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池田屋原裝OKANO真空計 AVG-300C11產品介紹技術參數

2026-5-15　　閱讀(124)

在半導體制造、真空鍍膜、分析儀器以及各類科學實驗領域，“真空"是一種看不見摸不著卻至關重要的環境條件。而要準確地測量真空度的高低，就必須依靠可靠的真空測量儀器。OKANO AVG-300C11 真空計，正是這樣一款為工業與科研用戶設計的真空度監測儀表。它以寬量程覆蓋、高穩定性、模擬輸出及設定點控制等特性，幫助使用者隨時掌握真空系統的狀態，廣泛應用于半導體設備、真空爐、鍍膜機、分析儀器及各類真空應用系統。

一、產品概述與品牌背景

OKANO 是日本的真空測量與控制技術品牌，長期專注于真空計、真空開關及相關真空配件的研發與制造。其產品以高可靠性、良好的環境適應性以及長期穩定性而著稱，深受半導體及真空設備制造商的信賴。

AVG-300C11 屬于 OKANO 真空計產品線中的一款通用型數字式真空計。它采用皮拉尼（Pirani）或熱電偶式測量原理（具體依內部配置而定），適用于從大氣壓到中高真空范圍的寬區間測量。型號中的“300"指示系列代號，“C11"代表特定的傳感器配置、輸出接口及安裝規格。該真空計的定位非常明確：為各類需要實時監測真空度的設備提供一種易于集成、讀數直觀、性能可靠的真空測量解決方案，既可獨立顯示，也可將測量信號遠傳給 PLC 或上位機參與自動化控制。

二、技術參數

以下為 AVG-300C11 的主要技術規格：

參數類別	詳細規格
測量原理	皮拉尼（Pirani）電阻式 / 熱電偶式（依配置）
測量范圍	1.0×10? ～ 1.0×10?1 Pa（大氣壓至 0.1 Pa）（部分配置可至 1.0×10?2 Pa）
顯示方式	LED 數碼管（3? 位或 4 位），科學計數法或直讀
顯示單位	Pa、Torr、mbar 一鍵切換
精度	±15% 以內（典型值，在 1～10? Pa 范圍內）
響應時間	約 30ms（快速響應型）
模擬輸出	0-10V DC 或 4-20mA（對數輸出，對應測量范圍）
設定點輸出	1 點或 2 點（視型號），繼電器觸點：30V DC / 1A（或 250V AC / 1A）可設置上限或下限報警
傳感器類型	可更換式規管（Pirani 傳感器單元）
傳感器連接	專用電纜（長度可選，通常 2-5 米）
真空連接法蘭	1/8″ NPT、1/4″ NPT、NW16、KF16、VF25 等（依 C11 具體配置）
電源	100-240V AC，50/60Hz（主機內置開關電源）
功耗	約 15VA（最大）
使用環境	溫度：0-50℃ 濕度：20-85%RH（無結露）
外形尺寸	約 96×96×130 mm（面板開孔：92×92 mm，符合 DIN 標準）
重量	約 0.8 kg（主機）
防護等級	前面板 IP54（防塵防濺）
可選功能	RS-232C / RS-485 通信（Modbus 協議）、數據記錄、第二設定點

三、核心功能特性

寬量程覆蓋，一表多用：從大氣壓（1.0×10? Pa）到 0.1 Pa（甚至更低），AVG-300C11 能夠在 5-6 個數量級的范圍內提供連續的真空度讀數。這意味著使用者無需為不同的真空階段（粗抽、預抽、高真級）更換不同的測量儀表，一臺儀器即可覆蓋完整的抽氣過程，簡化了系統設計和操作。
清晰直觀的數字顯示：儀器配備高亮度的 LED 數碼顯示屏，能夠以科學計數法直接顯示當前真空度數值（如“1.2E-1"代表 0.12 Pa）。相比于傳統的指針式真空表，數字顯示消除了讀數視差，結果更加準確直觀。
多種單位一鍵切換：真空度單位在不同國家、不同行業有所差異，常見的有帕斯卡（Pa）、托（Torr）、毫巴（mbar）等。AVG-300C11 支持一鍵切換，用戶可根據使用習慣或行業標準選擇合適的單位，無需繁瑣換算。
模擬輸出與遠程監控：為適應自動化系統需求，AVG-300C11 配備有模擬量輸出接口（0-10V 或 4-20mA），該輸出信號與當前真空度成對數關系，可實時傳送給 PLC、數據采集卡或記錄儀，使真空計成為自動化控制系統中的“感知器官"。
設定點輸出與報警控制：AVG-300C11 內部可設置一個或兩個真空度設定點（閾值）。當真空度達到設定值時，儀器通過繼電器輸出開關量信號，實現以下功能：

