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產品簡介
| 應用領域 | 食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
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產品介紹
NIDEC尼得科 壓力傳感器 PA-928S-502G-C2
NIDEC尼得科 壓力傳感器
一、基本參數
壓力相關參數：屬于表壓傳感器，額定壓力量程為 0~0.5MPa，可承受的最大壓力達 0.75MPa，適配半導體供氣系統的中低壓監測場景；測量精度達 ±1% F.S.，在 0~50℃補償溫度區間內，溫度特性僅 ±0.01% F.S./℃，能有效規避半導體車間溫度輕微波動對測量精度的影響，保障壓力數據穩定。
供電與輸出：作為 PA-928S 系列機型，采用電流輸出模式，輸出 4 - 20mA 標準工業電流信號，該信號抗干擾能力強，適合半導體設備供氣系統的遠距離信號傳輸；適配 24VDC±10% 的供電電壓，契合半導體工廠的工業供電標準，可兼容供電系統的小幅電壓波動。
耐高溫與環境適配：工作溫度范圍為 - 20~70℃，且需處于無結露環境，匹配半導體制造車間的恒溫管控需求；儲存溫度為 - 20~80℃，方便非工作時段或倉儲時存放；工作濕度適配 35 - 85％RH，同樣需避免結露，防止濕氣侵蝕內部電路造成性能故障。
結構與防護細節：采用 1.125 英寸 C 型密封接頭（C2），精準適配半導體供氣系統對應的管路接口；感壓元件選用 SUS316L 雙熔體材料，制成薄膜型半導體元件，且傳感器芯片與接頭為一體焊接結構，既提升了對特種工藝氣體的耐腐蝕性，又能杜絕氣體泄漏風險；整體重量約 90 - 130g，外形尺寸為 φ20×66 - 92.2mm（不含線纜），小型輕量化設計適配集成式氣體系統的狹小安裝空間。
二、核心性能參數
適配半導體特種場景：一體焊接的 SUS316L 材質結構，適配半導體制造中各類特種腐蝕性工藝氣體，同時避免氣體泄漏污染車間環境或影響工藝效果，是 CVD 設備、蝕刻設備等氣體供給系統的專用適配傳感器。
安裝布線便捷高效：采用連接器接續的設計方式，相比傳統接線式傳感器，大幅簡化了在半導體集成式氣體系統中的安裝流程，后期維護時的拆卸更換也更方便，減少設備停機檢修時間。
信號傳輸穩定可靠：4 - 20mA 電流輸出相比電壓輸出抗干擾能力更強，在半導體工廠復雜的電氣環境中，能減少電磁干擾對壓力信號的影響，且適合長距離傳輸，適配大型半導體設備供氣管路的遠距離監測需求。
適用場景：該傳感器核心應用于半導體制造領域，例如 CVD（化學氣相沉積）設備、蝕刻設備的氣體供給系統，可對管路內的工藝氣體進行高精度在線壓力監測；同時也可用于半導體工廠的氣體箱體、供氣干線等關鍵位置，為半導體制造工藝中氣體壓力的精準調控提供可靠數據支撐，保障半導體芯片制造過程的工藝穩定性。
