3月18-20日，慕尼黑上海光博會在新國際博覽中心隆重舉行。地心科技攜新款研發的運動平臺及經過市場驗證的運動控制解決方案精彩亮相，展位現場人氣高漲，吸引了眾多行業專家與新老客戶駐足交流，氣氛熱烈。

針對光通信行業光纖對準、光纖耦合、半導體晶圓螺旋檢測、激光微納加工等前沿應用場景，地心科技展示了具備納米級定位精度的核心子部件與子系統，為精密制造提供堅實底層支撐。在深入交流中，各方共同探討了運動平臺在更多前沿領域的契合路徑，為推動行業向更高精度、更高效率方向發展提供了新思路。

1、MINI-X1-Y1-Z1系列六軸運動臺

MINI-X1-Y1-Z1系列六軸高精密運動臺專業針對光纖耦合環節設計，創新性地在ART130系列大行程運動臺（XYZ軸行程可按客戶需求定制）的基礎上，集成了三軸微型精密調整機構，實現“大范圍粗調+納米級精調"一體化操作，各軸重復定位精度均可達到±100nm以內。

產品適應絕大多數光通訊模塊的應用，具有精度高、穩定性高、整定速度快的產業化集成優勢。新品一經展示，便收獲了現場觀眾的目光，精妙的結構設計與出色的指標成為本場焦點。

2、三軸螺旋檢測氣浮平臺

三軸晶圓螺旋檢測氣浮平臺同樣成為了本次地心展臺的焦點之一。

ASP氣浮轉臺在高轉速運動下的動平衡指標可達G0.4級，轉臺攜帶chuck盤在6000rpm高速運動情況下，對直線軸的擾動小于±0.5μm。

產品支持5nm工藝節點檢測，通過高轉速動態響應能力與納米級旋轉精度，顯著提升晶圓表面缺陷檢測效率及量測精度。

3、ZTT-V2定制運動系統

作為垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平臺，ZTT-V2具備優秀的微動精度和動態性能，負載能力可達10kg，兼容潔凈室環境使用。

產品精準適配對微動和動態跟隨誤差要求嚴苛的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無掩膜光刻等應用，根據傳感器聚焦高度實時調整高度和角度姿態。

4、FLAT-XY直線電機機械臺

FLAT-XY系列平臺采用XY一體式設計，在結構緊湊的同時具備強勁的驅動能力，雙軸高度僅有45mm，速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。

產品主要應用于通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序以及激光微納加工等場景。

5、FAP六軸光纖對準平臺

FAP系列平臺采用六自由度串行結構，可以實現多方位的高精密位移和角度調整，空載截止頻率可達100Hz以上，是光子器件大批量制造和組裝的基礎。

FAP系列平臺能夠實現低至5nm的最小步進，速度高達400 mm/s，配以功率計能量模擬量輸入控制與尋光算法、合適的軸數、行程配置以及工裝夾具設計，精準適配下一代光子學封裝對準的需求。

展會首日，地心科技應邀做客行業重量級媒體“光纖在線"直播間接受專題訪談，針對企業發展歷程、新品優勢、應用領域、發展規劃等話題進行深入交流。直播間互動氣氛熱烈，地心科技借此平臺收獲了廣泛關注，展臺也迎來了眾多慕名前來參觀的客戶。

在同期舉辦的光學技術大會“集成光電與光通信專場"論壇中，地心科技銷售總監發表了題為《高精度六軸運動臺：以納米級精度及產業化集成優勢賦能光纖耦合產業升級》的主題演講。

演講從光纖耦合工藝的實際痛點出發，詳細解讀了MINI-X1-Y1-Z1系列六軸高精密運動臺的設計理念與技術突破。現場專業嘉賓就產品參數、定制化服務及應用案例等問題與地心科技團隊進行了深入交流，并對公司產品的創新性與實用性給予了高度評價。

為期三天的盛會雖已落幕，但地心科技追求前沿精度、賦能產業升級的腳步從未停歇。感謝每一位蒞臨展臺、參與交流的朋友，您的關注與認可是地心科技不斷前行的動力。明年三月，讓我們再次相約上海，共話技術未來！