一、操作前準備（核心：潔凈 + 合規 + 設備校驗）

1. 物料與工具準備

• 加熱器：按預熱部位選型（如腔體內壁選 SIL50、細管路選 SIL100、機械手選 SIL25），提前裁剪至實際所需長度（末端做密封絕緣處理）；

• 輔材：無硅鋁箔導熱膠帶（半導體專用，防微塵）、5mm 耐高溫無硅保溫層、密封灌封膠（引線端用）；

• 工具：防靜電鑷子、無塵布、異丙醇（IPA）、防靜電手套 / 無塵服、扭矩扳手（輕力型）；

• 溫控系統：坂口 SBX 系列高精度溫控器（±1℃）、PT100 測溫探頭（潔凈款，無釋氣）。

2. 設備與環境校驗

• 確認晶圓傳輸系統處于停機 / 真空破腔狀態，斷開工段總電源，懸掛 “設備檢修 / 加熱施工" 警示牌；

• 清潔預熱部位（腔體內壁、機械手、管路外壁）：用 IPA 浸濕無塵布，擦拭無油污、微塵、晶圓碎屑，自然風干后再操作（禁止用熱風烘干，避免引入雜質）；

• 校驗加熱器：檢測絕緣電阻（DC500V 下≥100MΩ）、外觀無破損 / 脫膠，溫控器與測溫探頭校準正常。

3. 人員合規

• 操作人員需穿百級無塵服、防靜電鞋、雙層防靜電手套，禁止佩戴首飾、化妝品，避免粉塵 / 揮發物污染；

• 操作全程在潔凈車間指定區域進行，工具 / 輔材提前做無塵處理（75% IPA 擦拭）。

二、加熱器安裝與布線（核心：貼合 + 無應力 + 潔凈）

1. 腔體內壁 / Load Lock 腔預熱安裝（最核心部位）

1. 按腔體內壁尺寸，將硅皮帶加熱器無應力貼附，曲面 / 法蘭處自然彎曲（最小彎曲半徑≥10mm，禁止硬折）；

2. 用無硅鋁箔膠帶輕壓固定，膠帶搭接處≥10mm，無氣泡、無翹起（避免熱阻不均）；

3. 外層包裹無硅保溫層，接縫處密封，避開腔體觀察窗 / 狹縫閥（不影響設備運行與觀察）；

4. 測溫探頭緊貼加熱器與腔體之間（非加熱區邊緣），用膠帶固定，避免探頭直接接觸發熱體。

2. 傳輸機械手預熱安裝（輕量化 + 不影響運動）

1. 選擇機械手非夾持 / 非運動核心區域（如機械臂側面、末端執行器支架），將超細硅皮帶加熱器（如 SIL25）螺旋輕纏（間距 5~8mm）；

2. 用薄款無硅膠帶點粘固定（禁止全包裹，避免影響機械手散熱與運動靈活性）；

3. 引線沿機械手走線槽布置，預留運動余量，避免機械手伸縮 / 旋轉時拉扯引線；

4. 測溫探頭貼附機械手末端（晶圓接觸區附近），精準監測晶圓周邊溫度。

3. FOUP 載臺 / 晶圓支撐臺預熱安裝

1. 載臺表面清潔后，將加熱器平鋪貼合（大面積載臺可分段鋪設，發熱面無縫銜接）；

2. 鋁箔膠帶全覆蓋固定，外層加保溫層（載臺邊緣做密封，防止熱量流失）；

3. 測溫探頭均勻布置 3~4 個（大尺寸載臺），確保全域溫度均勻≤±2℃，探頭遠離晶圓直接接觸區。

4. 特氣管路 / 吹掃管路預熱安裝

1. 沿管路軸向密繞無間距纏繞加熱器（DN6~DN20 細管），彎頭處預留 1~2mm 彎曲余量；

2. 鋁箔膠帶包裹固定，外層加保溫層，管路接頭 / 閥門處重點包覆（冷凝高發區）；

3. 引線端做密封灌封處理（防止水汽 / 微塵侵入），接線盒遠離真空腔 / 管路接口。

5. 布線通用要求

• 加熱器引線統一布入設備走線槽，與高壓線路分開布置（間距≥50mm），避免電磁干擾；

• 所有接線端做防水 / 防塵密封，貼標注明 “加熱回路 / 溫控區"，便于后期維護；

• 安裝完成后，手動試運行傳輸系統（機械手、腔門、載臺），確認加熱器 / 引線無拉扯、無干涉。

三、溫控系統調試與預熱啟動（核心：階梯升溫 + 精準控溫）

1. 溫控參數設置（適配晶圓傳輸預熱核心要求）

• 目標溫度：40~80℃（常規工況設 60℃，高濕度車間設 70~80℃，確保溫度高于環境露點 5~10℃）；

• 升溫速率：≤5℃/min（階梯升溫，禁止快速升溫，避免腔體 / 機械手熱應力變形）；

• 控溫精度：±1℃，超溫保護設定值：目標溫度 + 10℃（如 60℃預熱，超溫保護 70℃）；

• 測溫探頭校準：將探頭與標準溫度計比對，誤差≤±0.5℃，確保溫度監測準確。

2. 空載預熱調試（啟動前必做）

