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| 應用領域 | 食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
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NIDEC尼得科 壓力傳感器 PA-928S-103G-C2
NIDEC尼得科 壓力傳感器
一、基本參數
壓力相關參數:屬于表壓傳感器,型號中 “103G" 對應 0~1MPa 的額定壓力量程,可承受的最大壓力達 1.5MPa,能滿足半導體供氣系統等多數正壓場景的監測需求;測量精度達 ±1% F.S.,在 0 - 50℃的補償溫度區間內,溫度特性僅 ±0.01% F.S./℃,能大幅降低環境溫度波動對壓力測量精度的干擾。
供電與輸出:作為 PA-928S 系列機型,采用 4 - 20mA 標準工業電流輸出,適配工業領域常見的二線制控制系統,無需額外信號轉換模塊;供電電壓為 24VDC±10%,契合工業場景穩定供電標準,可兼容供電系統的小幅電壓波動,適配各類工業設備的供電環境。
耐高溫與環境適配:工作溫度范圍為 - 20~70℃,儲存溫度為 - 20~80℃,既能適配半導體車間的恒溫工況,也能滿足常規倉儲需求;需在無結露的 35 - 85%RH 濕度環境下工作;防護等級達 IP40,可抵御車間內輕微粉塵和水滴侵襲,避免內部電路因受潮、積塵出現故障。
結構與防護細節:配備 1.125 英寸 C 型密封接頭(C2),可精準匹配對應規格的供氣管路接口;感壓元件采用 SUS316L 雙熔體材料制成薄膜型半導體元件,且傳感器芯片與接頭為一體焊接結構;整體凈重約 90 - 130g,外形尺寸為 φ20×66 - 92.2mm(不含線纜),小型化設計適配集成式氣體系統的狹小安裝空間。
二、核心性能參數
耐腐蝕且密封性強:SUS316L 雙熔體材料不僅能耐受半導體制造中特種腐蝕性工藝氣體,還能保障接觸介質的潔凈度;一體焊接的結構設計則杜絕了氣體泄漏風險,符合半導體特種氣體輸送的安全與潔凈標準。
安裝維護效率高:采用連接器式接續方式,相比傳統接線式傳感器,大幅簡化了集成式氣體系統中的布線與裝配流程,后期設備檢修時,拆卸和更換傳感器無需復雜操作,能減少半導體生產線的停機維護時長。
適配集成化系統:自身小型輕量化的特點,搭配多樣的安裝適配性,非常適合集成到半導體設備的氣體供給系統中,可靈活安裝在管路、氣體箱體等不同位置,不占用過多空間,契合集成式系統的緊湊設計需求。
適用場景:核心適配半導體制造領域,例如 CVD(化學氣相沉積)設備、蝕刻設備的氣體供給系統,可對管路內特種工藝氣體的正壓力進行高精度在線監測;同時也適用于半導體工廠的氣體箱體、供氣干線等關鍵節點。此外,還能拓展到精密化工、電子制造等對壓力監測精度、耐腐蝕性和設備集成度有較高要求的正壓監測場景。







