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池田屋精品荏原EBARA 真空泵 Vacumm pump ESA25-D 200/400 V

2025-12-13　　閱讀(328)

一、產(chǎn)品概述

EBARA 真空泵 ESA25-D 200/400 V 是日本荏原制作所(EBARA)生產(chǎn)的干式真空泵，屬于其專業(yè)級(jí)ESA系列產(chǎn)品。該型號(hào)專為半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積(MO-CVD)等工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用無(wú)油干式運(yùn)行技術(shù)，可高效處理氫氣等輕質(zhì)氣體排氣需求。其核心優(yōu)勢(shì)在于將大排氣能力(1.5-3.0m3/h)與緊湊設(shè)計(jì)(230×450×520mm)結(jié)合，同時(shí)保持低振動(dòng)和低噪音特性，特別適合對(duì)空間和運(yùn)行環(huán)境要求嚴(yán)苛的工業(yè)場(chǎng)景。

二、核心特點(diǎn)

?寬電壓兼容設(shè)計(jì)?：支持200V/400V雙電壓輸入，適應(yīng)不同工業(yè)電力環(huán)境，200V電壓下功耗僅0.4kW，能效表現(xiàn)優(yōu)異。
?高效排氣性能?：實(shí)測(cè)流量范圍1.5-3.0m3/h，揚(yáng)程達(dá)15m，可在辦公桌大小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)化工廠級(jí)的排氣能力。
?緊湊輕量化結(jié)構(gòu)?：整機(jī)重量?jī)H100kg，采用模塊化設(shè)計(jì)便于安裝維護(hù)，特別適合空間受限的工業(yè)生產(chǎn)線。
?干式無(wú)油運(yùn)行?：無(wú)需潤(rùn)滑油和油霧過(guò)濾器，避免油污染風(fēng)險(xiǎn)，降低維護(hù)成本，符合半導(dǎo)體制造等潔凈工藝要求。
?智能控制系統(tǒng)?：配備過(guò)載保護(hù)和運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)功能，可記錄通電時(shí)間、運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)。

參數(shù)類別	規(guī)格指標(biāo)
?電氣參數(shù)?	額定電壓：200/400V A

三、技術(shù)參數(shù)

?電壓規(guī)格?：200V/400V交流電，50/60Hz頻率。
?排氣速度?：在標(biāo)準(zhǔn)工況下，輕質(zhì)氣體排氣效率優(yōu)異，具體數(shù)值因?qū)嶋H應(yīng)用而異。
?極限壓力?：可達(dá)到低真空范圍，確保工藝腔體快速穩(wěn)定抽氣。
?功率需求?：高效能設(shè)計(jì)，功耗較傳統(tǒng)油泵顯著降低，支持節(jié)能運(yùn)行模式。
?材質(zhì)結(jié)構(gòu)?：泵體采用耐腐蝕合金與工程塑料，轉(zhuǎn)子表面特殊處理，增強(qiáng)抗化學(xué)侵蝕能力。
?尺寸與重量?：緊湊型設(shè)計(jì)，便于空間受限的安裝環(huán)境，具體尺寸需參考廠商手冊(cè)。
?環(huán)境適應(yīng)性?：

操作溫度范圍：適應(yīng)常規(guī)工業(yè)環(huán)境，高溫下性能穩(wěn)定。
防護(hù)等級(jí)：符合工業(yè)設(shè)備防塵防水標(biāo)準(zhǔn)，確保惡劣條件下可靠性。

四、應(yīng)用場(chǎng)景

?半導(dǎo)體制造?：用于晶圓沉積、蝕刻等工藝，提供無(wú)污染真空環(huán)境，防止分子級(jí)缺陷。
?化工行業(yè)?：處理腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑，排放，確保安全與環(huán)保合規(guī)。
?電子元件生產(chǎn)?：在真空鍍膜和封裝環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高精度氣體控制，提升產(chǎn)品良率。
?實(shí)驗(yàn)室研究?：適用于高純度實(shí)驗(yàn)，避免油蒸汽干擾敏感化學(xué)反應(yīng)。

五、附加功能

?氮?dú)獯祾哌x項(xiàng)?：支持清潔氣體注入，進(jìn)一步減少殘留物，維持系統(tǒng)潔凈度。
?維護(hù)便捷性?：模塊化設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化日常保養(yǎng)，減少停機(jī)時(shí)間，提升生產(chǎn)效率。

六、總結(jié)

ESA25-D 200/400V代表了EBARA在干式真空技術(shù)的前沿創(chuàng)新，融合了高效能、耐腐蝕與智能化控制，成為精密工業(yè)和清潔工藝的理想選擇。用戶可根據(jù)實(shí)際需求選配定制化模塊，優(yōu)化特定應(yīng)用場(chǎng)景性能，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

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