穩控精送·高純賦能——Fujikin LGFM8000壓力式流量控制器

時間：2026/3/16閱讀：210

在半導體、光伏等高純工藝場景中，供氣壓力波動易導致流量失控，影響制程穩定性與產品良率。Fujikin（富士金）LGFM8000壓力式流量控制器，依托FCSP8000系列核心技術，以壓力式控制原理突破傳統局限，實現高純氣體精準穩控，適配各類嚴苛工業高純氣體傳輸需求。

1. 壓力波動免疫：采用臨界流孔前壓力控制原理，不受供氣壓力大幅波動影響，流量輸出始終穩定，che底解決傳統流量控制器易受壓力干擾的行業痛點。

2. 高精度與低量程穩定：低流量段（1%～10% F.S.）精度達±0.1% F.S.，全量程精度±1.0% S.P.，能精準捕捉微量氣體變化，適配精密制程的流量控制需求。

3. 超高速響應：響應時間≤0.5秒（100%→4%階躍），調節平穩無超調，可快速適配工藝工況切換，保障制程連續性。

4. 高純適配與高可靠性：1級禁油處理，金屬密封設計，外漏≤1×10?1? Pa·m3/s；材質采用SUS316L EP/MP，適配高純氣體，使用壽命長。

流量量程：10 SCCM～2.4 SLM（N?換算）；控制范圍：2%～100% F.S.；接口規格：1/4" UJR高純接頭，兼容6.35mm管路。

供氣壓力：250～898.7 kPaG（0.25～0.9 MPa）；zui大耐壓：0.89 MPaG；精度：±1.0% S.P.（10%～100%設定）、±0.1% F.S.（1%～10%設定）。

工作溫度：0～50℃（精度保證15～35℃）；供電：+11～+25 VDC；通信：支持DeviceNet、EtherCAT、RS485，適配主流工控系統。

1. 安裝無姿態限制，可任意角度安裝，但需確保氣流穩定，避免管路脈動干擾流量控制精度。

2. 接線前確認供電電壓為+11～+25 VDC，嚴格區分供電、通信、氣路接口，避免接反或錯接導致設備損壞。

3. 設備需安裝在潔凈、干燥、通風處，遠離粉塵、腐蝕性氣體，適配1級潔凈環境，避免污染氣路。

4. 維護時需先切斷氣源與電源，定期檢查氣路密封性與接口松動情況；校準需使用標準高純氣體，確保校準精度。

LGFM8000憑借穩控、精準、高純的核心優勢，廣泛應用于半導體刻蝕、光伏PECVD、實驗室精密供氣等場景，為高純工藝氣體傳輸提供可靠解決方案，助力提升制程穩定性與產品良率。

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