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池田屋原裝愛(ài)發(fā)科ULVAC 機(jī)械泵 DA-30D產(chǎn)品介紹技術(shù)參數(shù)

2026-5-9　　閱讀(158)

在半導(dǎo)體制造、分析儀器、實(shí)驗(yàn)室及醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域，對(duì)真空泵的清潔度和可靠性要求日益提高。傳統(tǒng)油旋片泵因油蒸汽返流和廢油處理問(wèn)題，逐漸被無(wú)油干式真空泵替代。愛(ài)發(fā)科（ULVAC）作為的真空技術(shù)提供商，其DA-30D 干式機(jī)械泵是一款小型、無(wú)油的干式真空泵，采用多級(jí)爪式或羅茨式結(jié)構(gòu)，能夠在不使用任何工作液的情況下獲得清潔的中等真空。該泵以其結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)行安靜、免頻繁維護(hù)的特點(diǎn)，成為配套分子泵前級(jí)、實(shí)驗(yàn)室粗真空以及各種分析儀器的理想選擇。

一、產(chǎn)品概述與設(shè)計(jì)理念

DA-30D 屬于 ULVAC 的 DA 系列干式泵，專為需要“清潔、干燥"真空環(huán)境的精密儀器和工藝設(shè)計(jì)。其設(shè)計(jì)理念圍繞“無(wú)油、緊湊、靜音"展開。

與依賴潤(rùn)滑油密封和潤(rùn)滑的油泵不同，DA-30D 的泵腔內(nèi)沒(méi)有任何油類介質(zhì)，利用一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)的特殊轉(zhuǎn)子，通過(guò)轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間的微小縫隙實(shí)現(xiàn)氣體壓縮和輸送。這從根本上杜絕了碳?xì)浠衔镂廴荆_保排氣口不排出油霧，不會(huì)污染工作環(huán)境或破壞高真空系統(tǒng)的潔凈度。

DA-30D 的特別之處在于其高氣鎮(zhèn)容量。它能夠處理大量水蒸氣而不會(huì)像油泵那樣發(fā)生油乳化，因此非常適合用于冷凍干燥、真空干燥以及從潮濕腔體中抽氣。該型號(hào)通常采用兩級(jí)或三級(jí)壓縮，在緊湊的機(jī)身內(nèi)實(shí)現(xiàn)了從大氣壓到極限壓力約 1 Pa 的抽氣能力，無(wú)需另配前級(jí)泵。

二、技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	規(guī)格參數(shù)
型號(hào)	DA-30D
泵類型	多級(jí)干式機(jī)械泵（爪式 / 羅茨式組合）
無(wú)油保證	無(wú)油（泵腔內(nèi)無(wú)油，軸承使用密封潤(rùn)滑脂）
極限壓力	≤ 1.0 Pa（空載，極限全壓） ≤ 0.5 Pa（配合氣鎮(zhèn)關(guān)閉時(shí)，部分配置可達(dá)）
抽氣速度	約 30 L/min（50Hz）約 36 L/min（60Hz）
啟動(dòng)壓力	大氣壓（約 1013 hPa）
排氣口壓力	大氣壓
吸氣口	KF16（NW16）法蘭
排氣口	KF16（NW16）法蘭（帶消音器可選）
電機(jī)輸出	約 90 W（直流無(wú)刷電機(jī)或單相電機(jī)，視版本）
電源	單相 100-115V / 200-240V，50/60Hz（寬電壓設(shè)計(jì)）
額定電流	約 1.2 A（100V 時(shí)）
重量	約 8.5 kg（超輕量設(shè)計(jì)）
外形尺寸	約寬360 × 高170 × 深140 mm（不含突起）
噪音	≤ 50 dB(A)（非常安靜，適合實(shí)驗(yàn)室）
水蒸氣處理能力	最高約 30 g/h（需開啟氣鎮(zhèn)閥，@ 20℃ 室溫）
使用環(huán)境溫度	10 ～ 40℃
使用環(huán)境濕度	≤ 80% RH（無(wú)結(jié)露）
氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）	標(biāo)配可調(diào)氣鎮(zhèn)閥（用于排出水汽、輕溶劑）
內(nèi)部容積(泵腔)	約 0.4 L
氣體接觸材質(zhì)	泵體：鋁合金（特殊表面處理耐腐蝕）轉(zhuǎn)子：鋁合金（涂層：Ni-P或無(wú)定形碳，硬度高）密封：FKM（氟橡膠）或 FFKM（耐腐選配）
軸承潤(rùn)滑	兩側(cè)軸承采用長(zhǎng)壽命潤(rùn)滑脂密封軸承（免維護(hù)）
冷卻	自然空冷（低發(fā)熱量）
防護(hù)等級(jí)	IP20
標(biāo)準(zhǔn)附件	電源線 2m 帶插頭、KF16 中心支架、KF16 夾箍 2個(gè)、KF16 盲板法蘭 1個(gè)、O型圈、說(shuō)明書
可選配件	進(jìn)氣口粉塵過(guò)濾器、排氣口油霧過(guò)濾器（雖然無(wú)油，但用于隔絕對(duì)環(huán)境微顆粒）、遠(yuǎn)程控制電纜、隔音箱

