一、產品定位:高潔凈高溫制程專用高純陶瓷管
SSA?999H 是 Nikkato 面向半導體擴散 / 退火、鋰電材料燒結、電子陶瓷燒成、高純試劑制備等高要求場景定制的超高純氧化鋁陶瓷管,區別于普通 SA 系列(99.5% 純度)及工業級陶瓷管,核心解決雜質析出污染、高溫變形開裂、絕緣失效三大痛點。產品適配實驗室管式爐到工業化推板窯、回轉窯等全流程,可作反應管、保護管、輸送管、爐膛管、熱電偶套管,廣泛應用于半導體、新能源、電子、高純化工等領域,是gao端制程 “低污染、長壽命、高穩定" 的核心部件。
二、核心技術參數與性能優勢
(一)99.9% 超高純基材,雜質<10ppm,杜絕物料污染
材質:99.9% α?Al?O?,經多重提純,金屬雜質(Na、Fe、K 等)<10ppm,遠低于普通氧化鋁管(雜質>50ppm)。
低析出:無游離 SiO?、低堿金屬配方,高溫下無雜質離子析出,避免污染半導體晶圓、鋰電正極材料、MLCC 介質粉等高敏感物料。
高化學惰性:耐強酸、弱堿、有機溶劑腐蝕,在氧化性 / 還原性氣氛中穩定,不與多數高純介質反應,保障物料純度。
(二)超高溫穩定,長期 1700℃/ 短時 1800℃,抗熱震優異
耐溫極限:長期使用溫度1700℃,短時最高1800℃,覆蓋半導體擴散(1200–1500℃)、鋰電燒結(800–1200℃)等ji端高溫工況。
抗熱震性:高純細晶結構 + 低膨脹系數(≈8.5×10??/℃),急冷急熱不開裂,適配爐體頻繁升降溫(如推板窯連續作業),壽命較普通陶瓷管提升 2–3 倍。
高溫強度:1600℃下仍保持 **>200MPa 抗彎強度 **,抗蠕變、不變形,長期高溫使用無下垂、開裂,保障制程穩定性。
(三)高硬耐磨 + 高絕緣,適配嚴苛工況
高機械性能:密度≈3.95g/cm3,維氏硬度≈1800HV,耐磨性能優異,抵御粉體沖刷、物料摩擦,管壁不易磨損、掉粉,適合粉體輸送、攪拌場景。
超高絕緣:室溫電阻率>101?Ω?cm,高頻 / 高溫下絕緣穩定,可作高溫絕緣管、電極保護管,適配半導體高頻爐、高壓環境。
致密度高:氣孔率<0.5%,閉氣孔結構,氣密性好,阻擋腐蝕性氣體 / 熔體滲透,避免管壁侵蝕、滲漏。
(四)精密尺寸 + 定制化,適配全場景
尺寸精度:內外徑公差 ±0.1mm,壁厚均勻,同心度高,適配高精度設備密封裝配。
規格范圍:外徑 φ6–φ100mm,長度 100–3000mm(可定制),支持薄壁 / 厚壁、一端封死、異形(如 U 型、多孔)等定制。
表面處理:內壁精密拋光(Ra<0.8μm),光滑不掛料、易清洗,減少物料殘留與交叉污染。
三、SSA?999H 與日陶同類產品核心差異
| 型號 | 材質純度 | 耐溫(長期 / 短時) | 核心特性 | 適用場景 |
|---|
| SSA?999H | 99.9% Al?O?(雜質<10ppm) | 1700℃/1800℃ | 超高純、極低析出、高絕緣 | 半導體、鋰電、電子陶瓷(高潔凈) |
| SSA?S | 99.6% Al?O?(低鈉<5ppm) | 1700℃/1750℃ | 低鈉、適配固態電池 | 固態電池、低鈉要求場景 |
| SA?H | 99.5% Al?O? | 1600℃/1650℃ | 高純、性價比高 | 通用高溫、一般高純場景 |
| ZR?8YS | 8YSZ 氧化鋯 | 1400℃/1450℃ | 很強耐酸堿、高韌 | 強腐蝕化工、冶金(非高純) |
四、典型應用場景
半導體制造:擴散爐 / 退火爐反應管、晶圓保護管、高純氣體輸送管,保障芯片制程低污染。
新能源鋰電:正負極材料(三元 / 磷酸鐵鋰)燒結管、固態電解質制備容器、窯爐保護管。
電子陶瓷:MLCC、PZT 壓電陶瓷、熒光粉燒成坩堝 / 承燒管,避免雜質影響介電 / 光學性能。
高純化工:高純試劑 / 醫藥原料反應管、無菌輸送管,符合 GMP 高純要求。
高溫實驗:管式爐、馬弗爐樣品管、TGA/DSC 熱分析保護管、CVD 設備腔體部件。
五、注意事項
長期使用溫度不超過 1700℃,短時峰值≤1800℃,避免超溫導致晶粒粗化、強度下降。
避免 qing氟酸、濃強堿(如>50% NaOH)** 長期接觸,此類介質會緩慢侵蝕氧化鋁。
熱啟動時緩慢升溫(≤5℃/min),避免ji端溫差沖擊;冷卻同理,防止熱震開裂。
安裝時避免機械撞擊,陶瓷脆性大,磕碰易導致崩邊、裂紋。
長期閑置需干燥密封存放,避免吸潮(雖氧化鋁吸水率低,但高溫受潮可能影響絕緣)。
六、產品核心價值
SSA?999H 以超高純、超高溫穩定、高絕緣耐磨三大核心優勢,精準解決gao端制程 “污染、變形、絕緣失效" 痛點,助力客戶:
提升良率:極低雜質析出,降低物料污染風險,良率提升 5%–10%;
降本增效:長壽命(2–5 年)、低維護,減少停機更換,降低綜合成本;
保障性能:高溫穩定、絕緣可靠,適配嚴苛工況,保障產品一致性與可靠性。