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高壓高純雙在線｜富士金 FPR-PNSD 隔膜閥，重新定義半導體流體控制

時間：2026/3/28閱讀：316

Fujikin 富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 是 PURE® 系列氣動直動式金屬隔膜閥，專為半導體、光伏等行業的超高純、高壓、腐蝕性流體控制設計，以零泄漏、高潔凈、長壽命、高壓適配為核心優勢，適配 6.35mm（1/4"）管路，是精密流體系統的關鍵控制部件。

一、型號與規格解析

1. 型號含義

FPR：PURE® 系列，定位超高純、金屬隔膜型閥門
PNSD：氣動直動式、高壓型、金屬隔膜結構
721：閥體結構代碼，適配 UJR 接頭與高壓工況
6.35：公稱通徑 6.35mm（1/4"），管路外徑規格
316LP：閥體為 SUS316L 二次熔煉 + EP 電解拋光，超高潔凈級材質

2. 核心技術參數

驅動方式：氣動直動式（常閉型 NC），氣源壓力 0.4~0.7MPa
公稱通徑：6.35mm（1/4"），兩端 UJR 母頭連接
zui大工作壓力：20.5MPa（205bar），高壓工況穩定適配
工作溫度：-10℃~+40℃，適配常規高純工藝環境
泄漏等級：氦檢 < 5×10?1? Pa?m3/s，實現內外零泄漏
Cv 值：0.1，小流量精密控制，流量穩定
閥體材質：SUS316LP（316L 二次熔煉 + EP 電解拋光），禁油潔凈處理
隔膜材質：Elgiloy 鎳鈷合金雙層金屬隔膜，高耐久、抗腐蝕
閥座材質：PCTFE（聚三氟氯乙烯），耐化學腐蝕、密封穩定
外形尺寸：總長 52mm，總高 87.1mm，緊湊輕量化
重量：約 380g，便于管路集成與安裝
潔凈等級：特級無油，Class 1 潔凈室適用，無顆粒污染風險

二、核心技術特點

1. 金屬隔膜直動結構，零泄漏高密封

采用直接式金屬隔膜結構，隔膜將流體腔與執行器wan全隔離，無填料密封，杜絕介質外漏與交叉污染；雙層 Elgiloy 合金隔膜，抗疲勞、耐折，氣密性優異，滿足半導體特氣、高純化學品的零泄漏要求。

2. 316LP 超高潔凈材質，適配嚴苛工藝

閥體采用 SUS316L 二次熔煉材質，經 EP 電解拋光與特級禁油處理，表面粗糙度低、無雜質殘留，wu死角流道設計，避免流體滯留與顆粒產生，符合 SEMI、ISO Class 3 潔凈標準，適配晶圓制程、刻蝕、CVD 等超高純工藝。

3. 高壓適配與長壽命設計

zui大工作壓力達 20.5MPa，滿足高壓特氣與液態化學品輸送需求；金屬隔膜壽命超3000 萬次循環，遠高于普通橡膠隔膜，適配頻繁開關的自動化產線，降低維護頻率與成本。

4. 氣動直動驅動，響應快速精準

氣動直動式執行器，開關響應時間 < 100ms，控制精準；常閉型設計，失氣自動關閉，防止介質逆流，提升系統安全性；執行器結構緊湊，與閥體一體化設計，整體體積小，節省安裝空間。

5. 標準化連接，安裝維護便捷

兩端采用 UJR 6.35mm 母頭 + 金屬墊片密封，連接可靠、拆裝方便，適配 VCR 等高純管路標準；無復雜易損件，日常僅需清潔流道與檢查隔膜，維護成本低，適合批量產線應用。

三、適用場景與優勢

1. 核心應用行業

半導體制造：晶圓清洗、刻蝕、CVD、擴散等工序的高純氣體（SiH?、NF?、HCl）、腐蝕性化學品輸送控制
光伏 / 面板：FPD、太陽能電池制程的特氣（硅烷）、蝕刻液（HF、HNO?）精密控制
生物醫藥：無菌流體、高純試劑、緩沖液的無顆粒、無泄漏輸送
特種化工：高壓、腐蝕性氣體 / 液體（如氯氣、氨氣、強酸強堿）的安全截斷與控制

2. 場景適配優勢

小通徑 + 高壓組合，適配精密小流量高壓管路，流量控制穩定
超高潔凈 + 零泄漏，滿足半導體等行業對流體純度的嚴苛要求
長壽命 + 低維護，適配 24 小時連續運行的自動化產線，提升設備稼動率
緊湊輕量化，適合設備內部管路集成，優化空間布局

四、安裝與使用注意事項

安裝前需清潔管路，確保無雜質、無油污，匹配閥門特級無油潔凈等級
連接時使用專用金屬墊片，均勻擰緊接頭，避免密封面損傷導致泄漏
氣源需過濾干燥，壓力控制在 0.4~0.7MPa，防止執行器損壞
介質溫度與壓力需在額定范圍內，嚴禁超溫超壓使用
定期檢查隔膜狀態，出現泄漏或流量異常時及時更換隔膜
閥門應垂直或水平安裝，避免傾斜導致密封受力不均

五、總結

Fujikin 富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 氣動高壓隔膜閥，以金屬隔膜零泄漏、316LP 超高潔凈、20.5MPa 高壓適配、3000 萬次長壽命為核心技術亮點，精準匹配半導體、光伏等行業的精密流體控制需求，是高壓、高純、腐蝕性流體管路的理想控制部件，為gao端制造工藝的穩定性與可靠性提供保障。