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- PA-920S-502G-W2 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù):136更新時(shí)間:2025-12-09 13:48:00
盧亮
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NIDEC尼得科 壓力傳感器 PA-920S-502G-W2
NIDEC尼得科 壓力傳感器
一、基本參數(shù)
壓力相關(guān)參數(shù):屬于表壓傳感器,額定壓力量程為 0~0.5MPa,可承受的最大壓力達(dá) 0.75MPa,適配中低壓氣體壓力監(jiān)測場景;輸出精度達(dá) ±1% F.S.,搭配 0~50℃的專項(xiàng)溫度補(bǔ)償設(shè)計(jì),溫度特性僅 ±0.01% F.S./℃,能有效減少溫度變化帶來的測量偏差,保障半導(dǎo)體制造等高精度需求場景的監(jiān)測穩(wěn)定性。
供電與輸出:作為 PA-920S 系列機(jī)型,采用電壓輸出模式,輸出 1 - 5VDC 標(biāo)準(zhǔn)模擬電壓信號,可直接對接半導(dǎo)體設(shè)備的控制系統(tǒng),無需額外信號轉(zhuǎn)換部件;適配 12 - 24VDC±10% 的供電電壓,兼容半導(dǎo)體工廠主流的直流供電系統(tǒng),適配工業(yè)場景下的供電波動(dòng)情況。
耐高溫與環(huán)境適配:工作溫度范圍為 - 20~70℃,且需處于無結(jié)露環(huán)境,能適應(yīng)半導(dǎo)體制造車間的恒溫管控環(huán)境;儲存溫度為 - 20~80℃,便于車間非工作時(shí)段或倉儲時(shí)的存放;工作濕度適配 35 - 85%RH,同樣需避免結(jié)露,防止?jié)駳庥绊憙?nèi)部電路性能。
結(jié)構(gòu)與防護(hù)細(xì)節(jié):采用 1.125 英寸 W 型密封接頭(W2),適配半導(dǎo)體設(shè)備氣體供給系的對應(yīng)管路接口;感壓元件選用 SUS316L 雙熔接材料,搭配薄膜型半導(dǎo)體元件,且傳感器芯片與接頭采用一體焊接結(jié)構(gòu),既提升了耐腐蝕性,又能避免氣體泄漏;整體重量約 90 - 130g,外形尺寸為 φ20×66 - 92.2mm(不含線纜),小型輕量化設(shè)計(jì)適配集成式氣體系統(tǒng)的狹小安裝空間。
二、核心性能參數(shù)
適配半導(dǎo)體場景的高可靠性:SUS316L 材質(zhì)的感壓元件能耐受半導(dǎo)體制造中多種特種氣體的腐蝕,一體焊接結(jié)構(gòu)杜絕了氣體供給過程中的泄漏風(fēng)險(xiǎn),契合 CVD 裝置、蝕刻裝置等半導(dǎo)體設(shè)備對氣體管路密封性和穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。
安裝與布線便捷:采用連接器式安裝設(shè)計(jì),相比傳統(tǒng)接線方式大幅簡化了安裝和布線流程,便于半導(dǎo)體設(shè)備集成時(shí)的快速裝配,也方便后期維護(hù)時(shí)的拆卸更換。
小型化適配集成系統(tǒng):緊湊的外形設(shè)計(jì)使其特別適合安裝在集成型氣體系統(tǒng)和管路在線位置,不會占用過多設(shè)備空間,契合半導(dǎo)體設(shè)備高度集成化的設(shè)計(jì)趨勢。
適用場景:該傳感器核心適配半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,比如 CVD(化學(xué)氣相沉積)裝置、蝕刻裝置的氣體供給系管路,可對管路內(nèi)的特種工藝氣體進(jìn)行高精度在線壓力監(jiān)測;同時(shí)也可用于半導(dǎo)體工廠的氣體箱體、氣體輸送干線等位置,為半導(dǎo)體制造工藝中氣體壓力的精準(zhǔn)管控提供數(shù)據(jù)支撐,保障工藝穩(wěn)定性。此外,其耐腐蝕性和密封性也可拓展用于其他對氣體壓力監(jiān)測精度和密封性有要求的精密制造場景。







