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ZTT-V2系列 偏擺臺定制運動系統是垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平臺，利用直線電機驅動，采用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優秀的微動精度和動態性能。整體高度小，尺寸精巧，剛性高，負載能力可達10kg，兼容潔凈室環境使用。
ZTT-V2系列 偏擺臺定制運動系統在具備點到點靜態定位精度的同時，還具備非常突出的動態精度，可以適應對微動和動態跟隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無掩膜光刻等應用，根據傳感器聚焦高度實時調整高度和角度姿態，多方位解決客戶的運動控制難題。
ZTT-V2平臺最小步進測試
Z向20nm步進
各軸在位穩定性
| 軸名稱 | Z | θx | θy |
| 有效行程\Travel | 5mm | 2° | 2° |
| 定位精度\Accuracy | ±0.3 μm | NA | NA |
| 重復定位精度\Bi-Repeatability | ±0.1 μm | ±0.1 arcsec | ±0.1 arcsec |
| 最大速度\Maximum Speed（1） | 20 mm/s | NA | NA |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（1） | 1 g | NA | NA |
| 最小步進量\Minimum Incremental step（2） | 20nm | 0.05 arcsec | 0.05arcsec |
| 最大負載\Load Capacity | 10 kg | ||
| 平臺重量\Stage Mass | 8 kg | ||
| 平臺材質\Material | 鋁 | ||
備注：
(1) 空載，需配置相應功率的放大器；
(2) 默認測試點位置為臺面上方25 mm。
備注：
（1）單位：mm；
（2）線纜接頭未顯示；
（3）完整3D圖紙可下載。
產品配置選項
| 產品系列 | 臺面大小 | 反饋 |
| ZTT-V2 | -200 | -AS |
反饋選項
| -AS | VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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