關(guān)鍵性能解讀：DA-30D 的核心優(yōu)勢(shì)在于 1 Pa 的極限壓力和 30 L/min 的抽速組合，這對(duì)于一款僅 8.5 kg 的臺(tái)式泵非常出色。配合氣鎮(zhèn)閥，可抽除大量水汽，不會(huì)損壞。

三、結(jié)構(gòu)與操作特性

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

多級(jí)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)：為了僅用一級(jí)就能從大氣壓抽到 1 Pa，DA-30D 內(nèi)部集成了 2-3 級(jí)壓縮腔（爪式無(wú)接觸傳輸）。氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入第一級(jí)，被壓縮后送入第二級(jí)，逐級(jí)增壓，最后從排氣口排出。這種設(shè)計(jì)無(wú)需級(jí)間閥門，可靠性高。
直接驅(qū)動(dòng)：電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子，無(wú)需皮帶，減少了維護(hù)點(diǎn)和噪音。
全面無(wú)油：泵腔內(nèi)沒(méi)有任何液體。軸承和齒輪（若有）與氣體隔離，使用高品質(zhì)潤(rùn)滑脂密封，終生免維護(hù)。

操作特性：

一鍵啟動(dòng)：按下電源開關(guān)即可運(yùn)行，無(wú)需任何預(yù)熱或準(zhǔn)備。
低噪音：干式泵通常比同規(guī)格油泵噪音低很多（50 dB(A) 相當(dāng)于安靜的圖書館），非常適合放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)旁邊。
氣鎮(zhèn)閥的使用：當(dāng)抽除潮濕氣體（例如從真空干燥箱抽出濕空氣）或含有少量可凝性蒸汽時(shí)，應(yīng)打開氣鎮(zhèn)閥。氣鎮(zhèn)閥會(huì)充入少量干燥空氣進(jìn)入泵的壓縮腔，防止水蒸氣冷凝成水腐蝕內(nèi)部零件。打開氣鎮(zhèn)閥后，極限壓力會(huì)上升至約 10-30 Pa，這是正常現(xiàn)象。
維護(hù)簡(jiǎn)單：主要維護(hù)就是定期（例如每年）清掃進(jìn)氣口過(guò)濾網(wǎng)（如有）。由于無(wú)油，無(wú)需像油泵那樣定期換油和處理廢油。壽命期內(nèi)無(wú)需拆機(jī)保養(yǎng)。

四、主要用途與應(yīng)用領(lǐng)域

憑借其清潔無(wú)油、安靜、輕便、可抽水汽的特性，DA-30D 在以下領(lǐng)域應(yīng)用廣泛：

1. 分析儀器（最重要應(yīng)用）

質(zhì)譜儀（GC-MS、LC-MS、ICP-MS）：作為渦輪分子泵的前級(jí)泵（即“支持泵"，Backing Pump）。它為分子泵提供所需的粗真空（約 10 Pa 以下）和排氣路徑。DA-30D 的無(wú)油特性保證了質(zhì)譜分析腔體不會(huì)受到碳?xì)浠衔锉尘霸肼暤母蓴_，這對(duì)于痕量分析至關(guān)重要。
電子顯微鏡（SEM/TEM）：同樣作為分子泵或離子泵的前級(jí)泵，確保樣品室和電子槍的清潔真空。
表面分析儀器（XPS/AES）：需要超高真空系統(tǒng)的前級(jí)，DA-30D 提供可靠的初始抽空。

2. 實(shí)驗(yàn)室粗真空

真空干燥箱：當(dāng)需要從樣品中去除水分或溶劑時(shí)，DA-30D 可以快速將箱體抽空，并能耐受大量水汽而不損壞（對(duì)比油泵會(huì)乳化失效）。
冷凍干燥機(jī)：在升華干燥階段，需要持續(xù)抽出水蒸氣。DA-30D 的高水汽處理能力非常適合。
手套箱與真空轉(zhuǎn)移：為手套箱的附件腔體或樣品轉(zhuǎn)移裝置抽真空。
真空抽濾：用于生物、化學(xué)實(shí)驗(yàn)中的溶劑快速抽濾，提供清潔真空，避免油霧污染樣品。

