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產品簡介
| 應用領域 | 食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
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產品介紹
NIDEC尼得科 壓力傳感器 PA-920S-502R-C2
NIDEC尼得科 壓力傳感器
一、基本參數
壓力相關參數：屬于復合壓力傳感器，型號中 “502R" 對應 - 0.1~0.5MPa 的額定壓力量程，可承受的最大壓力為 0.75MPa，適配需兼顧負壓與正壓監測的半導體供氣等場景；測量精度達 ±1% F.S.，0 - 50℃補償溫度區間內溫度特性僅 ±0.01% F.S./℃，能減少環境溫度波動對壓力測量精度的干擾。
供電與輸出：作為 PA - 920S 系列機型，采用 1 - 5VDC 電壓輸出模式，可直接對接半導體設備控制系統，無需額外信號轉換裝置；適配 12 - 24VDC±10% 的供電電壓，兼容工業場景常見的直流供電系統，可應對小幅供電波動。其最大消耗電流為 20mA（供電 24V、輸出電流 0mA 工況下），功耗適配設備電路負載需求。
耐高溫與環境適配：工作溫度范圍為 - 20~70℃，儲存溫度為 - 20~80℃，適配半導體車間恒溫環境及倉儲需求；需在無結露的 35 - 85％RH 濕度環境下工作，避免濕氣侵蝕內部電路。同時具備 IP40 防滴結構，能應對車間輕微粉塵、水滴等外部環境影響。
結構與防護細節：配備 1.125 英寸 C 型密封接頭（C2），匹配對應規格的供氣管路接口；感壓接觸部位采用 SUS316L 雙熔接材料，且經過電解拋光處理，不僅能耐受半導體制造中特種腐蝕性氣體和液體，還能保障介質接觸面的潔凈度；整體凈重約 90g（不含線纜），外形尺寸為 φ20×66 - 92.2mm（不含線纜），小型化設計適配集成式氣體系統的狹小安裝空間。
二、核心性能參數
耐腐且密封可靠：SUS316L 雙熔接材料搭配傳感器芯片與接頭的一體焊接結構，既提升了對腐蝕性介質的耐受性，又杜絕了氣體泄漏風險，契合半導體制造中特種氣體輸送的安全與潔凈要求。且介質流道內 0.1μm 及以上尺寸的顆粒數為零，符合精密制造的介質潔凈標準。
安裝維護便捷：采用連接器式安裝設計，大幅簡化布線與裝配流程，后期設備檢修時的拆卸更換也更高效，能減少半導體生產線停機維護時間。
適配復合壓力場景：-0.1~0.5MPa 的復合壓力量程，相比普通表壓傳感器適用范圍更廣，可滿足半導體工藝中氣體管路啟停、切換時出現的負壓與正壓交替的監測需求。
適用場景：核心適配半導體制造領域，比如 CVD（化學氣相沉積）設備、蝕刻設備的氣體供給系統，可對管路內特種工藝氣體的正負壓力變化進行高精度在線監測；同時也可用于半導體工廠的氣體箱體、供氣干線等關鍵位置，還能拓展到其他需監測復合壓力的精密化工、電子制造等場景，為工藝穩定運行提供可靠的壓力數據支撐。
