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產品簡介
| 應用領域 | 食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
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產品介紹
NIDEC尼得科 壓力傳感器 PA-928S-502R-C2
NIDEC尼得科 壓力傳感器
一、基本參數
壓力相關參數：屬于復合壓力傳感器，“502R" 對應 - 0.1~0.5MPa 的額定壓力量程，可承受的最大壓力為 0.75MPa；測量精度達 ±1% F.S.，在 0 - 50℃補償溫度區間內，溫度誤差僅 ±0.1% F.S./℃，能減少半導體車間等場景溫度波動對測量數據的影響，且響應時間約為 2ms，可快速捕捉壓力變化。
供電與輸出：作為 PA - 928S 系列機型，采用 4 - 20mA 標準工業電流輸出，適配二線制系統，負載電阻范圍在 250 - 500Ω；供電電壓為 24VDC±10%（含紋波），契合工業場景的供電標準，能兼容供電系統的小幅電壓波動。
耐高溫與環境適配：工作溫度范圍為 - 20~70℃，儲存溫度為 - 20~80℃，適配半導體車間恒溫環境及倉儲需求；需在無結露環境下使用，防護等級達 IP40，可應對車間輕微粉塵、水滴等外部環境影響，避免設備故障。
結構與防護細節：配備 1.125 英寸 C 型密封接頭（C2），匹配對應規格的供氣管路接口；感壓接觸部位采用 SUS316L 雙熔接材料，還經過電解拋光處理，整體凈重約 90 - 130g，外形尺寸為 φ20×66 - 92.2mm（不含線纜），小型化設計適配集成式氣體系統的狹小安裝空間。
二、核心性能參數
耐腐密封性強：SUS316L 雙熔接材料搭配傳感器芯片與接頭的一體焊接結構，既能耐受半導體制造中特種腐蝕性工藝氣體，保障接觸介質的潔凈度，又能杜絕氣體泄漏風險，契合半導體特種氣體輸送的安全要求。
裝配維護高效：采用連接器式安裝設計，相比傳統接線式傳感器，大幅簡化了集成式氣體系統中的布線與裝配流程，后期檢修時拆卸更換也更便捷，能減少生產線停機維護時間。
適配復合壓力場景：-0.1~0.5MPa 的復合壓力量程，能滿足半導體工藝中氣體管路啟停、切換時出現的負壓與正壓交替的監測需求，無需額外更換傳感器適配不同壓力工況。
適用場景：核心適配半導體制造領域，像 CVD（化學氣相沉積）設備、蝕刻設備的氣體供給系統，可對管路內特種工藝氣體的正負壓力變化進行高精度在線監測；同時也適用于半導體工廠的氣體箱體、供氣干線等關鍵位置，此外還能拓展到其他對壓力監測精度和耐腐蝕性有要求的精密化工、電子制造等場景。
