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池田屋實業（深圳）有限公司
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池田屋推出ADC品牌數字式靜電計——8252型。該產品為高性能5.5位數字靜電計，內置±200V可編程電源，具備電壓測量、電流測量、電阻測量及電荷測量功能，支持多種掃描測量模式，適用于半導體評估測試、絕緣電阻測量及電荷測量等領域。
一、基本規格
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 顯示位數 | 5.5位 |
| 采樣速度 | 330次/秒 |
| 接口 | GPIB |
| 處理器接口 | 標配 |
| 模擬輸出 | 有 |
| 序列功能 | 有 |
二、電壓測量特性
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 測量范圍 | 10μV至200V |
| 輸入阻抗 | 2×101?Ω以上 |
| 量程 | 3V、30V、200V |
| 最小分辨率 | 10μV |
當信號源電阻為10?Ω時，普通數字萬用表輸入阻抗約為10?Ω，會產生50%的測量誤差；而8252的誤差僅為5ppm。適用于各種半導體傳感器輸出電壓測量、分析用電極電位測量及生物體電位差測量等場景。
三、電流測量特性
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 測量方式 | 積分方式 |
| 測量范圍 | 1fA至30mA |
| 量程 | 30pA、300pA、3nA、30nA、300nA、3μA、30μA、300μA、3mA、30mA |
| 最小分辨率 | 1fA |
采用積分式電流-電壓轉換器，與傳統反饋方式相比具有更高的抗噪聲能力。積分時間可在1毫秒至1秒之間調節。
四、電阻測量特性
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 電流施加方式 | 10mΩ至200GΩ |
| 電壓施加方式（VSRM） | 100Ω至2×101?Ω |
| 最小分辨率 | 10mΩ |
VSRM（電壓施加電阻測量）功能可測量高達2×101?Ω的電阻，適用于導電橡膠等低電阻材料到聚酯薄膜等高電阻材料的測量。
五、電荷測量特性
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 測量范圍 | 1fC至10μC |
| 最小分辨率 | 1fC |
六、電壓發生功能
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 發生范圍 | ±200V |
| 分辨率 | 1mV |
| 電流限制器 | 0.1mA至12mA（10μA分辨率） |
| 電壓監測 | 100μV分辨率 |
| 電流監測 | 100nA分辨率 |
電流限制器可分別設置正負側。當電流測量在100nA至12mA范圍內時，可使用OUTPUT端子進行VSIM測量，無需使用INPUT端子。
七、掃描測量模式
| 模式 | 說明 |
|---|---|
| 固定掃描 | 用于精確測量充電時間后的絕緣電阻 |
| 線性掃描 | 用于測量二極管、場效應晶體管等半導體的I-V特性，最多可生成5000步測量數據 |
| 隨機掃描 | 高速測量與隨機電壓生成同步進行 |
八、驅動保護功能
當信號源電阻或被測量電阻較大（100MΩ以上）時，電纜電容會導致響應速度變慢。以信號源電阻1000MΩ、電纜電容100pF為例，響應時間約需700ms。8252采用驅動保護方法，將輸入電纜內屏蔽層驅動至與輸入電壓相同電位，使從低端看到的阻抗為零，響應速度可提高10倍以上。
九、接觸不良檢測功能
在30pA至300μA的DCI功能范圍內，接觸檢測功能可測量并判斷測量輸入端與低端或電壓發生端之間的電容值。正常模式下每次測量以及掃描模式下掃描開始時均會進行測量。
十、處理器接口與PASS/FAIL判斷功能
標配GPIB和單線信號（觸發、完成、互鎖），用于與自動化機械連接。比較計算功能與接觸檢測功能結合使用時，可輸出反映比較結果和接觸檢測結果的PASS/FAIL信號，適用于電容器泄漏測試和絕緣電阻測試等高速自動化分揀應用。
十一、VSIM與ISVM測量
| 功能 | 說明 |
|---|---|
| VSIM | 電壓生成電流測量 |
| ISVM | 電流生成電壓測量 |
將INPUT端子設為DCV或DCI功能，單臺設備可完成兩種測量。
十二、模擬輸出
| 輸出類型 | 說明 |
|---|---|
| 前置放大器輸出 | 電壓測量時可實現阻抗轉換輸出 |
| D/A輸出 | 將A/D轉換后的測量值轉換為±1V電壓輸出 |
| 電流測量前置放大器輸出 | 30pA至300μA量程時為鋸齒波電壓輸出或0V，不輸出與電流成比例的電壓 |
十三、選購配件
電阻率測試腔（片材、薄膜、板狀樣品）
| 型號 | 特點 | 價格（不含稅） |
|---|---|---|
| 15702 | 樣品壓力調整、厚度測量可能，符合JIS/ASTM標準 | 128,500日元起 |
| 12704A | 電極材質為導電橡膠，樣品接觸性優異 | 232,000日元 |
| 12708 | 可加熱至常溫至200℃ | 1,044,000日元 |
| 15042 | 通用型 | 97,500日元起 |
液體電阻樣品箱
| 型號 | 特點 | 價格（不含稅） |
|---|---|---|
| 12707 | 微量樣品0.8cc測量可能，電極便于拆卸清洗 | 250,000日元 |
測試夾具（電子元件）
| 型號 | 特點 | 價格（不含稅） |
|---|---|---|
| 12701A | 10?1?A至20A寬電流測量 | 230,000日元 |
| 12706A | 屏蔽與絕緣設計，穩定測量微小電流和高電阻 | 114,000日元 |
| 12604 | 鑷子形探針，適合小型芯片元件絕緣測量 | 89,500日元 |
電荷測量
| 型號 | 特點 | 價格（不含稅） |
|---|---|---|
| 8031/47W | 法拉第籠/電荷測量適配器，用于固體、粉體等電荷測量 | 326,000日元/63,000日元 |
高壓測量
| 型號 | 特點 | 價格（不含稅） |
|---|---|---|
| 12062 | 分壓比100:1，8252使用時最高2.5kV | 138,000日元 |
標準電阻（檢查用）
| 型號 | 電阻值 | 價格（不含稅） |
|---|---|---|
| 15045系列 | 1×10?Ω、1×10?Ω、1×101?Ω、1×1011Ω、1×1012Ω | 85,000日元起 |
十四、典型應用場景
| 應用領域 | 具體用途 |
|---|---|
| 半導體評估 | MOSFET柵極電流測量、光電二極管暗電流I-V特性測試 |
| 絕緣電阻測量 | 電容器、電纜、IC封裝絕緣電阻測試 |
| 材料電阻測量 | 體積電阻、表面電阻測量（配合15702/12704A/12708） |
| 電荷測量 | 碳粉帶電測量、化學纖維帶電測量、IC封裝帶電測量 |
| 電解分析 | 電解、電鍍實驗中電荷量計算 |
| 高阻抗電壓測量 | 半導體傳感器輸出電壓、分析用電極電位、生物體電位差 |
池田屋表示，ADC 8252數字靜電計憑借其±200V電壓發生功能、1fA電流測量分辨率、2×101?Ω電阻測量能力以及多種掃描測量模式，可滿足半導體I-V特性測試、絕緣電阻測量、電荷測量及高阻抗電壓測量等多樣化應用需求。
