OHKURA大倉 MF1111B 半導體質量流量計
OHKURA大倉 MF1111B 半導體質量流量計
質量流量計/質量流量控制器/
MF1100B
◆ 下載
規格表（第 3 版）
MF1100B系列是一款高性能、低成本的質量流量計/質量流量控制器。它提供15個流量量程，從5 SCCM到20 SLM，可輕松用于從分析到工業用途的廣泛應用。
特征
■高可靠性
內部電路集成，確保可靠性和緊湊性。
■高兼容性
可使用與本公司MF5100B系列相同的配管接頭、電源、設定器。
■豐富的外圍設備
提供指示燈、設定器、電源、帶接頭電纜等外圍設備。
規格
模型
質量流量計
質量流量控制器
標準范圍
低價商品
通用產品
低價商品
通用產品
控制范圍
MF1121B
MF1111B
MF1171B（常閉）
MF1181B（常開）
MF1141B（常閉）
MF1151B（常開）
準確度評級
0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃
控制范圍
-
2-100%滿量程
準確度評級
±2%FS以下
±1.5%FS以下
±2%FS以下
±1.5%FS以下
線性
±1%FS以下
±0.7%FS以下
±1%FS以下
±0.7%FS以下
可重復性
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
響應時間
輸出電壓在約3秒內收斂到設定值的±2%FS以內。
最大工作壓力
1.0兆帕
耐壓性
1.5兆帕
壓力損失
5.0千帕
工作壓差
-
5SCCM~5SLM：34~275kPa
10~20SLM：69~275kPa
流量設定
-
0至5V直流
0 至 5V DC（標準）
1 至 5V DC（可選）
輸出信號
0至5V直流
0 至 5V DC（標準）
1 至 5V DC（可選）
工作溫度范圍
5至45°C（與氣體溫度相同）
安裝位置錯誤
±0.5%FS以下（安裝方向自由）
泄漏標準
1.013×10 -9?m 3 /s(He)以下（標準）
管道連接
1/4 Swagelok（標準），VCR（可選）
氣體接觸材料
SUS316、氟橡膠
SUS316、氟橡膠、氟樹脂
大量的
約680克
約800克
功耗
1VA或更低
3VA或更低
我司代理及優勢品牌一覽明細：
代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈
NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森
優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機
SURUGA駿河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO東京計裝
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