3. 半導(dǎo)體與電子制造

晶圓傳送：用于潔凈室環(huán)境中的晶圓真空抓取和傳送帶吸附。
封裝檢漏：作為氦質(zhì)譜檢漏儀的粗抽泵和輔助泵。
薄膜沉積輔助：在小型濺射臺(tái)或蒸發(fā)鍍膜機(jī)中作為粗抽泵，為后續(xù)的分子泵或冷凝泵提供初始低真空。

4. 醫(yī)療與生物設(shè)備

滅菌器：用于排出滅菌腔內(nèi)的空氣（預(yù)真空階段），提高蒸汽滅菌效率。
吸引器：在一些需要無(wú)油、低噪音的醫(yī)療抽吸設(shè)備中作為核心部件。
離心濃縮儀：用于去除生物樣品（如DNA/RNA）中的溶劑，DA-30D 提供溫和的真空環(huán)境，防止樣品起泡飛濺。

5. 環(huán)境監(jiān)測(cè)

空氣采樣器：用于采集大氣中的特定氣體成分（如VOCs），通過(guò)泵將空氣抽入吸附管，要求泵不污染樣品。

6. 其他

包裝機(jī)械：用于真空包裝，特別是要求包裝袋內(nèi)無(wú)油霧殘留的食品或電子產(chǎn)品包裝。
真空夾具：在自動(dòng)化產(chǎn)線上用于抓取輕質(zhì)零件（如鏡頭、芯片）。

五、維護(hù)與使用注意事項(xiàng)

進(jìn)氣口過(guò)濾：強(qiáng)烈建議在泵的進(jìn)氣口前安裝一個(gè)合適的過(guò)濾器（推薦 < 40 μm 的網(wǎng)式或燒結(jié)金屬過(guò)濾器）。干燥箱等設(shè)備產(chǎn)生的粉塵、纖維會(huì)嚴(yán)重?fù)p害轉(zhuǎn)子和泵腔，導(dǎo)致性能下降甚至卡死。
氣鎮(zhèn)閥操作：每次處理水汽后，在結(jié)束抽氣前，可關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，再運(yùn)行幾分鐘，以便泵內(nèi)部干燥。如果泵長(zhǎng)期不運(yùn)行，應(yīng)關(guān)閉進(jìn)氣口，并運(yùn)行泵 5-10 分鐘，利用發(fā)熱排出內(nèi)部濕氣。
避免超時(shí)過(guò)載：DA-30D 設(shè)計(jì)用于間歇工作或連續(xù)抽氣，但如果長(zhǎng)期在壓差下（如直接從大氣抽到 1 Pa）且氣路暢通，泵表面溫度會(huì)上升較快（約 70-80℃）。這屬正常現(xiàn)象。但若溫度過(guò)高（>100℃），應(yīng)檢查冷卻條件。
檢查異味：如果從排氣口聞到尖銳、焦糊味，可能內(nèi)部有機(jī)械摩擦或電機(jī)過(guò)熱，應(yīng)立即停機(jī)檢查。
定期檢查連接：檢查 KF 法蘭的 O 型圈是否損壞、老化，以確保密封性。

六、與其他真空泵的對(duì)比

項(xiàng)目	DA-30D（干泵）	小型油旋片泵（如GLD-051）	隔膜泵
極限壓力	≤ 1 Pa	0.5 ~ 1 Pa	10 ~ 50 kPa（很差）
抽速 30L/min	30	50 ~ 100	10 ~ 20
潔凈度	無(wú)油（排氣清潔）	含油霧，需要過(guò)濾	無(wú)油
水蒸氣處理	良好（帶氣鎮(zhèn)）	差（氣鎮(zhèn)效果弱，油乳化風(fēng)險(xiǎn)）	優(yōu)秀(但極限壓力低)
維護(hù)	低（無(wú)油更換）	高（換油、揮發(fā)油、廢油處理）	中（膜片定期更換）
噪音	安靜（50 dB）	較大（55-65 dB）	安靜（45-55 dB）
用途	分子泵前級(jí)、分析儀器、干燥	機(jī)械加工、真空爐初抽	采樣、過(guò)濾

總結(jié)

愛(ài)發(fā)科 ULVAC DA-30D 干式機(jī)械泵是一款集清潔無(wú)油、靜音緊湊、高水汽耐受于一身的多用途小型干式真空泵。它以 30 L/min 的抽速和 1 Pa 的極限壓力，勝任了絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室和儀器設(shè)備對(duì)“前級(jí)低真空"的需求。其堅(jiān)固的鋁制泵體和免維護(hù)軸承設(shè)計(jì)，使其成為油旋片泵的升級(jí)換代產(chǎn)品，特別適合那些不能容忍油污染、需要頻繁處理潮濕氣體或必須在安靜環(huán)境下運(yùn)行的場(chǎng)景。對(duì)于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡、干燥設(shè)備以及各類科研儀器的使用者而言，DA-30D 是保證真空系統(tǒng)潔凈度和可靠性的理想基礎(chǔ)組件。

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