東京計裝TOKYOKEISO 吹掃流量計 進口

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P-810

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流量測量設備

吹掃流量計

其他陣容

非常適合測量半導體制造工序中各種氣體的流量。采用周邊密封設計，可靠性高。廣泛應用于各種設備。另有電解拋光、低泄漏的高品質型號可供選擇。

目錄和手冊

P-810

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P系列

吹掃計的功能和選擇

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*由于產品改進，所提供的信息可能會有所變更，恕不另行通知。

主要用途

半導體制造設備氣體

對于泄漏量很重要的管線

標準規格

測量目標

一般氣體

及液體（僅水當量：密度1.0g/cm3、粘度1.0mPa?s）

口徑

Rc: 1/4" (標準), 1/8"

NPT: 1/4", 1/8"

SW: 1/4", 3/8"

VCR: 1/4", 3/8"

流量范圍

空氣：

最大 6 至 60 L/min（正常）

最小 5 至 50 mL/min（正常）

水：

最大 0.2 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/min

?流量范圍的換算方法請參考P型功能與選擇（TG-S0001）

流體溫度

最高120°C（根據包裝材料而變化）

流體壓力

最大0.8兆帕。

測量精度

±3% 滿量程

我司代理及優勢品牌一覽明細：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

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優勢產品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

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