注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量(質(zhì)量流量)。
B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表,將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣(標定氣體)等價的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標定,請向廠家說明。
C、 確定所需標準量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標準量程,您實際使用的流量最大值應(yīng)接低于某個標準量程值。標準量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標是按滿量程值的百分比規(guī)定的,如果實際流量較小而量程值選取過大,則測量值的相對誤差較大。
3、注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。 質(zhì)量流量控制器(MFC )除最大工作壓力之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即 MFC 進氣端和出氣端之間的壓差,選型時要注意,使用時也要注意。
4、注意選擇合適的精度指標
準確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項指標,其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標不一定追求最高,應(yīng)考慮自己的實際需要。
5、注意選擇合適的響應(yīng)時間指標
有的應(yīng)用系統(tǒng)對MFC 的響應(yīng)時間有較高的要求,用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時間指標的同時,還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動態(tài)特性。