東麗 PHOTONEECE™系列下的負型感光聚酰亞胺涂層劑 GN 系列,是專為半導體、電子元件的厚膜保護與絕緣場景打造的材料,以下是脫離表格呈現的詳細技術資料:
一:基礎工藝相關特性
1.曝光與顯影:屬于負型感光涂層劑,光刻時曝光區域會保留,未曝光區域可通過堿性水溶液顯影去除。這種顯影方式契合電子制造領域主流顯影體系,無需特殊顯影試劑,能降低工藝適配的成本與難度。
2.固化與膜厚適配:固化溫度不低于 300℃,可適配半導體后續高溫焊接等需耐受高溫的加工流程。該系列主打厚膜加工,對應的標準膜厚范圍在 8 - 20μm,區別于同系列中適配 1 - 11μm 薄型膜厚的 LT 系列和 PW 系列。
3.解像性能:其解像性不低于 30μm,雖和 LT 系列、PW 系列不低于 5μm 的高分辨率存在差距,但這種解像水平能滿足厚膜場景下的圖形成型需求,無需追求超高精度的絕緣、保護結構均可適配。
二:核心物理與熱學性能
1.力學穩定性強:固化后拉伸強度不低于 150MPa,斷裂伸長率不低于 40%,彈性模量不低于 3GPa。穩定的力學性能讓涂層固化后,不易因外力沖擊或設備運行中的輕微震動出現破損、開裂問題,可作為長期留存的yong久膜使用。
2.耐熱與熱適配性好:它的玻璃化轉變溫度不低于 300℃,5% 重量減少溫度不低于 500℃,即便處于電子器件長期工作的高溫環境中,也不會出現明顯熱變形或性能衰減。同時其熱膨脹系數不超過 50ppm/℃,能減少與基材間的熱應力差異,降低器件在溫度循環過程中的翹曲風險。
三:衍生型號特性
該系列下有 GN - K 子系列,屬于無氟且無 NMP 的環保型產品,契合當下工業材料的環保發展趨勢,還能避免有害溶劑對操作人員和環境造成影響。在核心性能上,它延續了 GN 系列可厚膜加工的優勢,同時將固化溫度降至不低于 200℃,在適配厚膜加工需求的基礎上,減少了高溫固化對部分敏感基材的損傷。
四:典型應用場景
憑借厚膜適配性和高耐熱、強絕緣的核心特性,GN 系列常被用于 IC 芯片的緩沖涂層與表面保護膜,也可作為晶圓和面板級封裝再布線層的絕緣介質層。此外,在電子部件的層間絕緣膜制備中也有廣泛應用,能通過穩定的性能保障這些電子器件在復雜工況下的長效、可靠運行。