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SONIC超聲波技術在半導體制造中的應用
半導體制造工藝對超純化學品和超純水的流量控制有著極為嚴格的要求。
SONIC超聲波液體流量計以其高精度、非接觸、無污染等特性，成為半導體制造中微流量測量的關鍵設備。
在半導體制造工序中，IPA（異丙醇）、純水、藥液等介質的精確計量直接關系到芯片質量和良率。
SONIC ULF-300S型傳感器分離式超聲波液體流量計可實現對1mL/min起始的微流量高精度測定。
傳感器的非接觸結構設計確保了測量過程不會對超純介質造成任何污染。
在潔凈室環境監測方面，SONIC WA-790型三維超聲波風速計可精確測量潔凈室內的氣流分布和湍流狀況。
這對于維持ISO Class 5及以上等級潔凈室的環境穩定性至關重要。
產品可應用于液晶面板和LED生產線的氣流監控。
SONIC超聲波測量儀器以其高精度、高可靠性和無污染特性，已成為半導體和面板制造業的重要檢測設備。
