華丞CS200A氣體質(zhì)量流量控制器：精密控制，廣泛適用于半導(dǎo)體與精密制造

閱讀：182 發(fā)布時間：2026-7-2

在半導(dǎo)體制造、精密化工、真空鍍膜等高要求工業(yè)場景中，氣體流量的精確控制是工藝穩(wěn)定性的核心保障。華丞電子（Beijing AURASKY Electronics）推出的 CS200A 系列氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），以高準(zhǔn)確度、強(qiáng)可靠性和開放通訊協(xié)議，成為精密流量控制領(lǐng)域的優(yōu)選方案。

產(chǎn)品概述

CS200A/B/C/D 型 MFC/MFM 是華丞電子采用先進(jìn)數(shù)字技術(shù)研發(fā)的氣體質(zhì)量流量控制與測量產(chǎn)品，在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化工、石油、醫(yī)藥、環(huán)保及真空等多領(lǐng)域均有重要應(yīng)用。

典型應(yīng)用場合包括：微電子工藝設(shè)備（擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入）、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣及各類分析儀器。

核心技術(shù)參數(shù)

參數(shù)	CS200A/B（橡膠密封）	CS200C/D（金屬密封）
流量規(guī)格	5～500 SCCM / 1～50 SLM	2～500 SCCM / 1～30 SLM
準(zhǔn)確度	±0.35% F.S.（<35% F.S.）；±1.0% S.P.（≥35% F.S.）
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時間	≤1 sec	≤0.8 sec
最大工作壓力	0.45 MPa
耐壓強(qiáng)度	3 MPa
漏率	1×10?1? Pa·m3/sec He	1×10?11 Pa·m3/sec He
工作環(huán)境溫度	5～45℃	0～50℃
供電	雙電源 ±15 VDC 或單電源 24 VDC（±10%）

多樣化通訊與信號支持

CS200A 系列產(chǎn)品兼容數(shù)字與模擬雙控制方式，滿足不同系統(tǒng)集成需求：

數(shù)字通訊協(xié)議：RS485、EtherCAT、ProfiBus、DeviceNet
模擬信號：0～5V 電壓控制 / 4～20mA 電流控制 / 0～20mA 電流控制
流量檢測信號數(shù)字與模擬同時輸出，互不干擾
標(biāo)配免費上位機(jī)軟件 Digital MFC，方便用戶自行開發(fā)控制與采集系統(tǒng)

先進(jìn)功能亮點

多氣體多量程

用戶可根據(jù)實際工藝需求更換氣體類型及轉(zhuǎn)化系數(shù)，滿量程可在原始值的 0.3～1.1 倍范圍內(nèi)靈活調(diào)整，無需更換硬件即可適配多種氣體和工況。

軟啟動與延遲控制

支持軟啟動功能，可按設(shè)定斜率平滑改變流量設(shè)定值，避免氣體沖擊；延遲時間可精確設(shè)定至毫秒級，保障工藝過渡的精準(zhǔn)可控。

累積流量統(tǒng)計

實時記錄并輸出通過 MFC/MFM 的氣體累積流量（單位：SCCM），便于工藝管控與追溯。

智能報警系統(tǒng)

內(nèi)置傳感器警告、EEPROM 錯誤、控制閥錯誤、溫度報警等多重保護(hù)機(jī)制。LED 指示燈直觀顯示運行狀態(tài)：綠色常亮為正常，綠色閃爍為自動調(diào)零中，紅色閃爍為警告，紅色常亮為錯誤。

調(diào)零功能

用戶可通過軟件命令或物理調(diào)零按鈕修正零漂，確保長期穩(wěn)定的測量精度。

精密制造工藝

CS200A/B/C/D 型產(chǎn)品在 100 級凈化間內(nèi)組裝，1000 級凈化環(huán)境下標(biāo)定及包裝，每臺出廠前均經(jīng)過 24 小時烤機(jī)與兩次精度檢查，從源頭保障產(chǎn)品可靠性。

CS200C 型采用金屬密封，表面 Cr/Fe 比例 ≥ 2.0，CrO 厚度 ≥ 20 埃，表面粗糙度達(dá) 10μ inch Ra，適用于超高潔凈度及強(qiáng)腐蝕性氣體工況。

豐富的接口選型

CS200A 系列提供多種進(jìn)出氣接頭形式，滿足不同管路標(biāo)準(zhǔn)：

雙卡套：φ3、φ6、φ10、1/8"、1/4"、3/8"
VCR 1/4" 陽接頭 / VCO 1/4" 陽接頭
A 型、C 型（IGS）、W 型（IGS）密封接頭
軟管接頭：φ4、φ5、φ6

電氣接頭支持 D 型 9 針（SEMI 標(biāo)準(zhǔn)）/ 15 針、DeviceNet、ProfiBus、EtherCAT 等多種標(biāo)準(zhǔn)，覆蓋主流工業(yè)自動化平臺。

質(zhì)保承諾

華丞電子為 CS200 系列產(chǎn)品提供自購買日起 12 個月質(zhì)量保修，覆蓋材料與工藝瑕疵。保修期內(nèi)免費維修，售后響應(yīng)及時，為您的生產(chǎn)穩(wěn)定運行保駕護(hù)航。

適用行業(yè)

半導(dǎo)體與集成電路制造（CVD、刻蝕、濺射、離子注入等工藝）
新能源（光伏 PECVD、鋰電極片涂布等）
化工與石油工業(yè)
醫(yī)藥與生命科學(xué)
真空鍍膜與光纖制造
科研實驗室與分析儀器

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