一、產品核心定位：多領域精準測試專業設備

江麥智能 VS21 真空探針臺測試儀是一款集寬溫區控溫、高精度定位、高真空環境于一體的專業測試設備，主打精密小巧、易搬運的特性，核心用于芯片、氣敏元器件等產品在不同氣氛環境下的電學性能測試，也可滿足材料分析需求。產品廣泛適配半導體電學性能測試、物理研究、氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業的制造與研究環節，是相關領域高精度測試的核心配套設備。

二、四大核心賣點：精準可靠，適配多元測試需求

1. 寬溫區控溫，精度優勢明顯

搭載多規格高低溫控制系統，溫控范圍覆蓋 -190℃～450℃，常溫至 450℃高溫段控制精度可達 ±0.25℃，低溫段精度 ±0.5℃，分辨率均為 0.1℃，進口溫控模塊加持，可精準模擬不同溫度環境，滿足各類元器件、材料的高低溫性能測試需求。

2. 三軸精準位移，定位誤差極小

配備 XYZ 三軸位移座，位移范圍 X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm，實現被測樣品的精準定位調節，搭配不同規格探針夾具，可完成高精度觸點測試，適配芯片、半導體等微小元器件的精細化測試要求。

3. 高真空性能，漏率表現優異

支持多規格真空系統選配，從機械泵（真空度 1×10?1Pa）到分子泵組（真空度 5×10??Pa），可根據測試需求靈活選擇；腔體密封采用氟膠圈，抽氣口為 KF16 規格，搭配不銹鋼定制腔體可實現超高真空，漏率控制優異，穩定模擬真空氣氛環境下的測試條件。

4. 精密小巧易操作，適配多場景使用

腔體主體采用 AL6061 材質（可定制 SUS304 不銹鋼），6 寸外尺寸設計，精密小巧、易于搬運，可靈活放置于實驗室、生產線等不同場景；標配 BNC 電信采集接口、6mm 腔體進氣口（可定制），φ50mm 樣品觀察窗，操作便捷，適配各類測試工況的接口與觀察需求。

三、全規格配置：靈活選配，一站式滿足測試需求

VS21 真空探針臺提供 4 探針（VS21-4）、6 探針（VS21-6） 兩大基礎型號，全系列配件均可按需選配，覆蓋探針組件、探針規格、信號線纜、位移座、溫控系統、真空系統、觀測設備、輔助附件等全品類，實現測試需求的個性化定制。

1. 探針與線纜：可選真空型同軸 / 三軸接口探針夾具，探針鍍金處理，規格覆蓋 1μm-200μm 多檔位，信號線纜分單頭甩空線、雙頭線，適配不同測試精度與接線需求；

2. 溫控系統：分高溫控制器（常溫～450℃）、抽取式 / 增壓式高低溫控制器（-190℃~450℃），增壓式含液氮泵，溫控精度更優；

3. 真空系統：含飛躍機械泵、KYKY 分子泵組、萊寶分子泵組，真空度逐級提升，萊寶款搭配復合真空計，可測大氣至 5×10??Pa；

4. 觀測設備：標配體式顯微鏡，可選 200 萬像素 CCD、21 寸戴爾顯示器、100 萬像素視頻顯微鏡 + 10 寸顯示屏，滿足不同觀測清晰度需求；

5. 輔助附件：可選 20L 液氮杜瓦罐，實現 - 196℃至室溫的精準控溫，適配超低溫測試場景。

四、產品核心優勢：定制化 + 高適配，覆蓋全流程測試

1. 材質可定制：腔體默認 AL6061 材質，可定制 SUS304 不銹鋼腔體，滿足超高真空、強腐蝕等特殊測試環境要求；

2. 接口可定制：腔體進氣口默認 6mm，特殊需求可定制，適配不同氣源管路連接，提升設備兼容性；

3. 規格全覆蓋：從探針數量、探針精度到溫控、真空、觀測系統，全環節多檔位選配，一站式滿足半導體、光伏、氣敏分析等不同領域的差異化測試需求；

4. 抗干擾性強：可選真空型三軸接口探針夾具，抗干擾能力突出，可應用于半導體等高精度測試場景。

五、適用領域：全行業覆蓋，制造與研究雙重適配

VS21 真空探針臺憑借高精度、高可靠性、高定制性的特點，成為多行業測試的核心設備，廣泛應用于半導體電學性能測試、物理材料研究、氣敏元器件分析、集成電路制造、LED/LCD 生產檢測、太陽能電池研發與品控等領域，既適配實驗室的科研攻關測試，也可滿足生產線的批量檢測需求，為各領域的產品研發與質量把控提供精準數據支撐。