原理介紹：

通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。

操作流程：

‌啟動設備‌：

打開電源開關，啟動高頻電源系統，待系統自檢完成后進入工作狀態。

‌通入氣體并放電‌：

開啟氣源閥門，氣體流經噴槍電極區域時被高壓電場電離，形成可見的‌淡藍色等離子體束流‌。

‌執行表面處理‌：

對平面材料：采用往復掃描方式，確保全覆蓋；

對復雜曲面：調整噴槍角度，逐區域處理；

在線應用：設備集成于流水線，實現連續動態清洗。

‌實時監控‌：

觀察等離子體形態和材料表面變化，避免局部過處理。部分機型配備紅外測溫模塊，防止溫升超標。