氟醚密封件，可耐受有機溶劑、弱酸弱腐蝕性工藝氣體，并支持高溫烘烤。

6.3 法蘭類型選擇

B-J50支持多種法蘭標準：

JIS：日本工業標準法蘭
ISO：國際標準法蘭
KF（NW）：快裝法蘭，適用于快速連接
CF：金屬密封法蘭，適用于超高真空

七、維護與注意事項

7.1 氣源要求

B-J50的工作氣壓為0.4～0.6 MPaG，要求使用潔凈、無油、干燥的壓縮空氣。氣源質量直接影響閥門的使用壽命和可靠性。

7.2 溫度限制

閥體最高可耐受150℃烘烤
氣缸環境溫度應≤40℃

7.3 使用壽命

在標準工況下，B-J50的標準循環壽命≥100萬次。氣墊緩沖機制有效減少了機械沖擊，是長壽命的重要保障。

7.4 潔凈維護

B-J50在潔凈室中組裝和檢查，安裝和使用過程中應注意保持閥體表面的潔凈。鏡面電解拋光的SUS304表面應避免劃傷和污染。

八、總結

B-J50作為MIYUKI美幸輝B系列氣動蝶閥的代表型號，以齒輪齒條高可靠性傳動、推力倍增與氣墊緩沖、超低泄漏（≤1×10?? Pa?m3/s）、SUS304鏡面電解拋光、超薄閥體優異電導性能以及任意角度安裝等核心技術優勢，為半導體、光學鍍膜、真空科研等高潔凈度真空應用領域提供了可靠的兩位式通斷控制解決方案。

B系列作為純氣動開關閥產品線，專注于“全開/全關"的兩位式通斷控制。B-J50憑借其簡潔的結構設計、潔凈室裝配標準和超低泄漏性能，已成為半導體制程中真空系統隔斷的標準配置。配合MGCS系列自動壓力控制控制器和二位五通電磁閥，B-J50可輕松集成到各類自動化真空控制系統中，滿足從實驗室科研到工業量產的多層次需求。

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