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技術(shù)解析：MIYUKI美幸輝GAR-J300 精密壓力控制蝶閥真空制程專用

2026-5-7　　閱讀(145)

技術(shù)解析：MIYUKI美幸輝GAR-J300 精密壓力控制蝶閥真空制程專用

在半導(dǎo)體刻蝕、CVD/PVD沉積、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景中，壓力控制的精度、密封性和潔凈度直接決定工藝良率與設(shè)備安全。

MIYUKI美幸輝GAR-J300壓力控制蝶閥，以電機(jī)直驅(qū)、超低泄漏、高潔凈設(shè)計(jì)，成為真空管路控制的專業(yè)解決方案。

核心技術(shù)與性能：采用電機(jī)直驅(qū)方式，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的背隙，提升流量與壓力控制的精度和重復(fù)性；工作壓力范圍覆蓋10? Pa（大氣壓）至10?? Pa（高真空），全開度范圍內(nèi)壓力穩(wěn)定，小開度節(jié)流控制性能優(yōu)異。密封性能嚴(yán)苛，內(nèi)部泄漏量≤1×10?1? Pa·m3/s，軸封外部泄漏量≤1×10?1? Pa·m3/s，采用FKM氟橡膠O型圈，密封可靠且耐腐蝕性強(qiáng)。

結(jié)構(gòu)與材質(zhì)設(shè)計(jì)：氣體接觸部分采用SUS304不銹鋼，放氣率低、耐腐蝕性優(yōu)異，適配多種工藝介質(zhì)；本體耐熱溫度達(dá)150℃，可滿足烘烤工藝需求，電機(jī)部分耐熱40℃，需搭配風(fēng)冷或水冷輔助。無金屬滑動(dòng)部件設(shè)計(jì)，杜絕顆粒產(chǎn)生，契合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，運(yùn)行噪音極低，適配精密制造環(huán)境。

適配性與可靠性：口徑覆蓋多種規(guī)格，可根據(jù)管路需求靈活選型；支持標(biāo)準(zhǔn)版與防停電定制版，防停電版本可在斷電瞬間實(shí)現(xiàn)全封閉密封，保護(hù)工藝安全。安裝便捷、維護(hù)簡(jiǎn)單，無需復(fù)雜調(diào)試，可直接適配半導(dǎo)體設(shè)備、真空鍍膜機(jī)、科研真空系統(tǒng)等場(chǎng)景。GAR-J300以精準(zhǔn)控壓、超低泄漏、高潔凈的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，為真空制程提供穩(wěn)定可靠的壓力控制支撐。

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