真空度達標后自動開啟高真空閥門或啟動分子泵
真空度低于下（漏氣或泵故障）觸發聲光報警或切斷加熱電源
真空聯鎖保護，防止設備在真空度不足時誤操作

傳感器可互換性與耐污染設計：測量核心傳感器（規管）設計為可更換結構，且具有一定的耐污染能力。當長期使用被工藝氣體污染時，可方便地更換新規管，無需更換主機，降低維護成本。傳感器電纜長度也可根據安裝距離定制。
操作簡便，一鍵校準：在大氣環境下，按下“零點校準"或“大氣調零"按鈕即可完成校準，無需復雜菜單操作，便于現場快速調試。

四、主要用途與應用場景

OKANO AVG-300C11 真空計憑借其寬量程、穩定可靠、易于集成的特性，在眾多需要真空環境的行業中得到廣泛應用：

半導體與電子器件制造：在物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、等離子刻蝕、離子注入等工藝中，AVG-300C11 常用于設備的前級真空測量（從大氣到低真空階段），監測粗抽泵和預抽泵的工作狀態，確保工藝腔體在達到高真滿足預抽條件。
真空鍍膜設備：無論是裝飾性鍍膜（表殼、手機殼的 PVD 鍍膜）、功能性鍍膜（光學鏡頭增透膜、汽車大燈反射膜），還是保護性鍍膜（刀具涂層），都需要在真空腔體內完成。AVG-300C11 安裝在鍍膜機的旁抽管路或工藝腔體上，實時顯示真空度變化，幫助操作者判斷抽氣速度、檢漏以及確定鍍膜開始時機。
真空熱處理與釬焊爐：金屬材料的真空退火、真空淬火、真空釬焊等工藝要求爐內保持較高真空度以防止氧化。AVG-300C11 用于監測前級真空度，配合高真空計（如電離真空計）共同完成全量程測量。其設定點輸出可用于控制加熱元件通電——只有當真空度達到安全值后才允許啟動加熱。
分析儀器與實驗室設備：掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、X 射線光電子能譜儀（XPS）、質譜儀（MS）等分析儀器，其電子光學系統必須在高真空下工作。AVG-300C11 常用于這些儀器的樣品預抽室或前級管道的真空測量，確保在打開樣品室之前預抽室真空度已達標，避免大氣污染主腔體。
真空包裝與食品機械：真空包裝機需要將包裝袋內空氣抽出以達到防腐保鮮效果。AVG-300C11 可用于監測真空腔內的壓力變化，當達到設定真空度后控制封口裝置動作。其寬量程和快速響應特性適合包裝機快速循環的工作模式。
科研實驗與教學演示：在物理、化學、材料科學等領域的實驗室中，經常需要搭建各種真空系統（濺射臺、蒸發臺、真空干燥箱、手套箱過渡艙）。AVG-300C11 操作簡便、讀數直觀、價格適中，成為許多實驗室的真空測量儀表。
空調與制冷行業：空調、冰箱、熱泵等產品的生產和維修過程中，需要對管路系統抽真空以去除水分和不凝性氣體。AVG-300C11 可用于監測抽真空的深度，確保系統真空度達標后再充注制冷劑，避免冰堵和腐蝕問題。

五、使用注意事項

傳感器匹配：使用前確保規管型號與主機匹配，并在參數中正確設置傳感器類型。
污染防護：避免油蒸汽、粉塵、可凝性氣體直接進入規管，必要時在規管前加裝冷阱或過濾器。
校準周期：建議每 6-12 個月進行一次校準，特別是用于工藝控制的場合。
安裝位置：規管應安裝在真空系統的適當位置，避免靠近氣源入口或放氣閥，以獲得代表性讀數。
電纜長度：傳感器電纜不宜過長（一般不超過 10 米），過長可能引入噪聲或信號衰減。

六、總結

OKANO AVG-300C11 真空計是一臺專業、可靠、易用的真空度測量工具。它不追求的測量下限，但恰好滿足了從大氣壓到中高真空范圍內絕大多數工業與科研應用的日常需求——寬量程、直觀顯示、模擬輸出、設定點控制，功能齊全而不冗余。無論是半導體設備、鍍膜機、分析儀器，還是實驗室真空系統，AVG-300C11 都是一個值得信賴的選擇，為各類真空工藝提供精準的“視覺"保障。

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