
接觸式/接近式光刻裝置。特征
產品特征:
●機械手平臺可移動±50 mm,便于對齊
●在可移動的部件上設置傳感器,防止誤操作
●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較
●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規格制造
●適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附

產品規格:
*式樣、規格可能會有變化,恕不另行通知;
*更多信息歡迎咨詢我們。
最大基板尺寸
φ4英寸
最大基板厚度
2毫米
最大掩模尺寸
5 x 5英寸
照度
>8mW/cm2(At405 Nm)
企業理念
經營理念
1使企業的繁榮與每一位員工的人生充實一致。
2在國際市場上提供具備充分競爭力的產品與服務。
3通過優質產品、新技術的研究與開發為不斷進步的社會做貢獻。
4通過開放、自由的企業活動,提高競爭力。在確保穩定利潤的同時成就企業的社會責任。
5大經營焦點
1創造更大社會價值的事業
2提升人才質量實現愿景
3提供易于產出成果的職場環境
4持續減輕環境負荷
5建立強健穩固的經營基礎
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