CRS115SD系列 絲杠驅動直線臺是高精密機械運動平臺，采用交流無刷伺服電機加滾珠絲杠驅動，配置交叉滾柱導軌，兼具普通伺服電機驅動平臺的優(yōu)點，同時又有比普通絲杠傳動平臺更小的最小步進精度，CRS115SD系列最小步進量可以到達50nm，如果采用線性放大器，最小步進精度可以提升到25nm，重復定位精度小于±0.2μm。CRS115SD系列不僅有接近直驅電機一樣的精度性能，還能更加靈活的使用，它既可以作水平直線軸使用，也可以選擇抱閘選項，這樣就作為Z軸立起來與其它水平安裝的直線平臺配合使用。CRS115SD系列有旋轉編碼器和直線光柵尺多種反饋配置供客戶選擇，選配旋轉編碼器分辨率小于0.2μm，光柵尺選項分辨率小于1nm。

CRS115SD系列 絲杠驅動直線臺是高精密絲杠傳動平臺，它的主要特點是具有比普通絲杠傳動平臺有更好的重復定位精度和更小的步進量。主要應用于OLED切割、PCB鉆孔等激光加工領域的激光器或振鏡調焦，表面形貌測量的縱向掃描，數(shù)控加工、生物技術、IC封裝設備等領域。CRS115SD系列平臺為客戶提供一個能夠實現(xiàn)亞微米級定位運動平臺。

CRS115SD系列平臺最小步進測試

50nm最小步進

備注：

（1）有效載荷指標適用于單軸系統(tǒng)，并受限于2500公里行程的絲杠和滾珠壽命。

（2）適配-AS，TTL010, TTL100反饋；

（3）適配RTTL5000反饋選項；

（4）使用占空比過高可能會影響精度；

（5）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（6）多軸配置或定制應用指標咨詢廠商。