1. 連接加熱器與溫控系統，確認接線正確（正負極無反接），閉合回路電源（低電壓啟動，如 100V/24V）；

2. 啟動溫控器，按預設升溫速率升溫，全程監測各預熱部位溫度，記錄升溫曲線；

3. 升溫至目標溫度后，恒溫運行 30~60min，檢查：① 溫度均勻性≤±2℃；② 加熱器無局部過熱（手摸保溫層無明顯溫差）；③ 設備無異響 / 異味；

4. 若發現溫度偏差過大，調整測溫探頭位置或加熱器鋪設方式，直至達標。

3. 帶載正式預熱（晶圓傳輸前）

1. 空載調試達標后，將 FOUP 晶圓盒放置于載臺，啟動傳輸系統低真空模式（非工藝真空）；

2. 溫控器保持目標溫度恒溫，預熱時間≥15min（根據晶圓數量 / 環境溫度調整，冬季可延長至 20~30min）；

3. 確認各部位溫度穩定（腔體 / 機械手 / 載臺 / 管路均在目標溫度 ±1℃內），且無冷凝 / 結露現象，方可啟動晶圓傳輸工藝。

四、運行過程監控（核心：實時監測 + 異常處理）

1. 實時溫度監控：通過溫控系統顯示屏，實時查看各預熱區溫度，每 30min 記錄一次數據，納入車間工藝臺賬；

2. 設備運行監控：觀察傳輸機械手運動、腔門開關、管路氣體流量，確保加熱器無干涉、無影響設備正常運行；

3. 潔凈度監控：定期檢查加熱器表面無微塵 / 碎屑堆積，若有污染，用無塵布輕擦（禁止用水 / 清潔劑）；

4. 異常處理：

• 溫度驟升 / 超溫：立即停止加熱，切斷電源，檢查溫控器 / 測溫探頭是否故障，排除后再重啟；

• 溫度偏低 / 升溫慢：檢查保溫層是否破損、加熱器是否貼合不良，補做保溫 / 重新固定加熱器；

• 絕緣異常：立即停機，檢測加熱器絕緣電阻，更換破損加熱器，重新做密封處理。

五、停機與維護（核心：降溫再操作 + 定期校驗）

1. 正常停機流程

1. 晶圓傳輸工藝完成后，先停止加熱器加熱，保持溫控系統通電監測溫度，讓預熱部位自然降溫至室溫（≥30min）；

2. 待溫度降至室溫后，切斷溫控系統與加熱器電源，關閉工段總電源；

3. 用無塵布輕擦加熱器 / 保溫層表面，清理微塵，做好設備清潔記錄。

2. 定期維護（按車間工藝要求，建議每月 1 次）

1. 清潔：用 IPA 無塵布擦拭加熱器、測溫探頭、管路外壁，去除積塵 / 油污；

2. 檢測：① 絕緣電阻（DC500V 下≥100MΩ）；② 加熱器外觀無脫膠 / 破損 / 老化；③ 溫控器與探頭校準；

3. 更換：若加熱器出現老化、絕緣下降、溫度不均，立即更換（禁止修復后繼續使用，避免潔凈度 / 安全性問題）；

4. 記錄：做好維護記錄，包括檢測數據、更換部件、維護日期，便于追溯。

六、晶圓傳輸預熱專屬核心禁忌（半導體潔凈工況必守）

1. 禁止在真空腔抽真空過程中啟動加熱，需破腔后再操作，避免溫度驟升導致腔體內殘留水汽瞬間蒸發，影響真空度與潔凈度；

2. 禁止使用含硅膠帶 / 保溫層 / 清潔劑，避免硅揮發物污染晶圓，導致面板 / 芯片亮點、短路；

3. 禁止將加熱器直接貼附在晶圓直接接觸區（如機械手吸盤、載臺晶圓放置面），避免局部過熱損傷晶圓；

4. 禁止在加熱器運行時進行設備拆卸 / 晶圓裝卸，需停機降溫后再操作，防止燙傷與靜電損傷；

5. 禁止隨意調整升溫速率 / 目標溫度，確需調整的，需經工藝工程師確認，做好參數變更記錄。

深圳電商商業股份有限公司（簡稱電商集團）成立于2009年，是香港電商集團在中國的全資分公司，位于深圳市南山前海金融區，注冊資本壹億元，主營業務涵蓋國際貿易、醫遼、汽車、半導體、投資理財、互聯網等領域。集團在香港已建立*的渠道網絡，豐富的領域資源，密切的協作，大方面保障了公司業務的順利發展。秉承“行業多元化，水準國際化，服務專業化"的“三化"服務理念，利用其國際化的專業知識體系、精細化的服務流程、高性能的服務水準，為客戶提供高性價比的產品和立體化解決方案。集團的采購商品來自美國、德國、瑞士、法國、意大利、日本、韓國，并建立了分公司，從而取得優勢的產品貨源，以及即時的產品訊息。集團服務客戶已超過萬家，并獲得了百家國際品牌代理。

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2026/04/11