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SEC-N100 系列適用于各種行業(yè)和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列還支持各種通信模式，即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 設定點 *1）和高速響應。該質量流量控制器還具有多氣體/多量程功能，可降低制程成本。
控制范圍廣，從微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
支持多種通信模式和電源
高精度：+/- 1.0% 設定點 (*1)
1 秒高速響應（*1）
多氣體/多量程功能
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