
特征
產品特征:
●機械手平臺可移動±50 mm,便于對齊
●在可移動的部件上設置傳感器,防止誤操作
●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較
●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規格制造
●適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附



產品規格:
*式樣、規格可能會有變化,恕不另行通知;
*更多信息歡迎咨詢我們。
大基板尺寸
φ4英寸
大基板厚度
2毫米
大掩模尺寸
5 x 5英寸
照度
>8mW/cm2(At405 Nm)
從遠紅外線到紫外線,從燈管到鐳射
始于1964年的Ushio,身為工業用光源制造廠,致力于光源與光學計設的開發及應用,并拓展光學技術的范圍與深度。其光的技術,從「照明」領域拓展至高科技產業與科學技術的領域,無論是「光」或「能源」均廣泛地應用,今日從遠紅外線到真空紫外線、燈管到鐳射與EUV方面,身為具備齊全產品系列的光源制造廠,從半導體或液晶等電子產業開始,到映像、影像、OA、照明領域等方面,受到各界較高的評價。
基礎研究
使用各種分析儀器,以進行光源開發上必要的材料研究。
各種分析技術
為了能有效率地進行光源材料,光源設計以及用途開發,本公司備有各種分析儀器,加上精心設計獨特的裝置及分析技術,以實施高精度且'有效率的分析。
光源的光學特性評估技術
可通過光源開發上之配光測量,或是真空紫外線到紅外線的分光測量來實施特性評估。
模擬
開發獨特的模擬技術,有助于在光源開發上,測量與評斷光源內部的熱或氣體的流動等。
開發大范圍波長之各種光源
開發適用于10nm~103nm訂單之燈具與鐳射等各種光源。
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